硬掩模的制作方法

文档序号:13687102阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种包括一种或多种式(1)的单体作为聚合单元的聚合物,其中R1=H或CH3;M=第3族至第14族金属;L是配体;并且n是指配体的数量并且为1-4的整数。2.权利要求1的聚合物,所述聚合物进一步包括一种或多种选自以下的单体作为聚合单元:(甲基)丙烯酸烷基酯单体、(甲基)丙烯酸芳基酯单体、(甲基)丙烯酸羟烷基酯单体、(甲基)丙烯酸烯基酯、(甲基)丙烯酸和乙烯基芳族单体。3.权利要求1所述的聚合物,其中M选自钛、锆、铪、钨、钽、钼和铝。4.权利要求1所述的聚合物,其中每一个L选自(C1-C6)烷氧基。
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