光罩清洗剂及清洗方法
【专利摘要】本发明涉及一种光罩清洗剂及清洗方法，所述清洗剂按重量百分比包括以下成分：对氯间二甲苯酚0.5~1.5wt%；脂肪醇聚氧乙烯醚3~5wt%；乙二醇8~10wt%；及余量是水。所述清洗方法包括：将光罩置于碱液中浸泡，并用无尘布擦拭去除光罩两面明显的油污，再取出光罩用水冲洗；将经碱液清洗步骤处理后的光罩置于洗版架上固定好，采用由上述光罩清洗剂浸泡过的海绵擦洗光罩的膜面第一预定遍数；用水冲洗光罩膜面并同时继续用海绵擦拭光罩膜面第二预定遍数，并在停止用海绵擦拭后仍继续用水冲洗第三预定遍数；干燥处理。本发明光罩清洗剂配置成本非常低廉，脏污清除效果显著，清洗方法简单易操作，不需购置昂贵的超声波设备。
【专利说明】
光罩清洗剂及清洗方法
技术领域
[0001 ]本发明涉及光罩清洗技术，尤其是指一种光罩清洗剂及清洗方法。
【背景技术】
[0002] 随着显示技术的发展，对光罩(又称掩膜版，英文名为MASK或PHOTOMASK)产品的洁 净度要求也越来越高，尤其是LED、TFT行业，精度发展到了纳米级别，任何细微的灰尘和脏 污附着在产品图形上都会造成产品的不良甚至报废。为此，光罩在出货打包前必须进行清 洗干净，并贴上光学膜，使光罩图形与外部环境隔绝避免受污染，提高下游产品的良率。
[0003] 目前，光罩行业现行的清洗方法主要有液体浸泡擦洗法和超声波清洗法。其中，液 体浸泡擦洗法是将光罩泡在酸碱液中并用无尘布等工具擦拭冲洗，此法清洁效果有限，主 要用在对洁净度要求不高的LCD、TP等中低端行业产品；而超声波清洗法主要是针对TFT等 高端行业产品，将光罩放入装有酸、碱、水等各种液体的超声波槽体中，在高频振动作用下 将光罩上的各种脏污去除，此法清洗效果好，但是清洗设备昂贵，投入成本高。
【发明内容】
[0004] 本发明所要解决的技术问题在于，提供一种光罩清洗剂，其成本低，且对光罩的清 洗效果好。
[0005] 本发明进一步要解决的技术问题在于，提供一种光罩清洗方法，其成本低，且对光 罩的清洗效果好。
[0006] 为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案:一种光罩清洗剂，其按重量百分 比包括以下成分： 对氯间二甲苯酚〇. 5~1.5wt%; 脂肪醇聚氧乙稀醚3~5wt%; 乙二醇8~10wt%;以及 余量是水。
[0007] 进一步地，所述水为去离子水。
[0008] 另一方面，本发明还提供一种光罩清洗方法，其包括以下步骤： 碱液清洗步骤，将光罩置于碱液中浸泡，并用无尘布擦拭去除光罩两面明显的油污，然 后取出光罩用水冲洗，去除残留碱液； 清洗剂擦洗步骤，将经过碱液清洗步骤处理后的光罩置于洗版架上固定好，采用由如 上所述的光罩清洗剂浸泡过的海绵擦洗光罩的膜面第一预定遍数； 冲洗步骤，在用海绵擦洗光罩的膜面第一预定遍数后，用水冲洗光罩膜面并同时继续 用海绵擦拭光罩膜面第二预定遍数，并在停止用海绵擦拭后仍继续用水冲洗第三预定遍 数；以及 干燥步骤，将用水冲洗后的光罩进行干燥处理。
[0009] 进一步地，用于冲洗的水为去离子水。
[0010] 进一步地，清洗剂擦洗步骤中，所述第一预定遍数为2~5遍。
[0011] 进一步地，冲洗步骤中，所述第二预定遍数为2~5遍。
[0012] 进一步地，冲洗步骤中，所述第三预定遍数为2~5遍。
[0013] 进一步地，所述干燥处理是风干，将光罩置于风干箱中风干。
[0014] 进一步地，在清洗剂擦洗步骤和冲洗步骤中，光罩均置于洗版架上，所述洗版架具 有用于放置光罩的倾斜面以及用于将光罩定位于洗版架上的定位结构。
[0015] 采用上述技术方案后，本发明至少具有如下有益效果:本发明光罩清洗剂配置成 本非常低廉，脏污清除效果显著，Urn以上的脏点均可轻松清洗掉，使原有酸碱液体浸泡擦 洗法无法洗净TFT等高端产品的状况得到彻底改变;而且，本发明光罩清洗方法简单易操 作，不需另外购置昂贵的超声波设备，为企业节约了大量成本。本发明光罩清洗剂及清洗方 法可广泛应用于IXD、LED和TFT等液晶显示面板的相关光罩加工行业中。
【附图说明】
[0016] 图1是本发明光罩清洗方法的流程示意图。
[0017] 图2是本发明光罩清洗方法中碱液清洗过程的示意图。
[0018] 图3是本发明光罩清洗方法中清洗剂擦洗过程的示意图。
【具体实施方式】
[0019] 下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步详细说明。应当理解，以下的示意 性实施例及说明仅用来解释本发明，并不作为对本发明的限定，而且，在不冲突的情况下， 本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。
[0020] 本发明实施例首先提供一种光罩清洗剂，其配方按重量百分比包括以下成分： 对氯间二甲苯酚〇. 5~1.5wt%; 脂肪醇聚氧乙稀醚3~5wt%; 乙二醇8~10wt%;以及 余量是水。
[0021] 以上成分中，对氯间二甲苯酚易溶于醇、醚、聚二醇等有机溶剂和强碱水溶液。化 学性质稳定，通常贮存条件下不会失活。是一种广谱的防霉抗菌剂，对多数革兰氏阳性、阴 性菌，真菌，霉菌都有杀灭功效，它可作为防霉抗菌剂广泛应用于消毒、抗菌等方面，在本发 明中，对氯间二甲苯酚可以有效清除光罩表面的细菌，防止霉变。
[0022]脂肪醇聚氧乙烯醚(ΑΕ0)，又称聚氧乙烯脂肪醇醚，是一种非离子表面活性剂，起 乳化，发泡、去污作用，是诸如洗手液、洗衣液、沐浴露、洗衣粉、洗洁精、金属清洗剂等洗涤 用品的主要活性成分。应用在本发明中，其可以有效地对光罩表面的脏污起到乳化、发泡的 效果，从而有利于通过擦洗去除脏污。
[0023]乙二醇是一种无色无臭、有甜味液体，乙二醇能与水、丙酮互溶，但在醚类中溶解 度较小，常被用作溶剂。在本发明中，乙二醇与水互溶并共同作为溶剂能很好地溶解对氯间 二甲苯酚和脂肪醇聚氧乙烯醚。优选地，本发明中采用的水为去离子水。
[0024]在具体实施时，本发明还提供了以下几个配方供参考。
[0025] 由于对氯间二甲苯酚、乙二醇均具有一定的毒性，因此，在能起到有效作用的用量 范围内，其用量应当尽可能低。
[0026] 本发明由以上配方配制而成的清洗剂通过各成分的有效配合，可以很好地溶解、 去除光罩上细微的脏污。
[0027] 另一方面，本发明还基于上述清洗剂提供了一种光罩清洗方法，如图1所示，其包 括以下步骤： 碱液清洗步骤，如图2所示，先将光罩2置于碱液槽1中的碱液中浸泡，并用无尘布擦拭 去除光罩2两面明显的油污，然后取出光罩2用水冲洗，优选采用去离子水冲洗； 清洗剂擦洗步骤，如图3所示，将经碱液清洗步骤处理后的光罩2置于洗版架3上固定 好，采用由前述的清洗剂浸泡过的海绵擦洗光罩2的膜面第一预定遍数，一般以擦洗2~5遍 为宜； 冲洗步骤，用水冲洗光罩2膜面并同时保持用海绵擦拭第二预定遍数，一般地，持续冲 洗2~5遍为宜，停止海绵擦拭后仍继续用水冲洗第三预定遍数，一般地，继续冲洗2~5遍，本 步骤中，优选采用去离子水冲洗，通过采用所述冲洗步骤，从而能更好地将光罩2膜面上残 留的细小脏污和清洗剂冲洗干净； 干燥步骤，之后将光罩2进行干燥处理。优选地，所述干燥处理是风干，具体地，将光罩2 置于风干箱中风干。
[0028] 清洗剂擦洗步骤和冲洗步骤均是将光罩2置于洗版架3上完成的，如图3所示，所述 洗版架3具有一个倾斜面用于放置光罩2,并且还具有定位结构将光罩2定位于洗版架3上。
[0029] 通过采用本发明光罩清洗剂以及清洗方法，可以将传统酸碱液清洗法无法去除的 细小脏污彻底清洗掉，符合TFT产品的贴光学膜要求。而且，清洗剂及清洗工艺成本均相当 低廉，适合广泛应用于IXD、LED和TFT等液晶显示面板的相关光罩加工行业。
[0030] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以 理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换 和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同范围限定。
【主权项】
1. 一种光罩清洗剂，其特征在于，其按重量百分比包括以下成分： 对氯间二甲苯酚0.5~1.5wt%; 脂肪醇聚氧乙稀醚3~5wt%; 乙二醇8~10wt%;以及 余量是水。2. 如权利要求1所述的光罩清洗剂，其特征在于，所述水为去离子水。3. -种光罩清洗方法，其特征在于，包括以下步骤： 碱液清洗步骤，将光罩置于碱液中浸泡，并用无尘布擦拭去除光罩两面明显的油污，然 后取出光罩用水冲洗，去除残留碱液； 清洗剂擦洗步骤，将经过碱液清洗步骤处理后的光罩置于洗版架上固定好，采用由如 权利要求1或2所述的光罩清洗剂浸泡过的海绵擦洗光罩的膜面第一预定遍数； 冲洗步骤，在用海绵擦洗光罩的膜面第一预定遍数后，用水冲洗光罩膜面并同时继续 用海绵擦拭光罩膜面第二预定遍数，并在停止用海绵擦拭后仍继续用水冲洗第三预定遍 数；以及 干燥步骤，将用水冲洗后的光罩进行干燥处理。4. 如权利要求3所述的光罩清洗方法，其特征在于，用于冲洗的水为去离子水。5. 如权利要求3所述的光罩清洗方法，其特征在于，清洗剂擦洗步骤中，所述第一预定 遍数为2~5遍。6. 如权利要求3所述的光罩清洗方法，其特征在于，冲洗步骤中，所述第二预定遍数为2 ~5遍。7. 如权利要求3所述的光罩清洗方法，其特征在于，冲洗步骤中，所述第三预定遍数为2 ~5遍。8. 如权利要求3所述的光罩清洗方法，其特征在于，所述干燥处理是风干，将光罩置于 风干箱中风干。9. 如权利要求3所述的光罩清洗方法，其特征在于，在清洗剂擦洗步骤和冲洗步骤中， 光罩均置于洗版架上，所述洗版架具有用于放置光罩的倾斜面以及用于将光罩定位于洗版 架上的定位结构。
【文档编号】C11D1/72GK105838507SQ201610324070
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年5月16日
【发明人】杜武兵, 林伟, 吕振群
【申请人】深圳市路维光电股份有限公司