用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置的制作方法

文档序号:3760383阅读:231来源:国知局
专利名称:用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种雾化装置,特别是涉及一种用来雾化电浆的前驱物的恒温式
雾化装置。
背景技术
以往镀膜制程中,为了将靶材中的离子轰出,需要在反应室中制造电浆,而产生电浆的前驱物有的是气体形式,有些是液体形式,其中,液体前驱物需要经过雾化装置的雾化才能送入反应室内。而以往用来雾化电浆前驱物的雾化装置通常包含数个独立的雾化模组,当电浆的前驱物被雾化后,再利用载气(Carrier gas)送到该反应室内,将载气通入前驱物液面下后,会将前驱物雾化为气态,最后从出气管出气。以往雾化装置的每个独立的雾化模组虽然都可以达到雾化电浆前驱物的目的,但是在一般镀膜的制程中,雾化液滴的载气的流量、压力、液滴的温度,以及液面高度变化,都会影响镀膜沉积的品质,前述镀膜沉积的品质通常是指:镀膜的均匀度、雾度、膜厚、水滴接触角、沉积附着力等等。而以往雾化装置的各个独立雾化模组所储存的液滴,很难维持相同的温度,故对于镀膜沉积的品质有不良的影响。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种可以提高镀膜沉积的品质的用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置。本实用新型的恒温式雾化装置包含:一个恒温基座、数个安装在该恒温基座上的雾化模组,以及一个恒温控制机构。该恒温基座包括一个供所述雾化模组安装的架设面,以及一条控温流道,而该恒温控制机构提供该恒温基座的控温流道一个循环流体,使该恒温基座维持在恒温状态。本实用新型所述的恒温式雾化装置,该恒温控制机构包括一个恒温水箱、一个连通该恒温水箱及该恒温基座的控温流道的连管单元,以及一个安装在该连管单元上并将恒温水箱内的流体送入该恒温基座的控温流道的泵。本实用新型所述的恒温式雾化装置,所述每个雾化模组都包括一个雾化室,而该恒温基座还包括一个连通所述雾化模组的雾化室的补液流道。本实用新型所述的恒温式雾化装置,该恒温基座的补液流道位于该控温流道及该架设面之间。本实用新型所述的恒温式雾化装置,该恒温基座的控温流道具有两个沿着该恒温基座的一个长度方向延伸的主流段,以及一个连接所述主流段的连通段。本实用新型所述的恒温式雾化装置,该控温流道的所述主流段的其中之一具有一个入液口,而所述主流段的另一个具有一个出液口,该恒温控制机构的连管单元具有一条连接在该入液口及该恒温水箱间的第一连管,以及一条连接在该出液口及该恒温水箱间的第二连管,而该泵装设 在该第一连管上。[0011]本实用新型所述的恒温式雾化装置,该恒温控制机构还包括至少一个安装在该恒温基座上并与该泵电连接的温度检知器。本实用新型所述的恒温式雾化装置,该恒温控制机构的恒温水箱具有数个与该温度检知器电连接的加热片。本实用新型所述的恒温式雾化装置,该恒温基座的控温流道具有两个沿着该恒温基座的一个长度方向延伸的主流段,以及一个连接所述主流段的连通段。本实用新型所述的恒温式雾化装置,该恒温式雾化装置还包含一个将该恒温基座包覆其中的保温罩。本实用新型的有益效果在于:利用在该恒温基座内部设置该控温流道,以及该恒温控制机构提供该控温流道恒温的流体,可以使该恒温基座保持稳定的温度,以提高镀膜沉积的品质。

图1是本实用新型恒温式雾化装置的一个第一较佳实施例的组合剖视示意图;图2是该第一较佳实施例的一个俯视参考示意图;图3是该第一较佳实施例的一个局部立体图;图4是一个类似图1的组合剖视示意图,说明本实用新型恒温式雾化装置的一个第二较佳实施例。
具体实施方式

以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明,在以下的说明内容中,类似的组件是以相同的编号来表示。参阅图1、2、3,本实用新型恒温式雾化装置的一个第一较佳实施例适合用于镀膜制程的领域中,并且将镀膜制程中用来产生电浆的前驱物加以雾化,该恒温式雾化装置包含:一个恒温基座1、数个左右间隔地安装在该恒温基座I上的雾化模组2、一个提供该恒温基座I 一个循环流体并使该恒温基座I维持在恒温状态的恒温控制机构3,以及一个保温罩5。本实施例的恒温基座I是一个长条座体,并包括两个左右间隔的侧面11、一个沿着一个长度方向10设置并连接在所述侧面11顶缘处的架设面12、一个与该架设面12上下平行的底面13、一条介于该架设面12及该底面13间并邻近该架设面12的补液流道14、一个介于该架设面12及该底面13间并邻近该底面13的控温流道15,以及数个由该架设面12往下垂直设置并与该补液流道14连通的架设通道16。该补液流道14位于该控温流道15及该架设面12之间。其中,该控温流道15具有两个沿着该长度方向10延伸设置的主流段,以及一个连接所述主流段的连通段。本实施例中,两个主流段分别是一个第一主流段151和一个第二主流段152,连通段153衔接该第一主流段151及该第二主流段152,该第一主流段151具有一个入液口 154,而该第二主流段152具有一个出液口 155,前述入液口 154及出液口 155同时位在所述侧面11的其中之一上。本实施例所述雾化模组2是分别地安装在该恒温基座I的所述架设通道16内,并分别包括一个界定出一个雾化室21的室壁22,该雾化室21具有一个与该恒温基座I的补液流道14连通的补液口 211、一个位于上方的进气口 212,以及一个往侧边分叉的出气口213。由于本实用新型的改良与所述雾化模组2的结构无关,不再详述雾化的原理以及所述雾化模组2的细部结构。本实施例的恒温控制机构3包括一个恒温水箱31、一个连接该恒温水箱31及该恒温基座I的控温流道15的连管单元32、一个安装在该连管单元32上并且将循环流体往该控温流道15的入液口 154输送的泵33,以及至少一个与该泵33电连接的温度检知器34。该连管单元32具有一条连接在该控温流道15的入液口 154及该恒温水箱31间的第一连管321,以及一条连接在该恒温水箱31及该控温流道15的出液口 155间的第二连管322,而该泵33是装设在该第一连管321上。又本实施例该恒温水箱31具有数片加热片311,所述加热片311与所述温度检知器34及该泵33电连接,目的在于控制该恒温基座I的温度,较佳地,该恒温基座I的温度可以控制在20-70°C,但前述恒温基座I的较佳温度范围与前驱物的种类有关,并不以前述举例的温度为限。而所述温度检知器34是间隔地安装在该恒温基座I上,用以检测该恒温基座I的前段、中段及后段的温度。本实施例该保温罩5包覆在该恒温基座I的外周围,使该恒温基座I具有较佳的保温效果。本实施例的恒温式雾化装置在使用时,电浆前驱物由该恒温基座I的补液流道14送入,由于该补液流道14与所述雾化模组2的雾化室21连通,因此,可以让每个雾化模组2的雾化室21内的水位等高。在此同时,所述温度检知器34会感测该恒温基座I的实际温度,并且藉由恒温控制机构3控制驱动该泵33作动,将经过加热器311加热的流体送入该恒温基座I的控温流道15,如此源源不断的提供恒温的循环流体,加上该保温罩5的保温作用,可以使该恒温基座I的温度稳定地维持在设定值,以改善雾化的品质,并因此提高镀膜沉积的品质。参阅图4,本实用新型恒温式雾化装置的第一较佳实施例在补充液态的前驱物时,是以连通所述雾化模组2的雾化室21为手段,而本实用新型雾化装置的一个第二较佳实例是一种可阻隔流道的设计,也就是说,该第二较佳实施例除了包含第一较佳实施例的所有组件外,还包含两个左右设置的流路阻断机构4,每个流路阻断机构4都包括一支安装在该恒温基座I的补液流道14内的阀杆41,以及一个驱动该阀杆41在一个补液位置及一个关闭位置间转换的动力源42,通过该阀杆41的杆径变化以及该补液流道14的内径的变化,来达到阻断所述雾化模组2的雾化室21的目的。但本实用新型在设计上,只要可以让该恒温基座I维持在设定的温度范围内,就可以达到本实用新型的创作目的,故本实用新型该恒温式雾化装置并不以具有该补液流道14,以及该流路阻断机构4为必要。由以上说明可知,本实用新型通过该恒温基座I上设置的该控温流道15,以及该恒温控制机构3的配合,确实可以让流入该恒温基座I的补液流道14的流体维持在恒温状态,由于将要被 雾化的流体的温度会影响镀膜沉积的品质,因此,本实用新型该雾化装置的设计不但结构新颖,还具有提高镀膜沉积品质的功效。
权利要求1.一种用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置,包含:一个包括一个架设面的恒温基座,以及数个安装在该恒温基座的架设面上的雾化模组;其特征在于: 该恒温基座还包括一条控温流道,而该雾化装置还包含一个提供该恒温基座的控温流道一个循环流体,并使该恒温基座维持在恒温状态的恒温控制机构。
2.根据权利要求1所述 的用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置,其特征在于:该恒温控制机构包括一个恒温水箱、一个连通该恒温水箱及该恒温基座的控温流道的连管单元,以及一个安装在该连管单元上并将恒温水箱内的流体送入该恒温基座的控温流道的栗。
3.根据权利要求2所述的用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置,其特征在于:所述每个雾化模组都包括一个雾化室,而该恒温基座还包括一个连通所述雾化模组的雾化室的补液流道。
4.根据权利要求3所述的用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置,其特征在于:该恒温基座的补液流道位于该控温流道及该架设面之间。
5.根据权利要求4所述的用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置,其特征在于:该恒温基座的控温流道具有两个沿着该恒温基座的一个长度方向延伸的主流段,以及一个连接所述主流段的连通段。
6.根据权利要求5所述的用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置,其特征在于:该控温流道的所述主流段的其中之一具有一个入液口,而所述主流段的另一个具有一个出液口,该恒温控制机构的连管单元具有一条连接在该入液口及该恒温水箱间的第一连管,以及一条连接在该出液口及该恒温水箱间的第二连管,而该泵装设在该第一连管上。
7.根据权利要求6所述的用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置,其特征在于:该恒温控制机构还包括至少一个安装在该恒温基座上并与该泵电连接的温度检知器。
8.根据权利要求7所述的用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置,其特征在于:该恒温控制机构的恒温水箱具有数个与该温度检知器电连接的加热片。
9.根据权利要求1所述的用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置,其特征在于:该恒温基座的控温流道具有两个沿着该恒温基座的一个长度方向延伸的主流段,以及一个连接所述主流段的连通段。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置,其特征在于:该恒温式雾化装置还包含一个将该恒温基座包覆其中的保温罩。
专利摘要一种用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置,包含一个恒温基座、数个安装在该恒温基座上的雾化模组,以及一个恒温控制机构。该恒温基座包括一个供所述雾化模组架设的架设面,以及一条控温流道,而该恒温控制机构提供该恒温基座的控温流道一个循环流体,使该恒温基座维持在恒温状态。利用在该恒温基座内部设置该控温流道,以及该恒温控制机构提供该控温流道恒温的流体,可以提高镀膜沉积的品质。
文档编号B05B9/03GK203140201SQ201320098809
公开日2013年8月21日 申请日期2013年3月5日 优先权日2013年3月5日
发明者黄保诚, 江明俊, 黄国政, 简谷卫, 吴清吉 申请人:北儒精密股份有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1