一种颗粒均匀分布的静电雾化方法
【专利摘要】本发明公开了一种颗粒均匀分布的静电雾化方法，包括以下步骤：a）制备含有颗粒的混合溶液；b）将步骤a）的混合溶液通过管道输运，输送至针头处；c）对步骤b）中输送至针头处的溶液控制流量形成液滴输出，并对输出的液滴施加电压，电压的大小被设置为：电压值从0逐渐增大，使得液滴在液锥尖端处发生破碎，形成若干个小液滴，并向基板方向飞行，最终沉积在基板上，制备颗粒均匀分布的基板。本发明采用静电雾化方法对含有颗粒的溶液进行分散，在接收基板上获得大规模、均匀、单层分散的颗粒分布；成本低，颗粒间距小，具有较高的推广与应用价值。
【专利说明】一种颗粒均匀分布的静电雾化方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及封装领域，尤其涉及一种颗粒均匀分布的静电雾化方法。
【背景技术】
[0002]随着各类消费电子产品轻、薄、小的发展趋势，微电子封装行业，尤其是细间距芯片组装、柔性电子行业的超薄芯片倒装等领域对封装工艺提出了更高的要求。传统的封装工艺主要包括BGA (Ball Grid Array)和FC (Flip Chip)技术，受到成本和定位精度等方面的限制，已经无法适应半导体封装工业对于封装的高密度和小极间距的要求。
[0003]目前，各向异性导电膜(Anisotropic Conductive Film, ACF)是 COG (Chip onGlass)封装领域里应用最广泛一种互联介质，它由高分子聚合物和均匀分散在其中的导电颗粒组成，导电颗粒的直径大约为3-5 μ m，通常是一种表面包裹金属材料的树脂颗粒。在COG封装过程中，ACF置于驱动芯片和玻璃基板粘结固定在一起，与此同时，部分颗粒被捕捉在相对突出的凸点和ITO电极之间，并在外力条件下受到挤压，在两者之间形成电连接。因此可见，凸点与ITO电极之间的导电颗粒数目直接决定了接触电阻。因此，ACF封装存在两个问题:第一，ACF封装是借助捕捉在芯片凸点和基板电极间的导电颗粒而实现的，高密度封装减小了凸点的截面积，使凸点和电极之间捕捉到的导电颗粒越来越少，从而造成连接电阻的增加，甚至断路。第二，完成ACA互联的芯片凸点间散布有多余的导电颗粒，高密度封装降低了凸点之间的间隙，引起的导电颗粒团聚将造成相邻凸点的短路。
[0004]封装密度是衡量电子封装技术发展的唯一标尺。目前ACF互联技术已经使间距达到了 30μπι，然而上述问题制约了 ACF技术在更小的间距下的实现。国内外诸多公司或研究组织开展了大量的研究工作。日立公司研发了一种新型的ACF，增加了导电颗粒的捕捉，但对短路的避免效果不是十分明显。LG公司开发一种新型的带有凸缘的凸点结构，可以有效增加导电颗粒捕捉的机会，但随着凸点面积的显著减小，该结构依旧无法突破ACF的瓶颈。卡西欧开发的Microconnector ACF对导电颗粒进行了特殊处理,但在实际生产中，当凸点间距缩小到10 μ m时，短路现象会急剧增加。
[0005]因此，本领域的技术人员致力于开发一种新型的ACF封装技术和ACF导电膜，旨在解决现有的ACF导电膜中导电颗粒团聚易造成短路或颗粒分布不均易造成断路的问题。
【发明内容】
[0006]有鉴于现有技术的上述缺陷，本发明所要解决的技术问题是提供一种颗粒均匀分布的静电雾化方法，采用静电雾化方法对含有颗粒的溶液进行分散，在接收基板上获得大规模、均匀、单层分散的颗粒分布。
[0007]进一步，本方法所要解决的技术问题还在于提供一种导电颗粒均匀分布的静电雾化方法，在接收基板电极上获得大规模、均匀、单层分散的导电颗粒分布。该方法可解决现有ACF导电膜的制备中，导电膜中导电颗粒团聚易造成短路或颗粒分布不均易造成断路的问题，对导电颗粒无任何影响，成本低，最终形成的颗粒分布中，颗粒间距可以非常小，突破了 ACF的间距限制，具有较高的推广与应用价值。
[0008]本发明解决上述技术问题的原理和思路是:将颗粒分散在溶剂中，利用超声波振荡等物理方法获得分散度较好的颗粒溶液，并通过管道装置输运至微量注射泵，然后在高压静电场作用下，对颗粒悬浮溶液进行静电喷雾，在接收基板电极上获得大规模、均匀、单层分散的颗粒。所述颗粒可以为导电颗粒，也可以为不导电颗粒。
[0009]为实现上述目的，本发明提供了一种颗粒均匀分布的静电雾化方法，包括以下步骤:
[0010]a)制备含有颗粒的混合溶液；
[0011]b)将步骤a)的混合溶液通过管道输运，输送至针头处；
[0012]c)对步骤b)中输送至针头处的溶液控制流量形成液滴输出，并对输出的液滴施加电压，电压的大小被设置为:电压值从O逐渐增大，使得液滴在液锥尖端处发生破碎，形成若干个小液滴，并向基板方向飞行，最终沉积在基板上，制备颗粒均匀分布的基板材料。
[0013]其中，液滴在外加静电场和重力场等外力的作用下，液滴被拉伸变形，其形状由圆形逐渐转变为纺锤模式和稳态锥模式，液锥尖端即为形成稳态锥模式的液滴的尖端处。
[0014]进一步地，在步骤a)中，将颗粒进行称重，并溶于溶剂中，形成一定质量分数的混合溶液，采用超声分散装置对混合溶液进行超声波分散，使得混合溶液中的颗粒和溶剂形成悬浮液；
[0015]其中，溶剂为蒸馏水、乙醇、乙二醇、丙酮、异丙醇或甲醇中的一种，或者溶剂为乙醇与蒸馏水混合液体、乙二醇与蒸馏水混合液体、丙酮与蒸馏水混合液体、异丙醇与蒸馏水混合液体、或甲醇与蒸馏水混合液体中的一种。
[0016]进一步地，颗粒为导电颗粒或不导电颗粒；颗粒的直径小于50 μ m;不导电颗粒为树脂颗粒；树脂颗粒由聚乙烯、聚丙烯、丙烯酸类树脂，聚苯乙烯，聚氯乙烯，聚乙酸乙烯酯，ABS树脂，AS树脂，三聚氢胺，聚酰胺，聚碳酸酯，聚缩醛，改性的聚苯醚和芳香族聚醚酮中的至少一个组成。
[0017]进一步地，在步骤b)中，还包括，对输运过程中的混合溶液进行磁力搅拌，使得混合溶液在输运过程保持颗粒的分散。
[0018]进一步地，在步骤c)中，液滴输出的流量小于10ml/h，针头的针孔的内径小于2mm ο
[0019]进一步地，在步骤c )中，基板为不锈钢、硅片或芯片。
[0020]进一步地，在步骤c)中，当小液滴向基板飞行时，小液滴受到热辐射作用，热辐射的方式被设置为:基板加热或环境热辐射，使得小液滴中的溶剂被蒸发或挥发。
[0021]进一步地，针头与基板之间的极间距小于50mm;电压的实现方式被设置为:电压的一端与针头相连接，电压的另一端与基板连接或基板下方的平台连接，形成静电场；电压的大小为0.5kv?30kv。
[0022]可选地，电压的实现方式还可以被设置为:将实现静电雾化方法的静电雾化装置置于非接触的静电场中；静电场可釆用环状、电极丝等不同类型、不同尺寸的电极；电压的大小为0.5kv?30kv。
[0023]优选地，极间距为Imm?20mm，电压值为Ikv?10kv，混合溶液的质量分数为
0.005%?5%，针孔的直径小于1mm。[0024]进一步地，针头的数目至少为一个；针头的材质可以为不锈钢、玻璃。
[0025]在本发明的较佳实施方式中，一种导电颗粒均匀分布的静电雾化方法，依次包括如下步骤:
[0026]步骤一、将导电颗粒进行称量，按照一定的质量分数投入溶剂中，在超声波震荡仪中震荡数分钟至几个小时不等，获得颗粒与溶剂的悬浮液。
[0027]步骤二、将分散的混合溶液用输运泵和输运管道输送到针头处，在管道输运的过程中，利用磁力搅拌装置继续震荡分散溶液，保持颗粒在溶剂中分散的状态。针头的外径在2mm以下，内径在Imm以下，流量在2ml/h以下。针头直径小，则流量小，使得针头处的溶液保持较小的准静态的流速，以保证液滴的充分破碎。
[0028]步骤三、设置针头与基板之间的极间距和外加电压的大小。针头与基板之间的极间距在30mm以下，随外加电压的大小而变化。静电场的电压值根据不同的混合溶液，不同的针头直径以及不同的极间距离而变化。当液体粘性较大时，表面张力较高，破碎液滴所需的电压值较大；当液体粘性较小时，表面张力较低，破碎液滴所需的电压值小。当选取针头的直径较小时，所需电压值较小；当选取针头的直径较大时，所需电压值较大。当极间距越小，则所需电压值越小。一般电压值小于30kv，在极间距不变的情况下，调节电压值，使得液滴的静电雾化处于稳态状况。
[0029]步骤四、设置雾化时间的长短，进而调节颗粒在基板上分布的密度的大小。时间较长时，颗粒分布的密度较大；时间较短时，颗粒分布的密度较小；即制得导电颗粒均匀分布的基板。
[0030]由此可见，本发明的颗粒均匀分布的静电雾化分布方法，可实现半导体封装中导电颗粒的均匀分布，该方法将含有导电颗粒的溶液通过输运管道和输运泵输送至针头处，在高压静电场作用下，液滴受到表面张力，粘性力，重力，电场力等多种力的共同作用。当电压上升到一定大小时，电场力强到可以打破平衡，拉伸溶液，并使得液滴在尖端处发生破碎形成包裹有颗粒的小液滴。小液滴朝着基板飞行，溶剂蒸发或挥发最终留下颗粒在基板上形成颗粒均匀分散分布。本发明对导电颗粒无任何影响，且成本低，最终形成的颗粒分布中，颗粒间距可以非常小，突破了 ACF的间距限制，具有较高的推广与应用价值。
[0031]此外，本发明的电压从较小的值逐步上升到某个值时，针头的针孔处的溶液处于高压静电场作用下，其状态从较低电压时的滴落模式，逐渐变化为纺锤模式，再过渡到稳态锥模式。稳态锥模式相较于前面的模式，其雾化的形态更稳定，基板上形成的雾化颗粒分布斑更规则，更适于定量可控颗粒分布。
[0032]另外，本发明的液滴向基板飞行的过程中，可使用底板加热，或环境热辐射等方式，为雾化环境加热升温，加快溶剂的挥发和蒸发，便于颗粒更好的留在基板上，使得颗粒不会在基板上受到溶液的影响而发生位置变化。
[0033]以下将结合附图对本发明的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本发明的目的、特征和效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0034]图1是本发明的一个较佳实施例的含有颗粒的混合溶液的物理分散输运系统示意图；[0035]图2是图1所示的较佳实施例的静电雾化颗粒分布系统示意图。
【具体实施方式】
[0036]如图1所示，为本发明的一个较佳实施例的混合溶液的物理分散输运系统示意图。其中，物理分散输运系统包括混合溶液存储仓1、超声分散装置2、输运管道3、磁力搅拌装置4、输运泵5和软管6。
[0037]混合溶液存储仓I置于超声分散装置2内，超声分散装置2对混合溶液存储仓I内的混合溶液进行超声分散，使得混合溶液中的颗粒和溶剂形成悬浮液。可选地，超声分散装置2为超声波震荡仪。
[0038]混合溶液存储仓I通过输运管道3与输运泵5连接，该输运泵5提供动力用于混合溶液在输运管道3内的输送，并控制混合溶液在输运管道3中的流速和流量。可选地，输运泵5为微量注射泵或蠕动泵。
[0039]输运管道3的外部设有磁力搅拌装置4，混合溶液在输运管道3的输送过程中，利用磁力搅拌装置4继续震荡分散溶液，保持颗粒在溶剂中分散的状态。输运泵5的前端与软管6连接。
[0040]如图2所示,是图1所示的实施例的静电雾化颗粒分布系统示意图。该系统包括高压电源装置7、微量注射泵8、基板9、接地端10和运动控制平台11。高压电源装置7的一端与微量注射泵8的针头相连接，另一端与基板9连接，基板9与接地端10连接，使得针头和基板9之间形成高压静电场。运动控制平台11与基板9的底部连接，用于控制制备过程中基板9的移动，保证静电雾化工序的持续推进。
[0041]在本实施例的使用过程中，图1中的软管6的一端与输运泵5连接，另一端与图2中的微量注射泵8连接，将含有导电颗粒的溶液通过输运管道3和输运泵5输送至微量注射泵8的针头处形成液滴向下滴落。在高压静电场作用下，液滴受到表面张力，粘性力，重力，电场力等多种力的共同作用。当电压上升到一定大小时，电场力强到可以打破平衡，拉伸溶液，并使得液滴在尖端处发生破碎形成包裹有颗粒的小液滴。小液滴朝着基板9方向飞行，溶剂蒸发或挥发最终留下颗粒在基板上形成颗粒均匀分散分布。
[0042]本发明提供的颗粒均匀分布的静电雾化方法中，通过控制微量注射泵8的针头的直径，溶液的性质，以及极间距，基板9的选择等等，皆直接影响最终雾化和颗粒分散的效果，以下结合具体的实施例，对本发明做进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定发明。
[0043]实施例1
[0044]一种颗粒均匀分布的静电雾化方法，包括以下步骤:
[0045]1、选用乙醇作为溶剂，颗粒0.03g，溶剂30g，颗粒与溶剂混溶形成溶液。使用超声波震荡仪进行超声波振动30min，形成分散较好的悬浊液。
[0046]2、微量注射泵的流量设定为lml/h，将溶液抽出并推送到针头处。
[0047]3、针头的外径为0.35mm,内径为0.18mm,极间距为20mm。选用的基板为直径3.5英寸的硅片。
[0048]4、将电压的正极接在针头上，基板接地。调节电压从O开始缓慢上升至5.6kv，形成稳定雾化模式。在形成稳定的雾化模式之前，利用挡板将之前模式下形成的不稳定，大小不一的液滴档掉，在稳定模式开始之后，撤掉挡板。在此模式下雾化2min的时间。
[0049]5、基板加热，通过热辐射和热对流促进乙醇的快速挥发，使得在基板上没有大液滴影响颗粒的位置。
[0050]本实施例中，最终在基板上获得密度为4500个/mm2左右的颗粒分布效果。颗粒之间的平均间距小于30 μ m，约为15?20 μ m左右。
[0051]实施例2
[0052]一种颗粒均匀分布的静电雾化方法，包括以下步骤:
[0053]1、选用异丙醇作为溶剂，颗粒0.05g，溶剂30g，颗粒和溶剂混溶形成溶液。超声振动30min,形成分散较好的悬池液。
[0054]2、微量注射泵的流量设定为0.5ml/h，将溶液抽出并推送到针头处。
[0055]3、针头的外径为0.35mm,内径为0.18mm,极间距为20mm。选用的基板为直径3.5英寸的硅片。
[0056]4、将电压的正极接在针头上，基板接地。调节电压从O开始缓慢上升至6.28kv，形成稳定雾化模式。在形成稳定的雾化模式之前，利用挡板将之前模式下形成的不稳定，大小不一的液滴档掉，在稳定模式开始之后，撤掉挡板。在此模式下雾化1.5min的时间。
[0057]5、基板加热，通过热辐射和热对流促进乙醇的快速挥发，使得在基板上没有大液滴影响颗粒的位置。
[0058]本实施例中，最终在基板上获得密度为3140个/mm2左右的颗粒分布效果。颗粒之间的平均间距小于30 μ m，约为15?20 μ m左右。
[0059]发明人还针对实施例的工艺和结果进行分析，对本发明的工作原理和流程展开进一步说明:
[0060]对于粘性较大的溶液，超声分散的时候也更长，同时流量的设定也较小，这样可以便于让电场力有足够的时间对溶液进行拉伸变形，最终使其破碎形成小液滴。此外，电导率对雾化效果也有影响。电导率较大的溶液，电荷迁移率高，产生的电场强度大，因此更易发生破碎和颈缩变形现象，稳态雾化所需的电压值也较低。
[0061]对于粘性较大的液体，因其粘性大,表面张力较大,在发生雾化过程中，相较于低粘度的液体，规律性更好，重复拉伸过程中形成的小液滴的直径和行为更具有可重复性。此夕卜，雾化时间是对雾化颗粒的密度产生直接影响的重要元素，但雾化时间不可过长，过长则容易导致颗粒在溶液中的沉降和团聚。当时间较短时，电压较大，则液滴破碎过程更加彻底，则颗粒团聚或聚集的情况变得严重。在允许的时间范围内，时间越长，则颗粒分布的密度越大，颗粒之间的间距越小。
[0062]在制备过程中，发明人还发现，电压从较小的值上升到某个值时，针头孔口处的溶液处于高压静电场作用下，其状态从较低电压时的滴落模式，逐渐变化为纺锤模式，再过渡到稳态锥模式。稳态锥模式相较于前面的模式，其雾化的形态更稳定，基板上形成的雾化颗粒分布斑更规则，更适于定量可控颗粒分布。
[0063]针头直径较小时，位于孔口的溶液的直径相应较小，此时的溶液受到表面张力、电场力和重力的作用，针头直径一般小于2mm，优选直径在Imm以下。电场力起主导作用，当外加电压上升到一定值时，电场力足够大以至于可以克服表面张力对液滴的束缚，液滴被拉伸变形，在尖端处破碎生成很多直径更小的液滴，这些液滴里包裹着导电颗粒，并朝着基板的方向飞去。在飞行的过程中，液滴中的溶剂挥发或蒸发，将颗粒留在基板上形成颗粒分布。
[0064]针头与基板之间的距离可调，且当极间距变大时，溶液破碎形成小液滴所需的电场强度或电压值也相应变大。极间距一般不大于50mm，优选极间距在30mm以内，一般在I?20mm左右。与之对应的，使得静电雾化处于稳态状况下的电压值一般低于30kv，随极间距减小而减小，当极间距在I?20mm时,其稳态所需电压值在Ikv?IOkv作用。
[0065]基板上的颗粒分布，其密度与雾化的时间以及颗粒的质量分数成正相关关系。因颗粒质量分数较大时，颗粒的团聚情况较为严重，因此优选溶液颗粒的质量分数为
0.005%?5%。时间越长，颗粒密度越大，但时间过长，易造成颗粒分布堆积，进而导致严重团聚。其颗粒分布密度在30000个/mm2以下，一般在10000个/mm2以下，其颗粒之间的极间距可达到小于10 μ m的程度。
[0066]另外，可被本领域普通技术人员理解的是，本实施例中的颗粒可以为导电颗粒，也可以为不导电颗粒。优选颗粒的直径小于50 μ m。其中，不导电颗粒为树脂颗粒；树脂颗粒由聚乙烯、聚丙烯、丙烯酸类树脂，聚苯乙烯，聚氯乙烯，聚乙酸乙烯酯，ABS树脂，AS树脂，三聚氢胺，聚酰胺，聚碳酸酯，聚缩醛，改性的聚苯醚和芳香族聚醚酮中的至少一个组成。
[0067]当本实施例中的颗粒选用导电颗粒时，可用于制备导电颗粒均匀分布的ACF导电膜和ACA导电胶，克服现有技术中导电颗粒团聚易造成短路或颗粒分布不均易造成断路的问题，获得大规模、均匀、单层分散的导电颗粒，且最终获得的颗粒分布密度及颗粒间距均优于ACF方法的间距。本实施例的方法成本低，工艺简单，对颗粒无影响，具有较强的推广价值。
[0068]在其他实施例中，溶剂可为蒸馏水、乙醇、乙二醇、丙酮、异丙醇或甲醇中的一种，所述溶剂还可以为乙醇与蒸馏水混合液体、乙二醇与蒸馏水混合液体、丙酮与蒸馏水混合液体、异丙醇与蒸馏水混合液体、或甲醇与蒸馏水混合液体中的一种。可根据导电颗粒的比重，选择不同的溶剂对颗粒进行分散。
[0069]在其他实施例中，基板的材质可以为导电材料，也可以为不导电材料，以及适合导电或不导电颗粒附着的其他材料，在此不作限定。优选地，基板的材质为不锈钢，硅片，芯片
坐寸ο
[0070]在其他实施例中，形成针头和基板间的高压静电场可以有多种形式，其目的在于形成一个针头到基板之间的正向电场。例如当针头接高压电源装置的正极时，基板接地，形成静电场；亦或为针头接地，基板接负高压，形成静电场。当然，类似电压施加方式不限于此。可被理解的是，使得针头或类似装置与基板之间形成正向电场的，皆应在本发明的保护范围内。
[0071]在其他实施例，在液滴向基板飞行的过程中，可使用底板加热，或环境热辐射等方式，为雾化环境加热升温，加快溶剂挥发和蒸发，以便于颗粒更好的留在基板上，使得颗粒不会在基板上受到溶液的影响而发生位置变化。
[0072]在其他实施例中，所述针头的材质可以为不锈钢、玻璃或其他便于溶液输运和输出的材质。针头的数目不限于I个，可以为2个或多个，构成针头阵列或针头组，可同时进行多处混合液滴的静电雾化处理，提高颗粒在基板上的沉积效率。
[0073]以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本发明的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本【技术领域】中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。
【权利要求】
1.一种颗粒均匀分布的静电雾化方法，其特征在于，包括以下步骤: a)制备含有颗粒的混合溶液； b)将步骤a)的所述混合溶液通过管道输运，输送至针头处； c)对步骤b)中输送至针头处的溶液控制流量形成液滴输出，并对输出的液滴施加电压，所述电压的大小被设置为:电压值从O逐渐增大，使得液滴在液锥尖端处发生破碎，形成若干个小液滴，并向基板方向飞行，最终沉积在所述基板上，制备颗粒均匀分布的基板材料。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤a)中，将颗粒溶于溶剂中，形成质量分数为0.005%?5%的混合溶液，采用超声分散装置对所述混合溶液进行超声波分散，使得所述混合溶液中的颗粒和溶剂形成悬浮液。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述溶剂为蒸馏水、乙醇、乙二醇、丙酮、异丙醇或甲醇中的一种，或者所述溶剂为乙醇与蒸馏水混合液体、乙二醇与蒸馏水混合液体、丙酮与蒸馏水混合液体、异丙醇与蒸馏水混合液体、或甲醇与蒸馏水混合液体中的一种。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述颗粒为导电颗粒或不导电颗粒；所述颗粒的直径小于50μπι;所述不导电颗粒为树脂颗粒；所述树脂颗粒由聚乙烯、聚丙烯、丙烯酸类树脂，聚苯乙烯，聚氯乙烯，聚乙酸乙烯酯，ABS树脂，AS树脂，三聚氢胺，聚酰胺，聚碳酸酯，聚缩醛，改性的聚苯醚和芳香族聚醚酮中的至少一个组成。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤b)中，还包括，对输运过程中的混合溶液进行磁力搅拌，使得所述混合溶液在输运过程保持颗粒的分散。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤c)中，所述液滴输出的流量小于10ml/h,所述针头的针孔的内径小于2mm。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤c)中，所述基板为不锈钢、硅片或芯片。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤c)中，当所述小液滴向所述基板飞行时，所述小液滴受到热辐射作用，所述热辐射的方式被设置为:基板加热或环境热辐射，使得所述小液滴中的溶剂被蒸发或挥发。
9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述针头与所述基板之间的极间距小于50mm;所述电压的实现方式被设置为:所述电压的一端与所述针头相连接，所述电压的另一端与所述基板连接或所述基板下方的平台连接，形成静电场；所述电压的大小为0.5kv ?30kvo
10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电压的实现方式被设置为:将实现所述静电雾化方法的静电雾化装置置于非接触的静电场中；所述电压的大小为0.5kv?30kvo
【文档编号】B05B5/16GK103752440SQ201410010322
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2014年1月9日 优先权日:2014年1月9日
【发明者】袁鑫, 熊振华, 盛鑫军, 贾磊, 巴政宇 申请人:上海交通大学