一种真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件的制作方法

文档序号:10994272阅读:237来源:国知局
一种真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件的制作方法
【专利摘要】一种真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件,其特征在于:所述支撑件(2)是一薄板折弯形成的长条体,其截面包括一水平横向部(21)以及由水平横向部(21)一侧向下折弯延伸的竖向部(22);所述两支撑件(2)左右对称设置,其水平横向部(21)与边部隔离板(1)固定连接,而两支撑件(2)的竖向部(22)之间的空间供容纳夹持真空镀膜玻璃生产线的相邻镀膜室之间的隔板(6);并且,所述边部隔离板(1)的中部设有沉孔,该沉孔内螺纹连接有一调节螺钉(3),该调节螺钉(3)的底端用于抵压接触于隔板(6)上的基板通道(61)的底面上。
【专利说明】
一种真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件
技术领域
[0001]本实用新型涉及连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线,具体涉及一种连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件。
【背景技术】
[0002]连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线包括多级镀膜室,相邻镀膜室之间的气体隔离是非常重要的结构,一方面是为了防止镀膜区气压不均而造成气流窜动,另一方面是为阻止相邻阴极位工艺镀膜时工艺气体和溅射物的互窜而造成污染。
[0003]边部气体隔离组件是气体隔离的一种,它安装在相邻镀膜室之间的隔板上的基板通道处。现有的边部气体隔离装置包括一边部隔离板,该边部隔离板是通过角钢与隔板固定连接的,此种结构角钢和边部隔离板的高度不好调节、安装困难,同时隔板上要加工很多螺纹孔,加工量较大。

【发明内容】

[0004]本实用新型目的是提供一种结构简单安装方便的真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件。
[0005]为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件,包括一边部隔离板以及位于边部隔离板下的两支撑件,所述支撑件是一薄板折弯形成的长条体,其截面包括一水平横向部以及由水平横向部一侧向下折弯延伸的竖向部;所述两支撑件左右对称设置,其水平横向部与边部隔离板固定连接,而两支撑件的竖向部之间的空间供容纳夹持真空镀膜玻璃生产线的相邻镀膜室之间的隔板;并且,所述边部隔离板的中部设有沉孔,该沉孔内螺纹连接有一调节螺钉,该调节螺钉的底端用于抵压接触于隔板上的基板通道的底面上。
[0006]上述方案中,所述支撑件的水平横向部与边部隔离板通过螺栓与螺母固定连接。
[0007]上述方案中,所述支撑件的竖向部的底端折弯出一斜角,以使两支撑件之间的空间的底端形成一喇叭口。
[0008]由于上述技术方案的应用,本实用新型具有以下优点:
[0009]本实用新型结构简单,安装方便,隔板上不用攻螺纹孔,大幅节约了制作成本,且边部隔离板的高度可调。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型实施例结构示意图。
[0011]以上附图中:1、边部隔离板;2、支撑件;21、水平横向部;22、竖向部;221、斜角;3、调节螺钉;4、螺栓;5、螺母;6、隔板;61、基板通道;7、基板传输转辊。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0013]实施例:参见图1所示:
[0014]—种真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件,参见图1所示,包括一边部隔离板I以及位于边部隔离板I下的两支撑件2。
[0015]参见图1所示,所述支撑件2是一薄板折弯形成的长条体,其截面包括一水平横向部21以及由水平横向部21—侧向下折弯延伸的竖向部22。所述两支撑件2左右对称设置,其水平横向部21与边部隔离板I固定连接,而两支撑件2的竖向部22之间的空间供容纳夹持真空镀膜玻璃生产线的相邻镀膜室之间的隔板6。
[0016]并且,所述边部隔离板I的中部设有沿长度方向排列有多个沉孔,这些沉孔内螺纹连接有调节螺钉3,这些调节螺钉3的底端用于抵压接触于隔板6上的基板通道61的底面上。
[0017]具体,所述支撑件2的水平横向部21与边部隔离板I通过螺栓4与螺母5固定连接。
[0018]具体,参见图1所示,所述支撑件2的竖向部22的底端折弯出一斜角221,以使两支撑件2之间的空间的底端形成一喇叭口,在安装时起导向作用,以方便于本实施例组件卡入隔板6。
[0019]参见图1所示,本实施例安装过程如下:
[0020]1、先以螺栓4与螺母5将两支撑板2安装于边部隔离板I之下,调节两支撑板2的间距,使间距可略小于真空镀膜玻璃生产线的相邻镀膜室之间的隔板6的厚度,并把调节螺钉3也拧进对应的螺纹孔,即完成本实施例组件的组装;
[0021]2、将组装好的本实施例组件安装在隔板6上,具体是以骑跨的方式跨在隔板6基板通道61处,边部隔离板I贯穿基板通道61的宽度方向,两支撑件2的竖向部22夹持住隔板6,而调节螺钉3的底端用于抵压接触于隔板6上的基板通道61的底面上,此时再通过松紧调节螺钉3,即可调节边部隔离板I的高度以及水平度。
[0022]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件,包括一边部隔离板(I)以及位于边部隔离板(I)下的两支撑件(2),其特征在于:所述支撑件(2)是一薄板折弯形成的长条体,其截面包括一水平横向部(21)以及由水平横向部(21)—侧向下折弯延伸的竖向部(22);所述两支撑件(2)左右对称设置,其水平横向部(21)与边部隔离板(I)固定连接,而两支撑件(2)的竖向部(22)之间的空间供容纳夹持真空镀膜玻璃生产线的相邻镀膜室之间的隔板(6);并且,所述边部隔离板(I)的中部设有沉孔,该沉孔内螺纹连接有一调节螺钉(3),该调节螺钉(3)的底端用于抵压接触于隔板(6)上的基板通道(61)的底面上。2.根据权利要求1所述真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件,其特征在于:所述支撑件(2)的水平横向部(21)与边部隔离板(I)通过螺栓(4)与螺母(5)固定连接。3.根据权利要求1所述真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件,其特征在于:所述支撑件(2)的竖向部(22)的底端折弯出一斜角,以使两支撑件(2)之间的空间的底端形成一喇叭口。
【文档编号】C03C17/00GK205687801SQ201620624816
【公开日】2016年11月16日
【申请日】2016年6月23日 公开号201620624816.6, CN 201620624816, CN 205687801 U, CN 205687801U, CN-U-205687801, CN201620624816, CN201620624816.6, CN205687801 U, CN205687801U
【发明人】臧晓良, 李险峰, 罗雨潇, 刘宇, 张山山, 邱宏
【申请人】中建材光电装备(太仓)有限公司
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