专利名称：卡匣缓冲结构的制作方法
技术领域：
本实用新型有关于一种卡匣缓冲结构，特别是指一种用来放置晶圆或玻璃基板 的卡匣，该卡匣缓冲结构可以防止晶圆或玻璃基板因震动或冲击所造成的破裂或缺损的装置。
背景技术：
目前，晶圆或玻璃基板制成之后，基于后续工艺及搬运上的需要，会将工艺后 的单片晶圆或玻璃基板，以机械手臂或人力夹取并放置于一具有容置空间的卡匣内(如 图1所示)，以利于暂时存放及工艺中搬运，供后续工艺使用。如图1所示现有技术中的卡匣60构造包含一第一板体601、一第二板体602、 多根立柱603及至少一钢棒604，其中该至少一钢棒604装设于该卡匣60的底部以支撑晶 圆或玻璃基板，且表面以硅胶包覆；但是，因工艺上改变晶圆越做越薄，且晶圆材质轻 且易碎当机械手臂或人力放置于卡匣60时，常因放置晶圆时与卡匣60底部的该至少一钢 棒604碰撞，而该至少一钢棒604虽表面包覆硅胶，但因钢棒604钢性过高缺乏弹性，导 致晶圆产生破裂或缺损，甚至造成高价值晶圆无法使用，且玻璃基板亦有相同的隐忧。有鉴于此，本设计人乃潜心研思、设计组制，期能提供一种构造精简、有效抑 震且方便实施的卡匣缓冲结构，以克服该现有技术卡匣底部缺乏弹性的问题，为本实用 新型所欲研创的创作动机。
实用新型内容本实用新型的主要目的，在于提供一种卡匣缓冲结构，通过一架体以及至少一 挠性构件的组合，以使该卡匣缓冲结构具有构造精简、组装容易、有效抑震且方便实 施，显见本实用新型的实用性、进步性和便利性。为达上述目的，本实用新型的卡匣缓冲结构包括一架体及至少一挠性构件。 该架体设有承载部，该架体内形成一容置空间，且该架体上端形成一开口；以及该至少 一挠性构件设于该架体底部。本实用新型提供的这种卡匣缓冲结构，具有以下有益效果该卡匣缓冲结构是具有构造精简、组装容易、有效抑震且方便实施的卡匣缓冲 结构，确能有效抑制因放置及搬运晶圆或玻璃基板过程所产生的冲击或震动，进而降低 晶圆或玻璃基板破裂或缺损，确具有实用性、进步性和便利性。为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关 本实用新型的详细说明与附图，但是所附图式仅提供参考与说明用，非用以限制本实用 新型。
图1为现有技术卡匣的立体图。[0011]图2为本实用新型实施例的立体图。图3为本实用新型实施例的立体分解图。图4为本实用新型实施例的剖视图。图5为本实用新型的使用状态示意图。图6为本实用新型另一实施例的使用状态及局部剖视示意图。主要元件符号说明10、架体；101、第一板体；102、第二板体；103、立柱104、容置空间;20、挠性构件；201、钢索；202、减震材质;30、承载部；301、片体；40、调整件；401、螺件；402、螺帽;50、晶圆；60、卡匣；601、第一板体；602、第二板体；603、立柱；604、钢棒。
具体实施方式
请参阅图2及图3所示，为本实用新型实施例的立体图及立体分解图。该卡匣 缓冲结构包括一架体10以及至少一挠性构件20。请参阅图2 图4所示，该架体10设有承载部30，且该架体10内形成一容置 空间104，并于该架体10上端形成一开口，该架体10的结构装设有一第一板体101、一 第二板体102及多根立柱103，该多根立柱103设于该第一板体101与该第二板体102之 间，且该容置空间104形成于该第一板体101、第二板体102及多根立柱103之间，而该 承载部30于各根立柱103上设有突出片体301 (如图4所示)，且各相邻突出片体301之 间形成插槽以供插置晶圆或玻璃基板等。该至少一挠性构件20设于该架体10底部，本实施例中该挠性构件20为一包覆 减震材质202的钢索201，而该减震材质202为硅胶、塑料及橡胶中的任一种，在本实施 例为硅胶(如图4所示)，且该至少一挠性构件20的一端固定于该第一板体101的下缘， 而另一端固定于该第二板体102的下缘。使用时，请参阅图5所示，为本实用新型实施例的使用状态示意图，当多个晶圆放置于卡匣缓冲结构时，该挠性构件20的减震材质202会先承受并减缓放置晶圆50 的冲击或撞击力，且该钢索201亦具有可挠性能进一步将冲击或撞击力吸收，能保护晶 圆50在放置于卡匣时，不会因冲击或撞击造成破裂或缺损，且当卡匣内放置多个晶圆50 时，该挠性构件20会因多个晶圆50的重量自然下垂，且该挠性构件20在负载状态下亦 能维持其可挠性，以降低放置多个晶圆50的重量因搬运过程产生的震动导致晶圆50破裂或缺损。此外，请参阅图6所示，本实用新型还能依据卡匣负载物品重量的不同，改变该至少一挠性构件20的张力以符合使用的需要，该挠性构件20的张力是通过一调整件40 进行调整，该一调整件40包含一螺件401及一螺帽402，该螺件401是与该挠性构件20 的一端相连结，且该螺件401穿设于该第二板体102的外侧，并于该螺件401上螺组该螺 帽402，通过该螺帽402的轴向位移调整该挠性构件20的张力，而该挠性构件20的另一 端固定于该第一板体101下缘，以此，该挠性构件20能依据卡匣实际使用的需求实时调 整张力，以增加该挠性构件20的适用吸收冲击力及承载范围，进而有效吸收放置晶圆进 卡匣时产生的冲击力，或搬运载有晶圆的卡匣时所产生的震动，降低因放置时的冲击力 或搬运产生的震动所造成晶圆的破损，以达到保护晶圆的目的。除此之外，该挠性构件20与该调整件40的螺件401的连结方式，是采用焊接、 熔接、黏合、扣合、套合、锁合和嵌合中的任一种。另外，该挠性构件20在实际实施上亦可为一硅胶胶条、塑料胶条及橡胶胶条中 的任一种。本实用新型的卡匣缓冲结构的特点在于通过该架体10以及该至少一挠性构件 20的组合能吸收并转化物体冲击力或震动，而达到缓冲的功效；而通过在卡匣缓冲结构 的挠性构件20为包覆减震材质202的钢索201，能够使该卡匣缓冲结构具有最佳的吸收震 动的能力；另外，本实用新型卡匣缓冲结构的挠性构件20能更进一步结合该调整件40， 经由该调整件40的螺帽402的轴向位移，依据晶圆或玻璃基板的大小或重量调整该挠性 构件20的张力，从而更加提升该卡匣缓冲结构的承受冲击力的范围，使该卡匣缓冲结构 能承载于不同大小及重量的晶圆或玻璃基板。本实用新型的卡匣缓冲结构乃具有构造精 简、组装容易、有效抑震且方便实施的特性，确能有效吸收转化冲击力或震动，以保护 卡匣所承载的晶圆或玻璃基板，进而增加本实用新型的实用性和便利性。以上所述仅为本实用新型的较佳可行实施例，非因此即局限本实用新型的专利 范围，举凡运用本实用新型说明书及图式内容所为的等效结构变化，均理同包含于本实 用新型的范围内，合予陈明。
权利要求1. 一种卡匣缓冲结构，其特征在于，该卡匣缓冲结构包括一架体，该架体设有承载部，该架体内形成一容置空间，且该架体上端形成一开 口 ；以及至少一挠性构件，该至少一挠性构件设于该架体底部。
2.根据权利要求1所述的卡匣缓冲结构，其特征在于，该架体设有一第一板体、一第 二板体及多根立柱，该多根立柱设于该第一板体与该第二板体之间，而该承载部于各根 立柱上设有突出片体，且各相邻突出片体之间形成插槽以供插置，而该至少一挠性构件 设于该第一板体下缘与该第二板体下缘之间。
3.根据权利要求1所述的卡匣缓冲结构，其特征在于，该挠性构件为一包覆减震材质 的钢索。
4.根据权利要求3所述的卡匣缓冲结构，其特征在于，该减震材质为硅胶、塑料及橡 胶中的任一种。
5.根据权利要求1所述的卡匣缓冲结构，其特征在于，该挠性构件为一硅胶胶条、塑 料胶条及橡胶胶条中的任一种。
6.根据权利要求1所述的卡匣缓冲结构，其特征在于，该挠性构件的至少一端连结一 调整件，且该调整件穿设于该架体的外侧。
7.根据权利要求6所述的卡匣缓冲结构，其特征在于，该挠性构件与该调整件连结方 式是采用焊接、熔接、黏合、扣合、套合、锁合和嵌合中的任一种。
专利摘要本实用新型公开了一种卡匣缓冲结构，该卡匣缓冲结构包括一架体以及至少一挠性构件。该架体设有承载部，该架体内形成一容置空间，且该架体上端形成一开口；该至少一挠性构件设于该架体底部；以此，使具有构造精简、组装容易、有效抑震且方便实施。
文档编号B65D85/48GK201793155SQ20102017681
公开日2011年4月13日 申请日期2010年4月12日 优先权日2010年4月12日
发明者陈延方, 颜晖展 申请人:中勤实业股份有限公司