专利名称：石英坩埚涂层机的制作方法
技术领域：
本实用新型特别涉及一种石英坩埚涂层机。
背景技术：
目前，石英坩埚制成后不经过任何处理，直接投入生产 是国内外坩埚生产厂家的普遍做法。这种做法存在以下技术 缺陷坩埚在熔融的过程中，由于各种因素造成坩埚内壁产 生少许杂质点，使这一部分坩埚介于成品与废品之间，如直 接作为废品处理势必造成浪费，而直接投入生产容易影响最 终产品质量。 发明内容
本实用新型的目的是要解决现有技术存在的上述问题， 提供一种石英坩埚涂层机，可对石英坩埚内表面进行涂层， 提高石英坩埚的质量和成品率，最终可提高拉制多晶硅的质 量和合格率。
本实用新型是这样实现的它有一个密闭的不锈钢罐体， 在不锈钢罐体内设有石英加热器，在不锈钢罐体的底部设有 可旋转的空心主轴，所述的主轴上端插入不锈钢罐体内，在 主轴上端连接有转盘，在转盘上端面均布有多个定位爪，在 不锈钢罐体底部固定有电机，所述的电机位于不锈钢罐体外，主轴下部与电机轴通过皮带传动连接，在主轴内插有喷淋器， 喷淋器下端设有一个储料罐，储料罐设有进风口和出料口 ， 所述的储料罐的出料口与喷淋器连通。
上述的石英坩埚涂层机，在不锈钢罐体的底部设有支座， 在支座下部固定有横梁，所述的储料罐安装在横梁上。
上述的石英坩埚涂层机，所述的电机通过吊架固定在不锈 钢罐体上。
上述的石英坩埚涂层机，在主轴上端固接有一个法兰盘， 所述的转盘通过法兰盘与主轴连接。
上述的石英坩埚涂层机，所述的喷淋器是由插在主轴内的 导管以及安装在导管上端的导向盖和喷头构成。
本实用新型的优点是通过该石英坩埚涂层机能够对石 英坩埚内表面进行涂层，涂层效果好，生产效率高，可使石 英坩埚内表面形成一层碳酸钡薄膜，提高石英坩埚的质量和 成品率；同时该薄膜在拉制单晶硅时能够隔离单晶硅和坩埚 内表面的腐蚀，避免坩埚内表面发生析晶和渗漏现象，防止 拉制单晶硅时的断苞和位错，从而会大大提高拉制单晶硅的 质量和合格率。
图l是本实用新型的结构示意图2是图1的I部放大图。
图中支座l，主轴2，大带轮3，轴承座4，法兰盘5，不锈钢罐体6，转盘7，定位爪8，喷淋器9，石英坩埚IO，
石英加热器ll，密封门12，底板13，吊架14，电机15，储 料罐16，出料口 16a，进风口 16b，横梁17，导管18，导向 盖19，喷头20。
具体实施方式
如图所示，本实用新型有一个支座l，在支座l上支撑有 一个密闭的不锈钢罐体6，在不锈钢罐体6内设有石英加热器 11，在不锈钢罐体6的侧壁上设有坩埚入口并安装有密封门 12。在不锈钢罐体6内的底板13上通过螺栓固定有轴承座4， 轴承座4下端由底板13引出，在轴承座4上通过轴承固定有可 旋转的空心主轴2，所述的主轴2上端插入不锈钢罐体6内，在 主轴2上端焊接有一个法兰盘5，在法兰盘5上通过螺栓固接有 一个转盘7，在转盘7上端面靠近外缘沿圆周方向均布固定有 多个阶梯状定位爪8，本实施例以四个为例。在不锈钢罐体6 的底板13下面通过一个吊架14和螺栓固定有电机15，在主轴2 下部安装有大带轮3并通过设在主轴2下端的螺母限位，所述 的主轴2与电机轴通过皮带传动连接。在主轴2内插有喷淋器 9，喷淋器9是由插在主轴2内的导管18以及设在导管18上端的导 向盖19和杯状喷头20构成，其中导向盖19固接在导管18的上端 口上且在导向盖19上沿其径向对称设有导向孔，喷头20固定在 导管18的外缘上部且将导向盖19罩在其中，在喷头20上沿其弧 形外缘分布有多个喷射孔。在喷淋器9下端设有一个使用时盛装液态碳酸钡的储料罐16，储料罐16设有进风口 16b和出料口 16a，所述的出料口16a与喷淋器9的导管18通过接头连通。在 支座1下部固定有横梁17，所述的储料罐16安装在横梁17上。
使用时，将石英坩埚10由坩埚入口放入不锈钢罐体6内并 且口朝下倒置于定位爪8对应的阶梯上，通过石英加热器ll 将不锈钢罐体6内温度加热到20(TC 300。C，再将储料罐16 的进风口16b通过风管连接C02气源；启动电机15，通过皮带 传动带动主轴2、转盘7和石英坩埚10低速旋转，C02高压气体 通过风管进入储料罐16，将储存的碳酸钡溶液通过喷淋器9均 匀喷涂在石英柑埚10内壁，液态碳酸钡在20(TC 30(TC的环境 中能够迅速在坩埚内表面固化成一层薄膜，形成涂层。
权利要求1、一种石英坩埚涂层机，其特征是它有一个密闭的不锈钢罐体，在不锈钢罐体内设有石英加热器，在不锈钢罐体的底部设有可旋转的空心主轴，所述的主轴上端插入不锈钢罐体内，在主轴上端连接有转盘，在转盘上端面均布有多个定位爪，在不锈钢罐体底部固定有电机，所述的电机位于不锈钢罐体外，主轴下部与电机轴通过皮带传动连接，在主轴内插有喷淋器，喷淋器下端设有一个储料罐，储料罐设有进风口和出料口，所述的储料罐的出料口与喷淋器连通。
2、 根据权利要求l所述的石英坩埚涂层机，其特征是在 不锈钢罐体的底部设有支座，在支座下部固定有横梁，所述的 储料罐安装在横梁上。
3、 根据权利要求l所述的石英坩埚涂层机，其特征是所 述的电机通过吊架固定在不锈钢罐体上。
4、 根据权利要求l所述的石英坩埚涂层机，其特征是在 主轴上端固接有一个法兰盘，所述的转盘通过法兰盘与主轴连 接。
5、 根据权利要求l所述的石英坩埚涂层机，其特征是所 述的喷淋器是由插在主轴内的导管以及安装在导管上端的导向 盖和喷头构成。
专利摘要一种石英坩埚涂层机，它有一个不锈钢罐体，在不锈钢罐体内设有石英加热器，在不锈钢罐体底部设有空心主轴，主轴上端插入不锈钢罐体内，在主轴上端连接有转盘，在转盘上端面均布有定位爪，在不锈钢罐体底部固定有电机，主轴下部与电机轴连接，在主轴内插有喷淋器，喷淋器下端设有储料罐，储料罐设有进风口和出料口，所述的储料罐的出料口与喷淋器连通。优点是能够对石英坩埚内表面进行涂层，涂层效果好，生产效率高，可使坩埚内表面形成一层碳酸钡薄膜，提高石英坩埚的质量和成品率；同时该薄膜在拉制单晶硅时能够隔离单晶硅和坩埚内表面的腐蚀，避免坩埚内表面发生析晶和渗漏，防止拉制单晶硅时的断苞和位错，提高拉制单晶硅的质量和合格率。
文档编号B05B13/02GK201346511SQ20092001443
公开日2009年11月18日 申请日期2009年6月5日 优先权日2009年6月5日
发明者建 侯, 赵青山 申请人:锦州佑鑫电子材料有限公司