一种安全环保高效的硅晶片清洗剂及其制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种安全环保高效的硅晶片清洗剂，其原料包括N?甲基?吡咯烷酮、无水碳酸钠、偏硅酸钠、Dynol604表面活性剂、Surfnol465表面活性剂、Surfnol104表面活性剂、低泡表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚、任基酚聚氧乙烯、二羟乙基?三羟甲基亚胺甲烷、次氮基三乙酸、OP?10、十二烷基苯磺酸钠、琥珀二辛酯磺酸钠、六氟戊二酮、β?二酮、吐温80、三乙醇胺、季铵碱、二乙二醇单甲醚、乙二醇甲醚和去离子水。本发明还提出上述的安全环保高效的硅晶片清洗剂的制备方法。本发明的硅晶片清洗剂清洗效果好，安全性高，环保无污染。
【专利说明】
一种安全环保高效的硅晶片清洗剂及其制备方法
技术领域
[0001]本发明涉及一种清洗剂，尤其涉及一种安全环保高效的硅晶片清洗剂及其制备方法。
【背景技术】
[0002]硅晶片具有良好的光电效应，是太阳能电池的主要材料。但在其加工过程中，往往一些有机物以金属杂质附着在硅晶片表面影响其工作性能，降低太阳能的转化效率，故必须保持硅晶片表面清洁。传统用于硅晶片的清洗剂是采用强酸或强碱等强腐蚀性的化学试剂，单一的强酸或强碱无法达到很好的清洗效果，因此亟需开发一种安全环保高效的硅晶片清洗剂来满足实际生产中的需求。
【发明内容】
[0003]为解决【背景技术】中存在的技术问题，本发明提出一种安全环保高效的硅晶片清洗剂及其制备方法，制备得到的硅晶片清洗剂清洗效果好，安全性高，环保无污染。
[0004]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂，其原料按重量份包括:N-甲基-吡咯烷酮3-9份、无水碳酸钠2-8份、偏硅酸钠3-9份、Dyno 1604表面活性剂5-8份、Surfnol465表面活性剂2-6份、Surfnoll04表面活性剂1-4份、低泡表面活性剂2-5份、脂肪醇聚氧乙烯醚1-4份、任基酚聚氧乙烯1-3份、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷2-5份、次氮基三乙酸1-3份、0P-10 2-5份、十二烷基苯磺酸钠4-9份、琥珀二辛酯磺酸钠3-9份、六氟戊二酮
2-7份、β-二酮1-4份、吐温804-9份、三乙醇胺2-5份、季铵碱2-5份、二乙二醇单甲醚2-5份、乙二醇甲醚1-4份、去离子水10-20份。
[0005]优选地，N-甲基-吡咯烷酮、二乙二醇单甲醚和乙二醇甲醚的重量份可以为4-8:3-4:2-3。
[0006]优选地，Dynol604表面活性剂、Surfnol465表面活性剂、Surfnol 104表面活性剂、低泡表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚1-4份、任基酚聚氧乙烯、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷、次氮基三乙酸、0P-10和十二烷基苯磺酸钠的重量份可以为6-7:3-5:2-3:3-4:1.5-2.5:
3-4:1.5-2.5:3-4:5-8o
[0007]优选地，琥珀二辛酯磺酸钠、六氟戊二酮和β-二酮的重量比为4-8: 3-6: 2-3。
[0008]优选地，二乙二醇单甲醚和乙二醇甲醚的重量比为3-4: 2-3 ο
[0009]优选地，其原料按重量份包括:N-甲基-吡咯烷酮4-8份、无水碳酸钠3-7份、偏硅酸钠4-8份、Dynol604表面活性剂6-7份、Surf ηο1465表面活性剂3-5份、Surf no 1104表面活性剂2-3份、低泡表面活性剂3-4份、脂肪醇聚氧乙烯醚2-3份、任基酚聚氧乙烯1.5-2.5份、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷3-4份、次氮基三乙酸1.5-2.5份、OP-1O 3_4份、十二烷基苯磺酸钠5-8份、琥珀二辛酯磺酸钠4-8份、六氟戊二酮3-6份、β-二酮2-3份、吐温80 5_8份、三乙醇胺3-4份、季铵碱3-4份、二乙二醇单甲醚3-4份、乙二醇甲醚2-3份、去离子水12_18份。
[0010]优选地，其原料按重量份包括:N-甲基-吡咯烷酮6份、无水碳酸钠5份、偏硅酸钠6份、071101604表面活性剂6.5份、311忖1101465表面活性剂4份、311忖1101104表面活性剂2.5份、低泡表面活性剂3.5份、脂肪醇聚氧乙烯醚2.5份、任基酚聚氧乙烯2份、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷3.5份、次氮基三乙酸2份、OP-1O 3.5份、十二烷基苯磺酸钠6.5份、琥珀二辛酯磺酸钠6份、六氟戊二酮4.5份、β-二酮2.5份、吐温80 6.5份、三乙醇胺3.5份、季铵碱3.5份、二乙二醇单甲醚3.5份、乙二醇甲醚2.5份、去离子水15份。
[0011]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂的制备方法，包括如下步骤:
[0012]S1、制备碱性溶液:将无水碳酸钠和偏硅酸钠加入去离子水中得到碱性混合溶液；
[0013]S2、制备溶液A:在SI得到的碱性混合溶液中加入六氟戊二酮和β_ 二酮混合均匀得到溶液Α;
[0014]S3、制备溶液B:将Dynol604表面活性剂、Surfnol465表面活性剂、Surfnoll04表面活性剂、低泡表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚、任基酚聚氧乙烯、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷、次氮基三乙酸、0P-10、十二烷基苯磺酸钠、琥珀二辛酯磺酸钠、吐温80和去离子水混合均匀，得到溶液B;
[0015]S4、制备溶液C:将N-甲基-吡咯烷酮、二乙二醇单甲醚和乙二醇甲醚混合均匀，接着加入三乙醇胺和季铵碱调节pH为10-12，得到溶液C;
[0016]S5、制备安全环保高效的硅晶片清洗剂:将溶液B和溶液C混合均匀，再加入溶液A和去离子水，混合均匀后得到安全环保高效的硅晶片清洗剂。
[0017]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂，其原料包括N-甲基-吡咯烷酮、无水碳酸钠、偏硅酸钠、Dynol604表面活性剂、Surfnol465表面活性剂、Surfnol 104表面活性剂、低泡表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚、任基酚聚氧乙烯、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷、次氮基三乙酸、0P-10、十二烷基苯磺酸钠、琥珀二辛酯磺酸钠、六氟戊二酮、β-二酮、吐温80、三乙醇胺、季铵碱、二乙二醇单甲醚、乙二醇甲醚和去离子水，其中以无水碳酸钠和偏硅酸钠作为碱性盐，以六氟戊二酮和二酮配合作为螯合剂，能够将溶液中的金属离子铁和金属离子铝等变成大分子除去；添加的吐温80作为乳化剂，琥珀酸二辛酯磺酸钠作为渗透剂，尤其对坚硬的硅晶片表面具有良好的清洗能力，还具有良好的生物降解性和极低的生理毒性，清洗后不易在硅晶片表面形成残留物;在碱性盐的作用下，进一步促进洗涤过程中的乳化性能，并经过过氧化氢化硅晶片表面的污物，使硅晶片表面始终处于有利清洗的状态，加之采用N-甲基-吡咯烷酮、二乙二醇单甲醚和乙二醇甲醚配合作为有机溶剂，与水具有更好的共溶性，故能加速和增加对有机污染物的清洗，提高产品的水洗性能，避免了清洗过程中残留在硅晶片表面的化学品，清洗效果好;其中添加的三乙醇胺和季铵碱配合作为PH调节剂，能够有效避免强性碱的加入而带入新的离子污染物。本发明制备方法简单，制备得到的硅晶片清洗剂清洗效果好，安全性高，环保无污染。
【具体实施方式】
[0018]下面结合具体实施例对本发明做出详细说明，应当了解，实施例只用于说明本发明，而不是用于对本发明进行限定，任何在本发明基础上所做的修改、等同替换等均在本发明的保护范围内。
[0019]【具体实施方式】中，N-甲基-吡咯烷酮的重量份可以为3份、4份、5份、6份、7份、8份、9份;无水碳酸钠的重量份可以为2份、3份、4份、5份、6份、7份、8份;偏硅酸钠的重量份可以为3份、4份、5份、6份、7份、8份、9份;Dyno 1604表面活性剂的重量份可以为5份、5.5份、6份、6.5份、7份、7.5份、8份；Surfno1465表面活性剂的重量份可以为2份、3份、4份、5份、6份；Surf no 1104表面活性剂的重量份可以为I份、1.5份、2份、2.5份、3份、3.5份、4份;低泡表面活性剂的重量份可以为2份、2.5份、3份、3.5份、4份、4.5份、5份;脂肪醇聚氧乙烯醚的重量份可以为I份、1.5份、2份、2.5份、3份、3.5份、4份;任基酚聚氧乙烯的重量份可以为I份、1.5份、2份、2.5份、3份;二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷的重量份可以为2份、2.5份、3份、3.5份、4份、4.5份、5份;次氮基三乙酸的重量份可以为I份、1.5份、2份、2.5份、3份;OP-10的重量份可以为2份、2.5份、3份、3.5份、4份、4.5份、5份;十二烷基苯磺酸钠的重量份可以为4份、4.5份、5份、5.5份、6份、6.5份、7份、7.5份、8份、8.5份、9份;琥珀二辛酯磺酸钠的重量份可以为3份、4份、5份、6份、7份、8份、9份;六氟戊二酮的重量份可以为2份、2.5份、3份、3.5份、4份、4.5份、5份、5.5份、6份、6.5份、7份;β-二酮的重量份可以为I份、1.5份、2份、2.5份、3份、3.5份、4份;吐温80的重量份可以为4份、4.5份、5份、5.5份、6份、6.5份、7份、7.5份、8份、8.5份、9份;二乙醇胺的重量份可以为2份、2.5份、3份、3.5份、4份、4.5份、5份;季钱碱的重量份可以为2份、2.5份、3份、3.5份、4份、4.5份、5份;二乙二醇单甲醚的重量份可以为2份、2.5份、3份、3.5份、4份、4.5份、5份；乙二醇甲醚的重量份可以为I份、1.5份、2份、2.5份、3份、3.5份、4份;去尚子水的重量份可以为10份、11份、12份、13份、14份、15份、16份、17份、18份、19份、20份。
[0020]实施例1
[0021]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂，其原料按重量份包括:N-甲基-吡咯烷酮6份、无水碳酸钠5份、偏硅酸钠6份、Dynol604表面活性剂6.5份、Surfnol465表面活性剂4份、Surfnol 104表面活性剂2.5份、低泡表面活性剂3.5份、脂肪醇聚氧乙烯醚2.5份、任基酚聚氧乙烯2份、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷3.5份、次氮基三乙酸2份、0P-10 3.5份、十二烷基苯磺酸钠6.5份、琥珀二辛酯磺酸钠6份、六氟戊二酮4.5份、β-二酮2.5份、吐温80 6.5份、三乙醇胺3.5份、季铵碱3.5份、二乙二醇单甲醚3.5份、乙二醇甲醚2.5份、去离子水15份。
[0022]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂的制备方法，包括如下步骤:
[0023]S1、制备碱性溶液:将无水碳酸钠和偏硅酸钠加入去离子水中得到碱性混合溶液；
[0024]S2、制备溶液A:在SI得到的碱性混合溶液中加入六氟戊二酮和β_ 二酮混合均匀得到溶液Α;
[0025]S3、制备溶液B:将Dynol604表面活性剂、Surfnol465表面活性剂、Surfnoll04表面活性剂、低泡表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚、任基酚聚氧乙烯、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷、次氮基三乙酸、0P-10、十二烷基苯磺酸钠、琥珀二辛酯磺酸钠、吐温80和去离子水混合均匀，得到溶液B;
[0026]S4、制备溶液C:将N-甲基-吡咯烷酮、二乙二醇单甲醚和乙二醇甲醚混合均匀，接着加入三乙醇胺和季铵碱调节pH为11，得到溶液C;
[0027]S5、制备安全环保高效的硅晶片清洗剂:将溶液B和溶液C混合均匀，再加入溶液A和去离子水，混合均匀后得到安全环保高效的硅晶片清洗剂。
[0028]实施例2
[0029]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂，其原料按重量份包括:N-甲基-吡咯烷酮3份、无水碳酸钠8份、偏硅酸钠3份、Dynol604表面活性剂8份、Surfnol465表面活性剂2份、Surfnoll04表面活性剂4份、低泡表面活性剂2份、脂肪醇聚氧乙烯醚4份、任基酚聚氧乙烯I份、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷5份、次氮基三乙酸I份、OP-1O 5份、十二烷基苯磺酸钠4份、琥珀二辛酯磺酸钠9份、六氟戊二酮2份、β-二酮4份、吐温80 4份、三乙醇胺5份、季铵碱2份、二乙二醇单甲醚5份、乙二醇甲醚I份、去离子水20份。
[0030]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂的制备方法，包括如下步骤:
[0031 ] S1、制备碱性溶液:将无水碳酸钠和偏硅酸钠加入去离子水中得到碱性混合溶液；
[0032]S2、制备溶液Α:在SI得到的碱性混合溶液中加入六氟戊二酮和β-二酮混合均匀得到溶液Α;
[0033]S3、制备溶液B:将Dynol604表面活性剂、Surfnol465表面活性剂、Surfnoll04表面活性剂、低泡表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚、任基酚聚氧乙烯、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷、次氮基三乙酸、0P-10、十二烷基苯磺酸钠、琥珀二辛酯磺酸钠、吐温80和去离子水混合均匀，得到溶液B;
[0034]S4、制备溶液C:将N-甲基-吡咯烷酮、二乙二醇单甲醚和乙二醇甲醚混合均匀，接着加入三乙醇胺和季铵碱调节pH为10，得到溶液C;
[0035]S5、制备安全环保高效的硅晶片清洗剂:将溶液B和溶液C混合均匀，再加入溶液A和去离子水，混合均匀后得到安全环保高效的硅晶片清洗剂。
[0036]实施例3
[0037]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂，其原料按重量份包括:N-甲基-吡咯烷酮9份、无水碳酸钠2份、偏硅酸钠9份、Dynol604表面活性剂5份、Surfnol465表面活性剂6份、Surfnoll04表面活性剂I份、低泡表面活性剂5份、脂肪醇聚氧乙烯醚I份、任基酚聚氧乙烯3份、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷2份、次氮基三乙酸3份、0P-10 2份、十二烷基苯磺酸钠9份、琥珀二辛酯磺酸钠3份、六氟戊二酮7份、β-二酮I份、吐温80 9份、三乙醇胺2份、季铵碱5份、二乙二醇单甲醚2份、乙二醇甲醚4份、去离子水10份。
[0038]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂的制备方法，包括如下步骤:
[0039]S1、制备碱性溶液:将无水碳酸钠和偏硅酸钠加入去离子水中得到碱性混合溶液；
[0040]S2、制备溶液A:在SI得到的碱性混合溶液中加入六氟戊二酮和β_ 二酮混合均匀得到溶液Α;
[0041 ] S3、制备溶液B:将Dynol604表面活性剂、Surfnol465表面活性剂、Surfnoll04表面活性剂、低泡表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚、任基酚聚氧乙烯、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷、次氮基三乙酸、0P-10、十二烷基苯磺酸钠、琥珀二辛酯磺酸钠、吐温80和去离子水混合均匀，得到溶液B;
[0042]S4、制备溶液C:将N-甲基-吡咯烷酮、二乙二醇单甲醚和乙二醇甲醚混合均匀，接着加入三乙醇胺和季铵碱调节pH为12，得到溶液C;
[0043]S5、制备安全环保高效的硅晶片清洗剂:将溶液B和溶液C混合均匀，再加入溶液A和去离子水，混合均匀后得到安全环保高效的硅晶片清洗剂。
[0044]实施例4
[0045]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂，其原料按重量份包括:N-甲基-吡咯烷酮4份、无水碳酸钠7份、偏硅酸钠4份、Dynol604表面活性剂7份、Surfnol465表面活性剂3份、Surfnoll04表面活性剂3份、低泡表面活性剂3份、脂肪醇聚氧乙烯醚3份、任基酚聚氧乙烯1.5份、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷4份、次氮基三乙酸1.5份、OP-1O 4份、十二烷基苯磺酸钠5份、琥珀二辛酯磺酸钠8份、六氟戊二酮3份、β-二酮3份、吐温80 5份、三乙醇胺4份、季铵碱3份、二乙二醇单甲醚4份、乙二醇甲醚2份、去离子水18份。
[0046]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂的制备方法，包括如下步骤:
[0047]S1、制备碱性溶液:将无水碳酸钠和偏硅酸钠加入去离子水中得到碱性混合溶液；
[0048]S2、制备溶液A:在SI得到的碱性混合溶液中加入六氟戊二酮和β_ 二酮混合均匀得到溶液Α;
[0049]S3、制备溶液B:将Dynol604表面活性剂、Surfnol465表面活性剂、Surfnoll04表面活性剂、低泡表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚、任基酚聚氧乙烯、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷、次氮基三乙酸、0P-10、十二烷基苯磺酸钠、琥珀二辛酯磺酸钠、吐温80和去离子水混合均匀，得到溶液B;
[0050]S4、制备溶液C:将N-甲基-吡咯烷酮、二乙二醇单甲醚和乙二醇甲醚混合均匀，接着加入三乙醇胺和季铵碱调节pH为10，得到溶液C;
[0051 ] S5、制备安全环保高效的硅晶片清洗剂:将溶液B和溶液C混合均匀，再加入溶液A和去离子水，混合均匀后得到安全环保高效的硅晶片清洗剂。
[0052]实施例5
[0053]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂，其原料按重量份包括:N-甲基-吡咯烷酮8份、无水碳酸钠3份、偏硅酸钠8份、Dynol604表面活性剂6份、Surfnol465表面活性剂5份、Surfnoll04表面活性剂2份、低泡表面活性剂4份、脂肪醇聚氧乙烯醚2份、任基酚聚氧乙烯2.5份、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷3份、次氮基三乙酸2.5份、0P-10 3份、十二烷基苯磺酸钠8份、琥珀二辛酯磺酸钠4份、六氟戊二酮6份、β-二酮2份、吐温80 8份、三乙醇胺3份、季铵碱4份、二乙二醇单甲醚3份、乙二醇甲醚3份、去离子水12份。
[0054]本发明提出的一种安全环保高效的硅晶片清洗剂的制备方法，包括如下步骤:
[0055]S1、制备碱性溶液:将无水碳酸钠和偏硅酸钠加入去离子水中得到碱性混合溶液；
[0056]S2、制备溶液A:在SI得到的碱性混合溶液中加入六氟戊二酮和β_ 二酮混合均匀得到溶液Α;
[0057]S3、制备溶液B:将Dynol604表面活性剂、Surfnol465表面活性剂、Surfnoll04表面活性剂、低泡表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚、任基酚聚氧乙烯、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷、次氮基三乙酸、0P-10、十二烷基苯磺酸钠、琥珀二辛酯磺酸钠、吐温80和去离子水混合均匀，得到溶液B;
[0058]S4、制备溶液C:将N-甲基-吡咯烷酮、二乙二醇单甲醚和乙二醇甲醚混合均匀，接着加入三乙醇胺和季铵碱调节pH为12，得到溶液C;
[0059]S5、制备安全环保高效的硅晶片清洗剂:将溶液B和溶液C混合均匀，再加入溶液A和去离子水，混合均匀后得到安全环保高效的硅晶片清洗剂。
[0060]以上所述，仅为本发明较佳的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种安全环保高效的硅晶片清洗剂，其特征在于，其原料按重量份包括:N-甲基-吡咯烷酮3-9份、无水碳酸钠2-8份、偏硅酸钠3-9份、Dynol604表面活性剂5-8份、Surfnol465表面活性剂2-6份、Surfnoll04表面活性剂1-4份、低泡表面活性剂2-5份、脂肪醇聚氧乙烯醚1-4份、任基酚聚氧乙烯1-3份、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷2-5份、次氮基三乙酸1-3份、OP-1O 2-5份、十二烷基苯磺酸钠4-9份、琥珀二辛酯磺酸钠3-9份、六氟戊二酮2-7份、β-二酮1-4份、吐温80 4-9份、三乙醇胺2-5份、季铵碱2_5份、二乙二醇单甲醚2_5份、乙二醇甲醚1-4份、去离子水10-20份。2.根据权利要求1所述的安全环保高效的硅晶片清洗剂，其特征在于，N-甲基-吡咯烷酮、二乙二醇单甲醚和乙二醇甲醚的重量份可以为4-8: 3-4: 2-3。3.根据权利要求1或2所述的安全环保高效的硅晶片清洗剂，其特征在于，Dynol604表面活性剂、Surfnol465表面活性剂、Surfnol 104表面活性剂、低泡表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚1-4份、任基酚聚氧乙烯、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷、次氮基三乙酸、0P-10和十二烷基苯磺酸钠的重量份可以为6-7:3-5:2-3:3-4:1.5-2.5:3-4:1.5-2.5:3-4:5-8。4.根据权利要求1-3任一项所述的安全环保高效的硅晶片清洗剂，其特征在于，琥珀二辛酯磺酸钠、六氟戊二酮和β-二酮的重量比为4-8: 3-6: 2-3 ο5.根据权利要求1-4任一项所述的安全环保高效的硅晶片清洗剂，其特征在于，二乙二醇单甲醚和乙二醇甲醚的重量比为3-4:2-3。6.根据权利要求1-5任一项所述的安全环保高效的硅晶片清洗剂，其特征在于，其原料按重量份包括:Ν-甲基-吡咯烷酮4-8份、无水碳酸钠3-7份、偏硅酸钠4-8份、Dynol604表面活性剂6-7份、Surfnol465表面活性剂3-5份、Surfnol 104表面活性剂2-3份、低泡表面活性剂3-4份、脂肪醇聚氧乙烯醚2-3份、任基酚聚氧乙烯1.5-2.5份、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷3-4份、次氮基三乙酸1.5-2.5份、0P-10 3_4份、十二烷基苯磺酸钠5_8份、琥珀二辛酯磺酸钠4-8份、六氟戊二酮3-6份、β-二酮2-3份、吐温80 5_8份、三乙醇胺3_4份、季铵碱3_4份、二乙二醇单甲醚3-4份、乙二醇甲醚2-3份、去离子水12-18份。7.根据权利要求1-6任一项所述的安全环保高效的硅晶片清洗剂，其特征在于，其原料按重量份包括:N-甲基-吡咯烷酮6份、无水碳酸钠5份、偏硅酸钠6份、Dyno 1604表面活性剂6.5份、311忖1101465表面活性剂4份、311忖1101104表面活性剂2.5份、低泡表面活性剂3.5份、脂肪醇聚氧乙烯醚2.5份、任基酚聚氧乙烯2份、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷3.5份、次氮基三乙酸2份、0Ρ-103.5份、十二烷基苯磺酸钠6.5份、琥珀二辛酯磺酸钠6份、六氟戊二酮4.5份、β-二酮2.5份、吐温80 6.5份、三乙醇胺3.5份、季铵碱3.5份、二乙二醇单甲醚3.5份、乙二醇甲醚2.5份、去离子水15份。8.—种根据权利要求1-7任一项所述的安全环保高效的硅晶片清洗剂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤:S1、制备碱性溶液:将无水碳酸钠和偏硅酸钠加入去离子水中得到碱性混合溶液； S2、制备溶液Α:在SI得到的碱性混合溶液中加入六氟戊二酮和β-二酮混合均匀得到溶液Α; S3、制备溶液B:将Dynol604表面活性剂、Surfnol465表面活性剂、Surfnol 104表面活性剂、低泡表面活性剂、脂肪醇聚氧乙烯醚、任基酚聚氧乙烯、二羟乙基-三羟甲基亚胺甲烷、次氮基三乙酸、0P-10、十二烷基苯磺酸钠、琥珀二辛酯磺酸钠、吐温80和去离子水混合均匀，得到溶液B;S4、制备溶液C:将N-甲基-吡咯烷酮、二乙二醇单甲醚和乙二醇甲醚混合均匀，接着加入三乙醇胺和季铵碱调节pH为10-12，得到溶液C; S5、制备安全环保高效的硅晶片清洗剂:将溶液B和溶液C混合均匀，再加入溶液A和去离子水，混合均匀后得到安全环保高效的硅晶片清洗剂。
【文档编号】C11D3/24GK105950305SQ201610268593
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年4月27日
【发明人】项涛, 项武
【申请人】安庆友仁电子有限公司