专利名称：供应原材料的分配设备及方法
技术领域：
本发明涉及一种用于供应原材料的分配设备及方法，所述分配设备包含用于容易地供应原材料的原材料供应单元。
背景技术：
如果需要平板显示器(例如液晶显示器、等离子体显示器面板以及有机发光装置)，则将上部衬底和下部衬底接合在一起以制造所述平板显示器。这里，为将上部衬底和下部衬底接合在一起，用密封剂涂覆上部衬底和下部衬底，所述密封剂为使密封剂固化的接合材料。用于将密封剂涂覆在衬底上的分配设备包含上面安装有衬底的载物台、设置在载物台上方的门架、固定到门架以在水平方向上移动的同时将密封剂涂覆在衬底上的分配器，以及用于将原材料供应到分配器中的原材料供应单元。这里，原材料供应单元包含储存有密封剂的罐以及一端连接到罐且另一端连接到分配器的供应管线。因此，当将罐内的密封剂排放到供应管线中时，可经由供应管线将密封剂供应到分配器中。为连续不断地将密封剂供应到衬底上，应将密封剂供应到分配器中。因此，原材料供应单元连续不断地将密封剂供应到分配器中，同时利用分配器将密封剂涂覆在衬底上。当将密封剂供应到分配器中时，由于来自罐中的密封剂的排放误差、罐中接收到的密封剂的耗尽或供应管线的损坏，密封剂可能不会连续不断地被供应到分配器中。如上所述，当密封剂并未连续不断地被供应到分配器中或供应到分配器中的密封剂的量不足时，密封剂可能不会连续不断地被供应到衬底上。因此，可能会停止将密封剂涂覆在衬底上的涂覆制程以延迟涂覆密封剂的制程时间，或者会引起密封剂的图案缺陷。此外，分配设备的操作误差(即，来自罐中的密封剂的排放误差、罐中接收到的密封剂的耗尽以及供应管线的损坏)可能不会被实时掌握。因此，当原材料供应过程中出现操作误差时，这些误差可能不会立即得到改正。因此，涂覆密封剂的制程时间可能会增加，且密封剂的图案缺陷也可能会出现。
发明内容
本发明提供一种用于供应原材料的分配设备及方法，所述分配设备包含用于容易地将原材料供应到分配器中的原材料供应单元。本发明还提供一种用于供应原材料的分配设备及方法，所述分配设备实时检测原材料的供应状态。本发明还提供一种用于供应原材料的分配设备及方法，所述分配设备实时检测供应管线内的压力变化以实时检测原材料的供应状态，从而容易地将原材料供应到分配器中。根据示范性实施例，一种分配设备包含分配器，其经配置以将原材料涂覆在衬底上；原材料供应模块，其经配置以将原材料供应到分配器中；供应管线，其一端连接到原材料供应模块且另一端连接到分配器，所述供应管线经配置以将从原材料供应模块供应的原材料供应到分配器中；以及控制模块，其经配置以检测供应管线内的压力，以利用供应管线内的测得压力控制从原材料供应模块供应到供应管线中的原材料的供应流动速率。原材料供应模块可包含罐，其经配置以接收原材料；泵抽组件，其一端连接到罐且另一端连接到供应管线，所述泵抽组件经配置以利用泵抽力将罐中接收到的原材料供应到供应管线中；以及供应管道，其一端连接到罐且另一端连接到泵抽组件。供应管道可包含原材料量检测单元，所述原材料量检测单元经配置以检测供应管道中接收到的原材料的量。经配置以利用原材料的介电常数差测量界面高度的电容传感器可用作原材料量检测单元。控制模块可包含经配置以检测供应管线内压力的传感器。控制模块可包含判定单元，其经配置以将由传感器测得的供应管线内的压力与预设压力相比较以判定原材料的供应状态；以及控制单元，其连接到判定单元和泵抽组件以根据由判定单元判定的结果控制泵抽组件，从而调整泵抽力。根据另一示范性实施例，一种用于供应原材料的方法包含制备衬底并将用于涂覆原材料的分配器设置在衬底的顶表面上；利用用于供应原材料的原材料供应模块将原材料供应到分配器中；以及利用分配器将原材料涂覆到衬底上，其中将原材料供应到分配器中包含利用原材料供应模块的泵抽力经由供应管线将原材料供应到分配器中；检测供应管线内的压力；将供应管线内的测得压力与供应管线内的预设压力相比较以判定原材料的供应状态；以及根据关于原材料的供应状态的判定的结果维持、增加或减小原材料供应模块的泵抽力。当供应管线内的测得压力等于供应管线内的预设压力时，原材料供应模块的泵抽力可维持于目前状态中。当供应管线内的测得压力小于供应管线内的预设压力时，原材料供应模块的泵抽力可增加以增加供应到供应管线中的原材料的流动速率。当供应管线内的测得压力大于供应管线内的预设压力时，原材料供应模块的泵抽力可减小以减小供应到供应管线中的原材料的流动速率。密封剂和液晶中的一者可用作原材料。
根据以下描述结合附图可更详细地理解示范性实施例。图1是根据示范性实施例的分配设备的截面图。图2是图解说明根据示范性实施例的分配设备的分配器和原材料供应单元的截面图。图3是根据示范性实施例的用于利用原材料供应单元将密封剂供应到分配器中的程序的流程图。
具体实施例方式在下文中，将参看附图对特定实施例进行详细描述。然而，本发明可以不同的形式体现且不应当被解释为局限于本文所述的实施例。 提供这些实施例是为了使得本发明详细且完整，同时向所属领域的技术人员充分传达本发明的范围。图1是根据示范性实施例的分配设备的截面图。图2是图解说明根据示范性实施例的分配设备的分配器和原材料供应单元的截面图。参看图1，根据示范性实施例的分配设备包含具有内部空间的腔室100 ；腔室100 内的上面安装有衬底S的载物台200 ；在载物台200上方隔开的门架300 ；固定到门架300 以将密封剂涂覆在衬底S上的分配器400 ；用于将原材料供应到分配器400中的原材料供应单元600 ；设置在门架上以水平移动分配器400的水平移动单元500 ；设置在载物台200 下方以支撑载物台200的载物台支撑件210 ；以及一端连接到门架300的下部且另一端连接到载物台支撑件210的上部以支撑门架300的门架支撑组件310。分配设备可为用于将为接合材料的密封剂涂覆在衬底S上的密封剂分配设备。然而，本发明并不限于此，且因此各种原材料可用作将被涂覆在衬底上的原材料。举例来说，液晶或金属膏等各种材料可用作原材料。腔室100为具有空的空间(empty space)的方盒形。此外，对衬底S进行处理的预定空间界定在腔室100中。虽然在当前实施例中，腔室100具有方盒形，但本发明并不限于此。举例来说，腔室100的形状可能对应于衬底S的形状。此外，虽然在当前实施例中， 腔室100制造为单体，但本发明并不限于此。举例来说，腔室100可分成上侧打开的下部腔室以及覆盖下部腔室的打开的上侧的腔室盖。此外，腔室100连接到单独的真空处理组件 (图中未展示)以将腔室100的内部处理为真空状态。虽然图中未展示，但衬底入口(经由衬底入口装载衬底幻界定在腔室100的侧部中。载物台200支撑并移动衬底S。载物台200装设并固定到载物台支撑件210的顶表面，所述载物台支撑件210设置在腔室100内。此外，载物台200的形状可对应于衬底S 的形状。由于在当前实施例中，将方形的玻璃用作衬底S，因此载物台200可为方形。然而， 本发明并不限于此。举例来说，根据衬底S的形状，载物台200可具有各种形状。虽然图中未展示，但用于移动衬底S的衬底移动单元设置在载物台200上。这里，衬底移动单元可沿与分配器400的移动方向交叉的方向移动安装在载物台200上的衬底S。此外，虽然图中未展示，但载物台200可包含用于固定衬底S的单独的固定组件。这里，利用静电力或真空固定装置的静电吸盘可用作固定组件。这里，当真空固定装置用作固定组件时，与真空泵614b 连通的多个孔可界定在载物台200的顶表面中。如上所述，在门架300固定的状态下，利用载物台200沿与分配器400的移动方向交叉的方向移动衬底S。然而，本发明并不限于此。举例来说，可提供用于移动门架300的单独的门架移动单元。这里，门架移动单元可沿与分配器400的移动方向交叉的方向移动门架300。分配器400为将密封剂涂覆在衬底S上的单元。分配器400耦接到装设在门架 300上的水平移动单元500。此外，分配器400包含由水平移动单元500水平移动的耦接组件430、接收密封剂以排放密封剂的注射器410，以及连接到注射器410的下部以将注射器 410内的密封剂排放到衬底S上的喷嘴420。这里，耦接组件430可为板形。注射器410和喷嘴420装设在耦接组件430的前表面上，且水平移动单元500耦接到耦接组件430的背表面。此外，注射器410经由原材料供应单元600接收密封剂，以将注射器410的预定量提供到喷嘴420中。因此，在由水平移动单元500水平移动的同时，分配器400可将密封剂涂覆在衬底S上。原材料供应单元600设置在腔室100的外部。原材料供应单元600包含原材料供应模块610、一端连接到设置在腔室100内部的分配器400的注射器410且另一端连接到原材料供应模块610的供应管线620，以及检测供应管线620内的压力以利用测得压力控制从原材料供应模块610供应到供应管线620的密封剂的供应流动速率的控制模块630。参看图1和图2，原材料供应模块610包含具有内部空间的盒611、设置在盒611 内部以接收密封剂的罐612、一端与罐612连通以充当移动路径(从罐612中排放的密封剂流经所述移动路径)的供应管道613、与供应管道613连通以利用泵抽力将供应管道613 内的密封剂移入供应管线620中的泵抽组件614，以及设置在供应管道613中以检测供应到供应管道613中的密封剂的量的原材料量检测单元615。这里，盒611耦接到腔室100的侧壁。此外，盒611的内部可维持在室温下。然而， 本发明并不限于此。举例来说，用于维持盒611内真空状态的单独的真空处理组件可设置在盒611中。罐612设置在盒611内部以储存密封剂且接着将密封剂排放到供应管道613 中。为此，将与供应管道613连通的开口界定在罐612的下部中。用于控制与供应管道613 的连通的阀(图中未展示)可设置在开口中。罐612以可拆卸方式设置在供应管道613上。 当罐612内的密封剂耗尽时，将密封剂填充到罐612中或更换罐612。供应管道613为具有内部空间的管形，密封剂流经所述内部空间。供应管道613的一端连接到罐612的下端且另一端连接到泵抽组件614。如上所述，用于检测供应管道613内接收到的密封剂的剩余量的原材料量检测单元615设置在供应管道613中。这里，原材料量检测单元615可为用于利用原材料的介电常数差测量界面高度的电容传感器。然而，本发明并不限于此。举例来说，能够检测供应管道613中接收到的原材料的剩余量的各种单元可用作原材料量检测单元 615。泵抽组件614包含一端连接到供应管道613以将供应管道613内的密封剂移入供应管线620中的泵614b以及用于将电力提供到泵614b中的电力部分614a。当利用电力部分61 操作泵614b时，通过泵614b的泵抽力将供应管道613内的密封剂经由泵614b和供应管线620移入注射器410中。这里，泵抽组件614产生用于沿与设置供应管道613的方向相反的方向抽吸密封剂的泵抽力，以将供应管道613内的密封剂移入供应管线620中。 在当前实施例中，将螺旋泵用作泵614b。然而，本发明并不限于此。举例来说，提供用于沿与设置供应管道613的方向相反的方向抽吸密封剂的泵抽力的各种泵614b可用作泵614b。供应管线620可为具有内部空间的管形，密封剂流经所述内部空间。供应管线620 的一端连接到设置在腔室100外部的原材料供应模块610的泵614b，且另一端连接到设置在腔室100内部的分配器400的注射器410。供应管线620的压力可能会根据供应管线620 中接收到的密封剂的量而发生变化。即，当与供应到供应管线620中的密封剂的量较大相比较时，在供应到供应管线620中的密封剂的量较小的情况下，供应管线620内的压力较低。在当前实施例中，利用供应管线620内压力的变化检测密封剂的供应状态，压力变化取决于供应到供应管线620中的密封剂的量。将在下文中对用于检测供应管线620内的压力以判定密封剂的供应状态并控制密封剂的供应的方法进行描述。控制模块630包含用于检测供应管线620内压力的传感器631、连接到传感器631 以将由传感器631测得的供应管线620内的压力与预设压力相比较从而判定密封剂供应状态的判定单元632，以及用于根据由判定单元632判定的结果控制泵抽组件614的马达的操作的控制单元633。这里，传感器631根据供应到供应管线620中的密封剂的量检测供应管线620内压力的变化。接着，将由传感器631测得的压力传输到判定单元632中。判定单元632将由工人预设的供应管线620内的压力与由传感器631测得的供应管线620内的压力相比较，以判定密封剂的供应状态。这里，供应管线620内的预设压力可为足以容易且连续不断地将密封剂经由供应管线620供应到分配器400的注射器410中的压力。此外，控制模块633根据由判定单元632判定的结果控制泵抽组件614的马达，以增加或减小供应管线620内的压力。举例来说，当由传感器631测得的供应管线620内的压力小于判定单元632中预设的压力时，判定供应到供应管线620中的密封剂的量不足。因此，经由控制单元633控制泵抽组件614的电力部分61 的操作，以与目前由电力部分61 提供的电力相比将相对较大的电力提供到泵614b中。因此，通过电力部分61 的操作，泵614b的泵抽力会增加， 且因此从罐612和供应管道613供应到供应管线620中的密封剂的流动速率会增加。这里， 传感器631实时检测供应管线620内的压力。此外，当由传感器631测得的供应管线620 内的压力等于预设压力时，经由控制单元633控制电力部分61 的操作。因此，将恒定量的密封剂供应到供应管线620中。此外，当供应管线620内的压力不增加时(即使由于由传感器631测得的供应管线620内的压力小于由判定单元632预设的压力而控制电力部分61 的操作以增加泵 614b的泵抽力)，可判定供应管线620中存在泄漏。在这种情况下，可更换或修理供应管线 620。此外，可判定罐612中接收到的密封剂被耗尽。因此，可将密封剂注入到罐612中或可将密封剂被耗尽的罐612更换为填满密封剂的其它罐612。当由传感器631测得的供应管线620内的压力大于预设压力时，可判定供应到供应管线620中的密封剂的量是过量的。因此，可经由控制单元633控制泵抽组件614的电力部分61 的操作，以与目前由电力部分61 提供的电力相比将相对较小的电力提供到泵614b中。由于电力部分61 的操作，泵614b的泵抽力降低，且因此罐612和供应管道 613内供应到供应管线620中的密封剂的供应流动速率降低。这里，传感器631实时检测供应管线620内的压力。此外，当由传感器631测得的供应管线620内的压力等于预设压力时，经由控制单元633控制电力部分61 的操作以维持泵614b的泵抽力的目前状态。因此，将恒定量的密封剂供应到供应管线620中。图3是根据示范性实施例的用于利用原材料供应单元将密封剂供应到分配器中的程序的流程图。在下文中，将参看图1至图3对利用原材料供应单元将密封剂供应到分配器中以将密封剂涂覆到衬底上的方法进行描述。这里，将省略或简要描述与上述实施例中的描述重复的描述。首先，将衬底S安装在设置在腔室100内的载物台200上。利用原材料供应单元600将密封剂供应到分配器400中。接着，分配器400将密封剂涂覆在衬底S上。为此，在操作SlOO中，利用泵抽组件614的泵抽力将罐612中接收到的密封剂经由供应管线620供应到分配器400中。S卩，利用阀(图中未展示)使得接收到密封剂的罐 612与供应管道613连通。接着，利用泵抽组件614的电力部分61 操作泵614b。这里， 通过泵614b的泵抽力，将罐612中接收到的密封剂经由供应管道613、泵614b和供应管线 620供应到分配器400的注射器410中。当将密封剂供应到注射器410中时，注射器410将密封剂排放到喷嘴420中，且接着喷嘴420将密封剂排放到衬底S上以将密封剂涂覆在衬底S上。这里，在由设置在门架300上的水平移动单元500水平移动的同时，分配器400将密封剂涂覆在衬底S上。此外，衬底S由载物台200沿与分配器400的水平移动方向交叉的方向水平移动。因此，由于分配器400和衬底S的移动，密封剂可连接不断地被涂覆在衬底S上。当利用分配器400将密封剂涂覆在衬底S上时，可利用原材料供应单元600的原材料供应模块610将密封剂连续不断地供应到供应管线620和分配器400中。在操作S200 中，控制模块630的传感器631实时检测供应管线620内的压力。在操作S300中，判定单元 632将由传感器631测得的供应管线内的压力与供应管线620内的预设压力相比较。当根据通过将由传感器631测得的供应管线620内的压力与供应管线620内的预设压力相比较而得到的结果测得压力等于预设压力时，判定密封剂的供应状态是正常的，以在操作S400 中将泵抽力维持在目前状态。即，维持在目前状态下的电力而不经由控制单元633控制电力部分61 的操作以增加或减小泵抽力。当测得压力等于预设压力时，可判定密封剂容易地被供应到分配器400中。在通过将由传感器631测得的供应管线620内的压力与供应管线620内的预设压力相比较而得到的结果中，当测得压力小于预设压力时，可判定密封剂的供应状态是异常的，以在操作S510中增加泵抽力。为此，经由控制单元633控制泵抽组件614的电力部分61 的操作，以与目前由电力部分61 提供的电力相比将相对较大的大电力提供到泵 614b中。因此，由于电力部分61 的操作，泵614b的泵抽力会增加。此后，在操作S520 中，利用泵抽组件614的增加的泵抽力将罐612中接收到的密封剂经由供应管线620供应到分配器400中。如上所述，当泵抽组件614的泵抽力增加以将罐612和供应管道613内的密封剂供应到供应管线620中时，供应到供应管线620中的密封剂的供应流动速率会增加。 这里，传感器631实时检测供应管线620内的压力。当供应到供应管线620中的密封剂的供应流动速率实时增加时，供应管线620内的压力会增加。此外，可重复执行用于控制泵抽力的上述程序，直到由传感器631测得的供应管线620内的压力等于预设压力为止。此后， 当由传感器631测得的供应管线内的压力等于预设压力时，将泵614b的泵抽力维持于目前状态中。此外，当利用原材料供应模块610和供应管线620将密封剂供应到分配器400中的同时，利用传感器631实时检测供应管线620内的压力。此外，当供应管线620内的压力不增加时(即使由于由传感器631测得的供应管线620内的压力小于由判定单元632预设的压力而控制电力部分61 的操作以增加泵 614b的泵抽力)，可判定供应管线620中存在泄漏或罐612中接收到的密封剂被耗尽。在这种情况下，可更换或修理供应管线620或将密封剂填充到罐612中。然而，本发明并不限于此。举例来说，可将密封剂被耗尽的罐更换为填满密封剂的其它罐612。
另一方面，在通过将由传感器631测得的供应管线620内的压力与供应管线620 内的预设压力相比较而得到的结果中，当测得压力大于预设压力时，可判定密封剂的供应状态是异常的，以在操作S610中减小泵抽力。为此，经由控制单元633控制泵抽组件614 的电力部分61 的操作，以与目前由电力部分61 提供的电力相比将相对较小的电力提供到泵614b中。因此，由于电力部分61 的操作，泵614b的泵抽力会减小。此后，在操作 S620中，利用泵抽组件614的减小的泵抽力将罐612中接收到的密封剂经由供应管线620 供应到分配器400中。如上所述，当泵抽组件614的泵抽力减小以将罐612和供应管道613 内的密封剂供应到供应管线620中时，供应到供应管线620中的密封剂的供应流动速率会减小。这里，传感器631实时检测供应管线620内的压力。当供应到供应管线620中的密封剂的供应流动速率实时减小时，供应管线620内的压力会减小。此外，可重复执行用于控制泵抽力的上述程序，直到由传感器631测得的供应管线620内的压力等于预设压力为止。 此后，当由传感器631测得的供应管线620内的压力等于预设压力时，泵614b的泵抽力可维持于目前状态中。如上所述，可实时检测供应管线620内的压力以实时检测密封剂到供应管线620 中的供应状态。因此，由于可根据密封剂的测得的供应状态实时控制供应到供应管线620 中的密封剂的供应流动速率，因此可容易地将密封剂连续不断地供应到分配器400中。因此，这可防止涂覆制程停止或密封剂的图案缺陷出现。此外，由于可实时检测密封剂的供应状态，因此可实时检测用于供应密封剂的原材料供应模块610的操作误差以及供应管线 620的缺陷。因此，当供应管线620内的压力小于或大于预设压力时，可在短时间内执行用于控制原材料供应模块610的操作的程序或用于维护或修理供应管线620的程序。虽然作为实例描述用于将密封剂涂覆在衬底S上的分配设备，但本发明并不限于此。举例来说，用于供应原材料的原材料供应模块610和方法可能适用于供应液晶的设备。根据示范性实施例的分配设备可包含用于检测供应管线内的压力的控制模块，所述供应管线为用于将原材料供应模块内的原材料实时供应到分配器中并利用供应管线内的测得压力控制从原材料供应模块供应到供应管线中的原材料的供应流动速率的路径。因此，根据示范性实施例的分配设备可实时检测供应管线内的压力以实时检测原材料的供应状态。如上所述，由于可根据原材料的测得的供应状态实时控制原材料的供应流动速率，因此可容易地将原材料连续不断地供应到分配器中。因此，可利用分配器连续不断地涂覆原材料，以防止涂覆制程停止或密封剂的图案缺陷出现。此外，由于可实时检测密封剂的供应状态，因此可实时检测用于供应密封剂的原材料供应模块的操作误差以及供应管线的缺陷。因此，当供应管线内的压力小于或大于预设压力时，可在短时间内执行用于控制原材料供应模块的操作的程序或维护或修理供应管线620的程序。因此，这可防止在衬底上没有涂覆原材料的状态下执行程序。虽然已参考特定实施例对用于供应原材料的分配设备和方法进行了描述，但所述分配设备和方法并不限于此。因此，所属领域的技术人员将容易理解，可在不脱离由权利要求书界定的本发明的精神和范围的前提下对本发明作各种修改和改变。
权利要求
1.一种分配设备，包括分配器，经配置以将原材料涂覆在衬底上；原材料供应模块，经配置以将所述原材料供应到所述分配器中；供应管线，一端连接到所述原材料供应模块且另一端连接到所述分配器，所述供应管线经配置以将从所述原材料供应模块供应的所述原材料供应到所述分配器中；以及控制模块，经配置以检测所述供应管线内的压力，以利用所述供应管线内的测得压力控制从所述原材料供应模块供应到所述供应管线中的所述原材料的供应流动速率。
2.根据权利要求1所述的分配设备，其特征在于所述原材料供应模块包括罐，经配置以接收所述原材料；泵抽组件，一端连接到所述罐且另一端连接到所述供应管线，所述泵抽组件经配置以利用泵抽力将所述罐中接收到的所述原材料供应到所述供应管线中；以及供应管道，一端连接到所述罐且另一端连接到所述泵抽组件。
3.根据权利要求2所述的分配设备，其特征在于所述供应管道包括原材料量检测单元，所述原材料量检测单元经配置以检测所述供应管道中接收到的所述原材料的量。
4.根据权利要求3所述的分配设备，其特征在于经配置以利用所述原材料的介电常数差测量界面高度的电容传感器用作所述原材料量检测单元。
5.根据权利要求1所述的分配设备，其特征在于所述控制模块包括经配置以检测所述供应管线内的压力的传感器。
6.根据权利要求1或5所述的分配设备，所述控制模块包括判定单元，经配置以将由所述传感器测得的所述供应管线内的压力与预设压力相比较，以判定所述原材料的供应状态；以及控制单元，连接到所述判定单元和所述泵抽组件，以根据由所述判定单元判定的结果控制所述泵抽组件，从而调整泵抽力。
7.一种用于供应原材料的方法，包括制备衬底并将用于涂覆原材料的分配器设置在所述衬底的顶表面上；利用用于供应所述原材料的原材料供应模块将所述原材料供应到所述分配器中；以及利用所述分配器将所述原材料涂覆到所述衬底上，其中所述原材料到所述分配器中的供应包括利用所述原材料供应模块的泵抽力将所述原材料经由供应管线供应到所述分配器中；检测所述供应管线内的压力；将所述供应管线内的测得压力与所述供应管线内的预设压力相比较，以判定所述原材料的供应状态；以及根据关于所述原材料的所述供应状态的判定的结果维持、增加或减小所述原材料供应模块的所述泵抽力。
8.根据权利要求7所述的用于供应原材料的方法，其特征在于当所述供应管线内的所述测得压力等于所述供应管线内的所述预设压力时，所述原材料供应模块的所述泵抽力维持于目前状态中。
9.根据权利要求7所述的用于供应原材料的方法，其特征在于当所述供应管线内的所述测得压力小于所述供应管线内的所述预设压力时，所述原材料供应模块的所述泵抽力增加，以增加供应到所述供应管线中的所述原材料的流动速率。
10.根据权利要求7所述的用于供应原材料的方法，其特征在于当所述供应管线内的所述测得压力大于所述供应管线内的所述预设压力时，所述原材料供应模块的所述泵抽力减小，以减小供应到所述供应管线中的所述原材料的流动速率。
11.根据权利要求7至10中任一权利要求所述的用于供应原材料的方法，其特征在于将密封剂和液晶中的一者用作所述原材料。
全文摘要
本发明提供一种用于供应原材料的分配设备及方法。分配设备包含经配置以将原材料涂覆在衬底上的分配器；经配置以将原材料供应到分配器中的原材料供应模块；一端连接到原材料供应模块且另一端连接到分配器的供应管线，供应管线经配置以将从原材料供应模块供应的原材料供应到分配器中；以及经配置以检测供应管线内的压力以利用供应管线内的测得压力控制从原材料供应模块供应到供应管线中的原材料的供应流动速率的控制模块。因此，分配设备可实时检测供应管线内的压力以实时检测原材料的供应状态。
文档编号B05C5/00GK102553782SQ20111044695
公开日2012年7月11日 申请日期2011年12月28日 优先权日2010年12月29日
发明者刘正必, 尹青龙, 崔锺权 申请人:Ap系统股份有限公司