专利名称：充氮系统的制作方法
技术领域：
本实用新型有关一种充氮系统，具体说有关一种对一晶片盒的载具的内部充氮以提高一运输用晶片盒在运送过程中的晶片品质稳定性的充氮系统。
(2)背景技术一般12时的前开式晶片盒，大致上可分为室内制程使用的前开式统一制晶片盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)，以及可供室外搬运的运输用晶片盒(Front Opening Shipping Box，FOSB)两种，而该运输用晶片盒通常先被置入一载具(如一手推车)上，接着再将该载具放在货车内，然后再由甲地运送地乙地，但该载具通常均为直接放入货车内，并未达到「全程保鲜」的功夫，以致于晶片盒均直接暴露于一般的空气内，这样则容易造成晶片盒内的晶片产生质变，甚至于有可能严重到无法使用而必须予以全部废弃的程度，故此类的晶片盒的货车运送方式实在是非常的不理想。
(3)实用新型内容因此，为了提高货车内运送晶片盒的稳定性，以克服该晶片盒在运送过程中的品质不稳定的现象，本实用新型的目的是提供一种，可除了有效解决先前晶片盒在运送过程的直接置放于空气中的缺点外，还能使得晶片盒的货车运送的过程可以更为稳定而可靠的充氮系统。
根据本实用新型一方面的一种充氮系统，用以对一晶片盒的载具的内部充氮，其包括一载具本体，其用以承载至少一晶片盒；一闭合盖件，是装设于该载具本体上，而于该闭合盖件与该晶片盒之间形成一闭合空间；以及一充氮装置，其装设于一运送车辆上，用以填充氮气于该闭合空间，以利于提高该晶片盒在该载具本体内的稳定性。
较佳者，该系统的充氮装置具有一抽拉式氮气柜，用以方便更换该充氮装置的一氮气瓶，且该氮气瓶装设有一压力感测器，以随时补足该载具本体内的一安全氮气含量。
较佳者，该系统的晶片盒是为一运输用的晶片盒(FOSB)，且该充氮装置是具有一输送软管，用以从该氮气瓶输送该氮气至该闭合空间。
当然，该系统的晶片盒的载具为一手推车，该充氮装置的该输送软管是可以连接至一车内接头及一推车上接头，以连接一车内管路及该手推车。
当然，该系统的载具本体的该闭合空间为一气密空间，且该推车上接头可以装设有一止逆进气口，以防止该充氮装置于该气密空间的逆行。
较佳者，该系统的载具本体贴设有一泡棉边条，以加强该晶片盒的载具的气密功能，且该运送车辆为一货车。
根据本实用新型另一方面的一种充氮系统，用以对一载具的内部充氮，其包括一载具本体；一闭合件，是装设于该载具本体上，而于该载具本体内形成一闭合空间；以及一充氮装置，是用以填充一氮气于该闭合空间，以利于提高该载具本体内的一物件的稳定性。
较佳者，该系统的载具本体用以承载至少一晶片盒，而该闭合件是为一闭合盖件，该闭合空间形成于该闭合盖件与该晶片盒之间，且该充氮装置装设于一运送车辆上，该物件即为该晶片盒。
当然，该系统的充氮装置是可以具有一抽拉式氮气柜，用以方便更换该充氮装置的一氮气瓶，且该氮气瓶装设有一压力感测器，以随时补足该载具本体内的一安全氮气含量。
当然，该系统的晶片盒是可以为一运输用的晶片盒(FOSB)，且该充氮装置具有一输送软管，用以从该氮气瓶输送该氮气至该闭合空间。
较佳者，该系统的晶片盒的载具为一手推车，该充氮装置的该输送软管是连接至一车内接头及一推车上接头，以连接一车内管路及该手推车。
较佳者，该系统的载具本体的该闭合空间为一气密空间，且该推车上接头是装设有一止逆进气口，以防止该充氮装置于该气密空间的逆行。
当然，该系统的载具本体是可以贴设有一泡棉边条，以加强该晶片盒的载具的气密功能，且该运送车辆为一货车。
根据本实用新型又一方面的一种充氮系统，其包括一载具本体，其用以承载至少一晶片盒；一闭合盖件，是装设于该载具本体上，而于该闭合盖件与该晶片盒之间形成一闭合空间；以及一充氮装置，其装设于一运送车辆上，是用以填充一氮气于该闭合空间，以利于提高该晶片盒在该载具本体内的一稳定性。
当然，该系统是用以对一晶片盒的载具的内部充氮。
较佳者，该系统的充氮装置是具有一抽拉式氮气柜，用以方便更换该充氮装置的一氮气瓶，且该氮气瓶装设有一压力感测器，以随时补足该载具本体内的一安全氮气含量。
较佳者，该系统的晶片盒是为一运输用的晶片盒(FOSB)，且该充氮装置是具有一输送软管，用以从该氮气瓶输送该氮气至该闭合空间。
当然，该系统的晶片盒的载具为一手推车，该充氮装置的该输送软管可以连接至一车内接头及一推车上接头，以连接一车内管路及该手推车。
当然，该系统的载具本体的该闭合空间为一气密空间，且该推车上接头可以装设有一止逆进气口，以防止该充氮装置于该气密空间的逆行。
较佳者，该系统的载具本体贴设有一泡棉边条，以加强该晶片盒的载具的气密功能，且该运送车辆为一货车。
本实用新型经由上述构想的解说，即能观察到所运用的充氮系统，确实能利用一充氮装置装设于运送车辆上，即可以填充氮气于该晶片盒的载具的闭合空间，并具有使用一闭合盖件与该晶片盒之间形成该闭合空间的特色。
为了易于说明，本实用新型得藉由下述的较佳实施例及附图而得到一更加了解。
(4)
图1是本实用新型的充氮系统的晶片盒的载具在一车厢空间内的较佳实施例的立体示意图；图2是贴上本实用新型的充氮系统的泡棉边条的位置示意图；图3是本实用新型的充氮系统的抽拉式氮气柜的实施例的立体示意图；图4是图1中的晶片盒的载具的止逆进气口的立体示意图；以及
图5是图3的氮气瓶装设有一压力感测器的立体示意图。
(5)具体实施方式
请参阅图1至图3，显示出一种充氮系统10，是用以对一晶片盒的载具11的内部充氮，其包括一载具本体12，其用以承载至少一晶片盒20；一闭合盖件21，是装设于载具本体12上，而于闭合盖件21与晶片盒20之间形成一闭合空间22；以及一充氮装置30，其装设于一运送车辆31上，用以填充一氮气于闭合空间22，以利于提高晶片盒20在载具本体12内的稳定性。
系统10的充氮装置30具有一抽拉式氮气柜32，用以方便更换充氮装置30的一氮气瓶33，且氮气瓶32装设有一压力感测器50(详见图5)，以随时补足在一车厢空间16内的载具本体12内的一安全氮气含量。晶片盒20是为一运输用的晶片盒(FOSB)，且充氮装置30是具有一输送软管13，用以从氮气瓶32输送该氮气至闭合空间22(详见图2)。晶片盒的载具11为一手推车，充氮装置30的输送软管13可以连接至一车内接头14及一推车上接头15，以连接一车内管路(图中未示出)及该手推车(载具11)。载具本体12的闭合空间22为一气密空间，且推车上接头15可以装设有一止逆进气口40(详见图4)，以防止充氮装置30于该气密空间的逆行。又如图2所示，载具本体12贴设有一泡棉边条23，以加强晶片盒的载具11的气密功能，且运送车辆30为一货车。
如按照另一种可实施的观点来看，本实用新型即一种充氮系统10，是用以对一载具(如晶片盒的载具11)的内部充氮，其包括一载具本体12，一闭合件(如闭合盖件21)，是装设于载具本体12上，而于载具本体12内形成一闭合空间22，以及一充氮装置30，是用以填充一氮气于闭合空间22，以利于提高载具本体12内的一物件(如晶片盒20)的稳定性。当然，此时的系统10的载具本体12可用以承载至少一晶片盒20，而该闭合件是为一闭合盖件21，闭合空间22形成于闭合盖件21与晶片盒20之间，且充氮装置30装设于一运送车辆31上，该物件即为晶片盒20。至于本实施例中的载具本体12的不一定用于承载晶片盒20的其他细节部分，是如前段所述，故于此不再赘述。
若是从另外一个角度来看，本实用新型的一种充氮系统10，其包括一载具本体12，其用以承载至少一晶片盒20；一闭合盖件21，是装设于载具本体12上，而于闭合盖件21与晶片盒20之间形成一闭合空间22；以及一充氮装置30，其装设于一运送车辆31上，用以填充一氮气于闭合空间22，以利于提高晶片盒20在载具本体12内的一稳定性。当然，此时的系统10是可用以对一晶片盒的载具11的内部充氮。至于本实施例中的系统10的不一定用于一晶片盒的载具11的其他细节部分，是如前段所述，故在此亦无庸赘述。
综上所述，本实用新型确实能以一创新的方式，藉由利用充氮装置的装设于运送车辆上，即可以填充氮气于该晶片盒的载具的闭合空间，并且所运用的闭合盖件装设于该载具本体上，能有效的在该闭合盖件与晶片盒之间形成该闭合空间，而极适合工业上的生产。
权利要求1.一种充氮系统，用以对一晶片盒的载具的内部充氮，其包括一载具本体，其用以承载至少一晶片盒；一闭合盖件，装设于该载具本体上，而于该闭合盖件与该晶片盒之间形成一闭合空间；以及一充氮装置，其装设于一运送车辆上，用以填充一氮气于该闭合空间，以利于提高该晶片盒在该载具本体内的稳定性。
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于该充氮装置具有一抽拉式氮气柜，用以方便更换该充氮装置的一氮气瓶，且该氮气瓶装设有一压力感测器，以随时补足该载具本体内的一安全氮气含量。
3.如权利要求2所述的系统，其特征在于该晶片盒是为一运输用的晶片盒，且该充氮装置具有一输送软管，用以从该氮气瓶输送该氮气至该闭合空间；该晶片盒的载具为一手推车，该充氮装置的该输送软管是连接至一车内接头及一推车上接头，以连接一车内管路及该手推车；及/或该载具本体的该闭合空间为一气密空间，且该推车上接头装设有一止逆进气口，以防止该充氮装置于该气密空间的逆行。
4.如权利要求1所述的系统，其特征在于该载具本体贴设有一泡棉边条，以加强该晶片盒的载具的一气密功能，且该运送车辆为一货车。
5.一种充氮系统，用以对一载具的内部充氮，其包括一载具本体；一闭合件，装设于该载具本体上，而于该载具本体内形成一闭合空间；以及一充氮装置，用以填充一氮气于该闭合空间，以利于提高该载具本体内的一物件的稳定性。
6.如权利要求5所述的系统，其特征在于该载具本体用以承载至少一晶片盒，而该闭合件是为一闭合盖件，该闭合空间形成于该闭合盖件与该晶片盒之间，且该充氮装置装设于一运送车辆上，该物件即为该晶片盒。
7.一种充氮系统，其包括一载具本体，其用以承载至少一晶片盒；一闭合盖件，是装设于该载具本体上，而于该闭合盖件与该晶片盒之间形成一闭合空间；以及一充氮装置，其装设于一运送车辆上，用以填充一氮气于该闭合空间，以利于提高该晶片盒在该载具本体内的稳定性。
8.如权利要求7所述的系统，其特征在于该系统是用以对一晶片盒的载具的内部充氮。
9.如权利要求7所述的系统，其特征在于该充氮装置具有一抽拉式氮气柜，用以方便更换该充氮装置的一氮气瓶，且该氮气瓶装设有一压力感测器，以随时补足该载具本体内的一安全氮气含量。
10.如权利要求7所述的系统，其特征在于该载具本体是被贴上一泡棉边条，以加强该晶片盒的载具的气密功能，且该运送车辆为一货车。
专利摘要本实用新型为一种充氮系统，用以对一晶片盒的载具的内部充氮，其包括一载具本体，其用以承载至少一晶片盒；一闭合盖件，装设于该载具本体上，而于该闭合盖件与该晶片盒之间形成一闭合空间以及一充氮装置，其装设于一运送车辆上，用以填充一氮气于该闭合空间，以利于提高该晶片盒在该载具本体内的稳定性。
文档编号B65D81/20GK2644349SQ03252658
公开日2004年9月29日 申请日期2003年9月15日 优先权日2003年9月15日
发明者张志康 申请人:宝晶科技股份有限公司