一种化学抛光组合物的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：过磷酸钙11-16份，硫酸钾9-16份，硝酸钙3-5份，乙二醇丁醚19-26份，偶联剂,15-23份，二甲基苯胺11-15份，表面活性剂6-15份，甲基三乙氧基硅烷2-3份，调节剂6-8份，碳酸钙3-6份，苯甲酸甲酯15-23份，三乙醇胺1-3份，三乙胺10-19份，酒石酸5-10份，纳米银0.5份。本发明的有益效果是：制备简单，抛光效果明显，性能稳定。
【专利说明】一种化学抛光组合物
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种化学抛光组合物。
【背景技术】
[0002]对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势(因为计算机设备中需要更小磁盘驱动器)持续不断，强调内存或硬盘片制造方法的重要性，包括这类盘片的平坦化或抛光，以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光(CMP)组合物及方法，但是几乎没有常规的CMP方法或商购的CMP组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种化学抛光组合物。
[0004]为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是:
一种化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:过磷酸钙11-16份，硫酸钾9-16份，硝酸钙3-5份，乙二醇丁醚19-26份，偶联剂，15-23份，二甲基苯胺11-15份，表面活性剂6-15份，甲基三乙氧基硅烷2-3份，调节剂6-8份，碳酸钙3-6份，苯甲酸甲酯15-23份,二乙醇胺1-3份，，二乙胺10-19份,酒石酸5-10份,纳米银0.5份。
[0005]本发明的有益效果是:制备简单，抛光效果明显，性能稳定。
【具体实施方式】
[0006]实施例1
一种化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:过磷酸钙11-16份，硫酸钾9-16份，硝酸钙3-5份，乙二醇丁醚19-26份，偶联剂，15-23份，二甲基苯胺11-15份，表面活性剂6-15份，甲基三乙氧基硅烷2-3份，调节剂6-8份，碳酸钙3-6份，苯甲酸甲酯
15-23份,二乙醇胺1-3份，，二乙胺10-19份,酒石酸5-10份,纳米银0.5份。
【权利要求】
1.一种化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:过磷酸钙11-16份，硫酸钾9-16份，硝酸钙3-5份，乙二醇丁醚19-26份，偶联剂，15-23份，二甲基苯胺11-15份，表面活性剂6-15份，甲基三乙氧基硅烷2-3份，调节剂6-8份，碳酸钙3-6份，苯甲酸甲酯15-23份,二乙醇胺1-3份，,二乙胺10-19份，酒石酸5-10份，纳米银0.5份。
【文档编号】C09G1/02GK104059545SQ201410296827
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年6月28日 优先权日:2014年6月28日
【发明者】范向奎 申请人:青岛宝泰新能源科技有限公司