一种芯片的制备方法及其应用与流程

本发明涉及生物芯片领域，特别涉及一种核酸质谱用芯片及其制作方法和应用。

背景技术：

本发明涉及生物芯片领域，特别涉及一种核酸质谱芯片及其制作方法和应用，所述核酸质谱芯片包括基质层、硅片层和二氧化硅层；所述核酸质谱芯片的制备所需材料是高纯度的硅片和羟基吡啶甲酸，通过晶圆的制备，晶圆光刻显影、蚀刻形成二氧化硅层、羟基吡啶甲酸配制涂层三个步骤制得的；本发明的核酸质谱芯片制作简单、制作成本低。本发明提供的核酸质谱芯片可实现在核酸质谱仪上，点样后，通过激光，核酸片段在电场中，通过荷质比的不同，分离不同分子量大小的核酸片段。

本发明旨在用于核酸质谱上核酸分子的分离，为此为基因分型奠定了基础。

技术实现要素：

本发明的目的在于开发一种核酸质谱芯片，主要用于核酸分子或者其他小分子的检测与分离。

为了实现上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种芯片，所述芯片包括基质层、硅片层和二氧化硅层，含有不同的核酸片段点样在芯片上，通过质谱分析精确测量目标dna序列。

本发明所述芯片的制备方法，包括以下步骤：

（1）制备用于芯片制备的基底层，其为硅片层，硅的纯度为99.999%；

（2）于基底层上制备中间层，其为二氧化硅层，二氧化硅层通过晶圆光刻显影、蚀刻形成二氧化硅层；

（3）于中间层上制备表面层，其为基质层，基质层配方为羟基吡啶甲酸。

本发明的芯片，包含基质层、硅片层和二氧化硅层。二氧化硅层，硅的纯度为99.999%。用于芯片制备的中健层为二氧化硅层，二氧化硅层通过晶圆光刻显影、蚀刻形成二氧化硅层；用于芯片制备的表面层为基质层，基质层配方为羟基吡啶甲酸。

优选的，所述硅片层上有96个长宽各位200μm的基质层。

优选的，相邻两个基质层中间有一个长宽各40μm的小框块，用于激光对准。

以上所述的芯片在核酸分子或氨基酸、尿素小分子检测中的应用。

本发明的有益效果是：本发明提供了一种芯片的制备方法及其应用，该芯片可以测定核酸分子(a、t、c、g)，核酸小片段；同时也可以测定其他小分子，如氨基酸、尿素等小分子化合物。为核酸片段和其他小分子的检测提供了便利。该芯片检测简单、方便，能够实现高通量检测，具有广泛的应用价值。

附图说明

图1为本发明的芯片的结构示意图。

图2为本发明芯片羟基吡啶甲酸的成分分析图。

图3为本发明芯片二氧化硅的成分分析图。

图4为本发明芯片高纯度硅的成分分析图。

图5为检测hpv的结果分析图。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

一种芯片，所述芯片包括基质层、硅片层和二氧化硅层，含有不同的核酸片段点样在芯片上，通过质谱分析精确测量目标dna序列。

本发明所述芯片的制备方法，包括以下步骤：

（1）制备用于芯片制备的基底层，其为硅片层，硅的纯度为99.999%；

（2）于基底层上制备中间层，其为二氧化硅层，二氧化硅层通过晶圆光刻显影、蚀刻形成二氧化硅层；

（3）于中间层上制备表面层，其为基质层，基质层配方为羟基吡啶甲酸。

图1为本发明的芯片的结构示意图，图中黑色200μm的框框为基质层，银色40μm的框框用于激光对准，底层为硅片。

表1为本发明芯片的成分分析表，表1中#1为羟基吡啶甲酸，#2为二氧化硅，#3为高纯度硅，其对应的成分含量分别如图2、3、4所示。

表1

本发明的芯片，包含基质层、硅片层和二氧化硅层。二氧化硅层，硅的纯度为99.999%。用于芯片制备的中健层为二氧化硅层，二氧化硅层通过晶圆光刻显影、蚀刻形成二氧化硅层；用于芯片制备的表面层为基质层，基质层配方为羟基吡啶甲酸。

所述硅片层上有96个长宽各位200μm的基质层。

相邻两个基质层中间有一个长宽各40μm的小框块，用于激光对准。

用本方法制备的芯片，检测hpv，其结果如图5所示。

技术特征：

技术总结
本发明提供了一种芯片的制备方法及其应用，所述芯片包括基质层、硅片层和二氧化硅层，含有不同的核酸片段点样在芯片上，通过质谱分析精确测量目标DNA序列。该芯片可以测定核酸分子(A、T、C、G)，核酸小片段；同时也可以测定其他小分子，如氨基酸、尿素等小分子化合物。为核酸片段和其他小分子的检测提供了便利。该芯片检测简单、方便，能够实现高通量检测，具有广泛的应用价值。

技术研发人员：胡军;王文忠
受保护的技术使用者：为康（苏州）基因科技有限公司
技术研发日：2019.03.25
技术公布日：2019.08.16