专利名称：卡匣支撑结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种卡匣支撑结构，特别涉及一种于一卡匣后方中央新增一支撑 结构，使基板安装于卡匣内时能够更平坦的结构。
背景技术：
一般常用卡匣结构，请参阅
图1所示，其设有一卡匣10，该卡匣10设有两个框片
II、12，该两个框片11、12之间的两侧边分别设有两个侧板111、121，使该卡匣10前、后端 形成可置入基板20(如硅晶圆基板)的两个开口 13、14，该两侧板111、121内壁分别设有 多片相互平行的支撑片112、122，以供数片基板20可经由其一开口 13卡设于该两个侧板
III、121的支撑片112、122之间的沟槽，以于运送或保存该基板20时，可避免保存或搬运过 程中因碰撞，而导致基板20破损或脱落等问题。然而，IC(半导体)的材料硅晶圆基板发展至今逐渐薄型化，其厚度由0. 7mm逐渐 缩小至0. 2mm,但在卡设该基板20的沟槽间距(约5mm)不变下，请参阅图2所示，薄型化的 基板20会因该等支撑片112、122的支撑不足而产生下垂量过大，导致取放基板20的机械 手臂，容易碰撞到该基板20的下垂部分，而造成基板20破损(即薄化的晶圆片容易因下垂 量过大与机械手臂取放行程干涉而破片)。
发明内容鉴于上述常用卡匣结构所衍生的各项缺点，本实用新型的设计人乃亟思加以改良 创新，并经多年苦心孤诣潜心研究后，终于成功研发完成本件一种卡匣支撑结构。本实用新型的目的，在于提供一种卡匣支撑结构，是于该卡匣后方中央新增一支 撑结构，使基板安装于卡匣内时能够更平坦。为达上述的目的，本实用新型的技术手段在于，设有一卡匣，该卡匣设有两个框 片，该两个框片之间的两侧边分别设有两块侧板，形成一可供置入基板的开口，该两块侧板 内壁上分别设有多个相互平行的支撑部，相邻两个支撑部之间形成可置放基板的沟槽，该 两块侧板一端向开口方向延伸出多个中央支撑件，各该中央支撑件相互平行，且相邻两个 中央支撑件之间形成与该多个沟槽相等的另一沟槽；使用时，数片基板可经由该开口卡设 于该两块侧板的支撑部之间的沟槽，凭借该卡匣后方中央支撑件的支撑，使基板安装于卡 匣内时能够更平坦，不会产生过大的下垂量，以避免取放基板的机械手臂的碰撞而破损。请参阅以下有关本实用新型一较佳实施例的详细说明及其附图，将可进一步了解 本实用新型的技术内容及其目的功效
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1为常用的立体示意图；图2为常用的使用时的剖面示意图；[0011]图3为本实用新型的立体示意图；图4为本实用新型的另一立体示意图；图5为本实用新型的使用时的剖面示意图；图6为本实用新型另一实施例的立体示意图。
具体实施方式
本实用新型为一种「卡匣支撑结构」，请参阅图3、图4所示，其设有一卡匣50，该卡 匣50设有两个框片51、52，该两个框片51、52之间的两侧边分别设有两块侧板53、54，形成 一可供置入基板70的开口 55，该两块侧板53、54内壁上分别设有多个相互平行的支撑部 57，相邻两个支撑部57之间形成可置放基板70的沟槽573，该两块侧板53、54 —端向开口 55方向延伸出多个中央支撑件572，各该中央支撑件572相互平行，且相邻两个中央支撑件 572之间形成与该多个沟槽573相等的另一沟槽574。本实用新型的一实施例中，该卡匣50设有两个框片51、52，该两个框片51、52之间 的两侧边分别设有两块侧板53、54，使该卡匣50前、后端形成可置入基板70 (如硅晶圆基 板)的两个开口 55、56，该两块侧板53、54内壁分别设有多片相互平行的支撑部57，使相邻 两支撑部57之间形成可置放基板70的沟槽573，各该支撑部57在该卡匣50后端开口 56 设有一连接部571，使该两块侧板53、54的支撑部57相接在一起，各该支撑部57后端设有 一向卡匣50中间延伸的中央支撑件572，且相邻两个中央支撑件572之间形成与该多个沟 槽573相等的另一沟槽574。凭借上述构件的组成，请参阅图5所示，使用时，数片基板70可经由其一开口 55 卡设于该两块侧板53、54的支撑部57之间的沟槽573，凭借该卡匣50后方中央支撑件572 的支撑，使基板70安装于卡匣50内时能够更平坦，不会产生过大的下垂量，以此避免取放 该基板70的机械手臂的碰撞而破损。请再参阅图3、图4所示，该卡匣50的顶面设有至少一握把501，用以供提握及搬 运该卡匣50之用。该中央支撑件572可为一中央支撑片或一中央支撑柱；而该支撑部57为一支撑 片。请参阅图6所示，本实用新型另一实施例中，该卡匣50设有两个框片51、52，该两 个框片51、52之间的两侧边分别设有两块侧板53、54，形成一可置入基板70的开口 55，该 两块侧板53、54内壁分别设有多片相互平行的支撑部57，使相邻的两个支撑部57之间形成 可置放基板70的沟槽573，该卡匣50后端上设有一立杆61，该立杆61两侧边以数个连接 杆62连接于该两块侧板53、54内壁上，该立杆61上设有多个相互平行且向卡匣50中间延 伸的中央支撑件63，使相邻两中央支撑件63之间形成另一沟槽613，所述另一沟槽613的 间隔与沟槽573的间隔相等。该卡匣50可以一体成型方式制成。该中央支撑件63可为一中央支撑片或一中央支撑柱；而该支撑部57为一支撑片。上列详细说明是针对本实用新型的一可行实施例的具体说明，然而该实施例并非 用以限制本实用新型的专利范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所为的等效实施或变更， 例如等变化的等效性实施例，均应包含于本案的专利范围中。
权利要求一种卡匣支撑结构，其特征在于，包括两个框片，该两个框片之间的两侧边分别设有两块侧板，形成一可供置入基板的开口；多个相互平行的支撑部，分别设于该两块侧板的内壁上，相邻两个支撑部之间形成可置放基板的沟槽；多个中央支撑件，由该两块侧板一端向开口方向延伸出，各该中央支撑件相互平行，且相邻两个中央支撑件之间形成与该多个沟槽相等的另一沟槽。
2.根据权利要求1所述的卡匣支撑结构，其特征在于，该基板为一硅晶圆基板。
3.根据权利要求1所述的卡匣支撑结构，其特征在于，各该中央支撑件后端两侧边分 别以一连接部连接于该两块侧板一端的内壁上。
4.根据权利要求3所述的卡匣支撑结构，其特征在于，各该中央支撑件后端二侧边的 连接部分别连接于该二侧板一端的内壁的支撑部上。
5.根据权利要求1所述的卡匣支撑结构，其特征在于，该多个中央支撑件后端设有一 立杆，令该多个中央支撑件相互平行设于该立杆上，该立杆两侧边以数个连接杆连接于该 两块侧板一端的内壁上。
6.根据权利要求1、4或5所述的卡匣支撑结构，其特征在于，该中央支撑件为一中央支 撑片。
7.根据权利要求1、4或5所述的卡匣支撑结构，其特征在于，该中央支撑件为一中央支 撑柱。
8.根据权利要求1所述的卡匣支撑结构，其特征在于，该卡匣以一体成型方式制成。
9.根据权利要求4所述的卡匣支撑结构，其特征在于，该支撑部为一支撑片。
专利摘要一种卡匣支撑结构，是在两个框片之间的两侧边设两块侧板，形成一可供置入基板的开口，该两块侧板内壁上分别设有多个相互平行的支撑部，相邻两个支撑部之间形成可置放基板的沟槽，该两块侧板一端向开口方向延伸出多个中央支撑件，各该中央支撑件相互平行，且相邻两中央支撑件之间形成与该多个沟槽相等的另一沟槽；使用时，数片基板可经由该开口卡设于该两块侧板的支撑部之间的沟槽，凭借该卡匣后方中央支撑件的支撑，使基板安装于卡匣内时能够更平坦，不会产生过大的下垂量。
文档编号B65D25/10GK201741675SQ20102029258
公开日2011年2月9日 申请日期2010年8月12日 优先权日2010年8月12日
发明者江枝茂, 颜晖展 申请人:中勤实业股份有限公司