专利名称：一种超细微粉抛光膜的制备方法
技术领域：
本发明涉及一种用于超精密抛光的超细微粉抛光膜的制备方法。
背景技术：
近几年，随着信息技术、光学技术的发展，对硬脆性材料，如硅片，光学玻璃等，不仅需求量增大，而且对其质量、精度都提出了很高的要求。对于这些材料的加工，目前普遍使用的是游离磨料研磨抛光。但是，由于研磨液体在放置过程中容易产生沉淀而且随着磨料粒度的减小，磨料很容易产生团聚现象，这些都会对加工后的工件表面质量产生影响。在加工过程中磨料流体的流动性很大，只能在抛光盘表面停留片刻，因此磨料浪费非常严重，研磨效率很低，磨料流体废液还会严重污染环境。为了解决超细磨料的团聚问题，同时为了提高加工效率和减少磨料的浪费，使用固结磨料工具抛光来代替游离磨料研磨抛光已经成为一种趋势。
本发明基于超细磨料的团聚难题，同时为了提高加工效率和减少磨料的浪费，提出一种基于溶胶凝胶的超细微粉抛光膜的制备方法。
发明内容
本发明的目的是提供一种超细微粉抛光膜的制备方法，其可使超细微粉在结合剂中均匀分布。
本发明的技术方案是这样的一种超细微粉抛光膜的制备方法，通过下列步骤实现第一步，在常温常压下，将超细微粉放入重量百分比浓度为1-5％的海藻酸钠溶液中，用搅拌器进行搅拌，使得超细微粉在海藻酸钠溶液中能够均匀分散，形成均匀的混合溶液，其中超细微粉占此混合溶液的重量百分比的1-30％；第二步，将第一步所得的含有超细微粉的海藻酸钠混合溶液涂覆于一种网格状结构的纺织物之上并将此纺织物粘贴固定在一抛光基盘上，将涂覆于纺织物之上的含有超细微粉的藻酸钠盐溶液进行平整化处理从而得到薄膜；第三步，将第二步所得的涂覆着薄膜的抛光基盘放入重量百分比浓度为0.5-2.0％的Ca2+溶液中进行迅速固化并放置几个小时，从而制备成抛光膜。
上述Ca2+溶液为氯化钙溶液。
上述超细微粉可以是金刚石、氧化铝、碳化硅、氧化硅、氧化铁、氧化铈中的一种或几种的混合物。
上述超细微粉粒度大约在1-40μm。
上述纺织物为无纺布。
本发明与传统的超细微粉固结制造方法最大不同之处在于事先将超细微粉放置于藻酸钠盐溶液中，经过搅拌，超细微粉可以在溶液中均匀的分散开，然后将含有超细微粉的藻酸钠盐溶液涂覆于一种网格状结构的无纺布之上并用双面胶粘贴在抛光基盘上，利用一种抹平装置进行平整化处理做成薄膜形状，然后将其放入含Ca2+的溶液中进行迅速固化并放置几个小时，在抛光膜的制造的过程中，由于凝胶速度很快，整个固化时间约为0.5-1秒，因此不会造成超细微粉的沉积。本发明所提供的方法可从根本上解决超细微粉在固结过程中的团聚问题，从而可以使工件达到纳米级的加工精度。
具体实施例方式
本发明一种超细微粉抛光膜的制备方法，通过如下步骤实现第一步，在常温常压下，将粒度大约在1-40μm的超细微粉放入重量百分比浓度为1-5％的海藻酸钠溶液中，此处的超细微粉可为金刚石、氧化铝、碳化硅、氧化硅、氧化铁、氧化铈中的一种或几种的混合物，用搅拌器进行搅拌，使得超细微粉在海藻酸钠溶液中能够均匀分散，形成均匀的混合溶液，其中超细微粉占此混合溶液的重量百分比的10％；第二步，将第一步所得的含有超细微粉的海藻酸钠混合溶液涂覆于一种网格状结构的无纺布之上并用双面胶粘贴在抛光基盘上，使用一种抹平装置将涂覆于无纺布之上的含有超细微粉的藻酸钠盐溶液进行平整化处理从而做成薄膜；第三步，将第二步所得的涂覆着薄膜的抛光基盘放入重量百分比浓度为0.5-2.0％的氯化钙溶液中进行迅速固化并放置几个小时，从而制备成抛光膜。
权利要求
1.一种超细微粉抛光膜的制备方法，其特征在于通过下列步骤实现第一步，在常温常压下，将超细微粉放入重量百分比浓度为1-5％的海藻酸钠溶液中，用搅拌器进行搅拌，使得超细微粉在海藻酸钠溶液中能够均匀分散，形成均匀的混合溶液，其中超细微粉占此混合溶液的重量百分比的1-30％；第二步，将第一步所得的含有超细微粉的海藻酸钠混合溶液涂覆于一种网格状结构的纺织物之上并将此纺织物粘贴固定在一抛光基盘上，将涂覆于纺织物之上的含有超细微粉的藻酸钠盐溶液进行平整化处理从而得到薄膜；第三步，将第二步所得的涂覆着薄膜的抛光基盘放入重量百分比浓度为0.5-2.0％的Ca2+溶液中进行迅速固化并放置几个小时，从而制备成抛光膜。
2.根据权利要求1所述的一种超细微粉抛光膜的制备方法，其特征在于上述Ca2+溶液为氯化钙溶液。
3.根据权利要求1所述的一种超细微粉抛光膜的制备方法，其特征在于上述超细微粉可以是金刚石、氧化铝、碳化硅、氧化硅、氧化铁、氧化铈中的一种或几种的混合物。
4.根据权利要求1所述的一种超细微粉抛光膜的制备方法，其特征在于上述超细微粉粒度大约在1-40μm。
5.根据权利要求1所述的一种超细微粉抛光膜的制备方法，其特征在于上述纺织物为无纺布。
全文摘要
本发明公开了一种超细微粉抛光膜的制备方法，其特点在于将超细磨料加入海藻酸盐溶液中，用搅拌器进行充分搅拌使得超细微粉在藻酸钠盐溶液中均匀分布；然后将含有超细微粉的藻酸钠盐溶液涂覆于一种网格状结构的无纺布之上并用双面胶粘贴在抛光基盘上，利用一种抹平装置进行平整化处理做成薄膜形状，然后将其放入含Ca
文档编号C09G1/02GK1843701SQ200610040168
公开日2006年10月11日 申请日期2006年4月30日 优先权日2006年4月30日
发明者徐西鹏, 刘娟, 于怡青 申请人:华侨大学