共聚物的制备方法

文档序号:9493149阅读:1189来源:国知局
共聚物的制备方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种共聚物的制备方法,具体而言,涉及一种制备含有大量来自芳香 族乙烯化合物的结构单元、且具有羧基及环氧基的共聚物的方法。
【背景技术】
[0002] 在液晶显示元件等电子材料领域等中,使用形成有图案的膜,作为用于所述膜的 形成中的抗蚀材料之一,开发有利用了光聚合反应的射线敏感性树脂组合物。射线敏感性 树脂组合物追求优异的感度及解析度(以下也称为显影性),例如,开发有专利文献1的射 线敏感性树脂组合物。
[0003] 该射线敏感性树脂组合物中含有的共聚物由于包含来自具有羧基的(甲基)丙烯 酸的结构单元及来自具有环氧基的(甲基)丙烯酸缩水甘油酯的结构单元,故而具有基于 碱性显影液的显影性,所形成的膜获得耐性。更进一步,该共聚物由于含有来自芳香族乙烯 化合物的结构单元,感度及显影性优异。
[0004] 但是,在使大量含有芳香族乙烯化合物的单体混合物进行共聚的情况下,若使用 现有的聚合引发剂(以下也单称为引发剂)进行聚合反应,在通常的聚合条件下,存在残存 单体增多、转化率变低的问题。为了减少残存单体,通常采取增加引发剂量、提高反应温度、 延长反应时间的方法。但是,在这些情况下,容易引起单体中的羧基及环氧基造成的副反 应,变成多分散度(Mw/Mn)高的共聚物,因此存在显影性变差的问题。
[0005] S卩,在现有技术中,难以进行残存单体少、转化率高的聚合反应,或者无法得到多 分散度低的共聚物。
[0006] 现有技术文献
[0007] 专利文献
[0008] 专利文献1 :特开2012-63626号公报

【发明内容】

[0009] 本发明要解决的技术问题
[0010] 本发明是基于上述情况而作出的,其目的在于提供一种共聚物的制备方法,所述 方法为制备含有大量来自芳香族乙烯化合物的结构单元、且具有羧基及环氧基的共聚物的 方法,能够进行残存单体少、转化率高的聚合反应,且可以得到分散度低的共聚物。
[0011] 解决技术问题的技术手段
[0012] 本申请发明人等鉴于上述技术问题进行了认真研究,结果发现在制备含有大量来 自芳香族乙烯化合物的结构单元、且具有羧基及环氧基的共聚物的方法中,通过使用特定 的引发剂进行聚合反应,能够解决上述技术问题,进而完成了本发明。
[0013] S卩,本发明为一种共聚物的制备方法,该方法具有以下工序:使(A)芳香族乙烯化 合物的含有比例为30~80质量%、(B)(甲基)丙烯酸缩水甘油酯的含有比例为1~30质 量%、(C)(甲基)丙烯酸的含有比例为1~40质量%的单体混合物在(D)双(4-叔丁基 环己基)过氧化二碳酸酯的存在下聚合。
[0014] 在本发明的制备方法中作为引发剂使用的(D)成分的加成能力高,因此未反应的 单体可促进易残存的(A)芳香族乙烯化合物的聚合反应。因此,可使残存单体变少,提高反 应效率,能够进行转化率高的聚合反应。此外,由于可使聚合温度为较低温度,能够抑制羧 基与环氧基的反应,可以得到多分散度低的共聚物。
[0015] 发明效果
[0016] 根据本发明,在制备含有大量来自芳香族乙烯化合物的结构单元、且具有羧基及 环氧基的共聚物的方法中,能够进行残存单体少、转化率高的聚合反应、且可得到分散度低 的共聚物。因此,通过使用根据本发明的制备方法得到的共聚物,能够得到感度及显影性优 异的射线敏感性树脂组合物。
[0017] 此外,在本说明书中,射线敏感性树脂组合物的射线包括可见光线、紫外线、远紫 外线、X射线、带电粒子线等。
【具体实施方式】
[0018] 以下,对本发明的实施方式进行说明。
[0019] 本发明的共聚物的制备方法具有以下工序:使至少含有(A)芳香族乙烯化合物、 (B)(甲基)丙烯酸缩水甘油酯及(C)(甲基)丙烯酸、并可进一步含有任意成分的单体混合 物在(D)双(4-叔丁基环己基)过氧化二碳酸酯的存在下聚合。
[0020] 首选对所述(A)~(D)的各成分进行说明。
[0021] 此外,在本说明书中,使用符号"~"所规定的数值范围包含"~"两端(上限及下 限)的数值。例如,"2~5"表示2以上5以下。
[0022] < (A)芳香族乙烯化合物〉
[0023] ㈧成分为芳香族乙烯化合物,作为芳香族乙烯化合物,可列举出苯乙稀、α-甲 基苯乙烯、对甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、邻甲基苯乙烯、对乙基苯乙烯、间乙基苯乙烯、邻 乙基苯乙稀、叔丁基苯乙稀、氯苯乙稀、羟基苯乙稀、叔丁氧基苯乙稀、乙烯基甲苯、乙烯基 萘等,其中优选苯乙稀、α -甲基苯乙稀、对甲基苯乙稀及羟基苯乙稀,特别优选苯乙稀。此 外,作为(Α)成分,可以使用两种以上的芳香族乙烯化合物。
[0024] 单体混合物中的(Α)成分的含有比例为30~80质量%。优选为40~75质量%、 更优选为45~70质量%。在小于30质量%的情况下,将共聚物用于射线敏感性树脂组合 物时,会有解析度降低的可能。此外,在大于80质量%的情况下,有残存单体变多,同时转 化率下降,制备效率降低的可能。
[0025] < (Β)(甲基)丙烯酸缩水甘油酯>
[0026] (Β)成分为(甲基)丙烯酸缩水甘油酯,可列举出丙烯酸缩水甘油酯及甲基丙烯酸 缩水甘油酯,从在工业上可容易获取的角度来看,优选甲基丙烯酸缩水甘油酯。此外,可使 用丙烯酸缩水甘油酯及甲基丙烯酸缩水甘油酯中的一种或两种。
[0027] 单体混合物中的(Β)成分的含有比例为1~30质量%,优选为5~25质量%。
[0028] <(〇(甲基)丙烯酸>
[0029] (C)成分为(甲基)丙烯酸,可列举出丙烯酸及甲基丙烯酸。此外,可使用丙烯酸 及甲基丙烯酸中的一种或两种。
[0030] 单体混合物中的(C)成分的含有比例为1~40质量%,优选为5~30质量%。
[0031] <⑶双(4-叔丁基环己基)过氧化二碳酸酯〉
[0032] 在本发明的制备方法中使用的作为引发剂(D)的成分为双(4-叔丁基环己基)过 氧化二碳酸酯。该引发剂加成能力高,为低温活性,因此可使聚合温度为较低温度。因此, 可促进(A)芳香族乙烯化合物的聚合反应,且可抑制副反应,得到多分散度低的共聚物。
[0033] (D)成分的使用量可根据使用的单体的组合或反应条件等进行适当设定。此外,在 加入引发剂时,可以一次性加入全部,也可以一次性加入一部分,将剩余部分通过滴定等缓 缓添加,或者还可以将全部缓缓添加。此外,若将引发剂与单体同时缓缓添加,则易于反应 的控制,故而优选,进一步,为了减少残存单体,可在单体添加后再添加引发剂。
[0034] <其他单体>
[0035] 本发明的制备方法中使用的单体混合物可以含有所述(A)~(C)成分以外的一种 或两种以上其他单体,其含有比例在单体混合物中为0~20质量%。
[0036] 此外,由所述(A)~(C)成分及作为任意成分的其他单体构成的单体混合物的总 量为1〇〇质量%。
[0037] 作为其他单体,只要是所述(A)~(C)成分以外的单体且可共聚的单体,则没有特 别的限定,但优选(甲基)丙烯酸酯类单体。例如,可列举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基) 丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯 酸己酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯 酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、 (甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄基酯、(甲基)丙烯酸-2-甲氧基乙酯、(甲基)丙 烯酸-3-甲氧基丁酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸羟基丙酯、(甲基)丙 烯酸羟基丁酯、(甲基)丙烯酸硬脂酸酯、(甲基)丙烯酸双环戊烯酯、(甲基)丙烯酸的环 氧乙烷(ethyleneoxide)加成物等。此外,(甲基)丙烯酸表示丙烯酸及甲基丙烯酸。
[0038] 〈聚合反应〉
[0039] 在使所述单体混合物在作为引发剂的(D)成分的存在下聚合时,可以采用作为进 行通常自由基聚合的方法而熟知的方法,例如可采用溶液聚合、乳化聚合、悬浮聚合等。例 如,可以列举如下方法:在溶液聚合中,将含有单体及引发剂的溶液滴入溶剂或含有单体的 溶液中,使其进行聚合反应的方法,或是分别将含有单体的溶液与含有引发剂的溶液滴入 溶剂或含有单体的溶液中,使其进行聚合反应的方法等。此外,引发剂可以直接以固体形态 使用,也可以与溶液混合而使用。
[0040] 在聚合反应时,为了调整分子量,可根据需要使用通常所用的链转移剂。
[0041] 在聚合反应时,优选在加入单体混合物、引发剂、根据需要的链转移剂之后进行熟 化。作为熟化条件,优选能够完全分解引发剂的聚合温度、聚合时间。
[0042] 作为基于溶液聚合的聚合反应所使用的溶剂,只要是能够溶解所用单体的溶剂则 均可使用,例如,可以举出醇类、醚类、酮类、酰胺类、酯类。这些溶剂可单独使用,或者可混 合两种以上作为混合溶剂使用。
[0043] 相对于单体混合物的总量100质量份,溶剂的量例如优选100~1,000质量份。溶 剂量在该范围时,聚合物溶液容易搅拌,能够得到均匀溶液,同时容易调整分子量,单体不 易残存。
[0044] 聚合反应后的溶液可直接用于配制射线敏感性树脂组合物,也可以在进行分离共 聚物通常进行的操作,例如再沉淀、除去溶剂等操作分离共聚物后,用于配制射线敏感性树 脂组合物。
[0045] 根据本发明的制备方法,能够以高转化率、例如转化率80%以上来进行含有大量 来自芳香族乙烯化合物的结构单元、且具有羧基及环氧基的共聚物的聚合反应。
[0046] 此外,通过本发明的制备方法,能够得到多分散度低的共聚物,例如能够得到多分 散度(Mw/Mn)为3以下的共聚物。
[0047] 此外,共聚物的转化率能够通过气相色谱法(GC)对聚合物溶液中含有的单体的 量进行分析而求得,共聚物的多分散度(Mw/Mn)能够通过凝胶渗透色谱(GPC)测定而求得。 Mw表不重均分子量,Μη表不数均分子量。
[0048] 实施例
[0049] 以下,列举实施例及比较例对本发明进行进一步详细说明。此外,各种物性值、测 定及评价遵从下述方法。此外,在实施例及比较例中,质量份为表示相对于单体混合物的总 量100质量份的质量份,质量%表示单体混合物(总量100质量% )中的含有比例。
[0050] (1)转化率
[0051] 聚合物
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