玻璃基板运送台车的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种可减少收纳于玻璃基板收纳盒的大型玻璃基板上的异物附着并将其无损伤地运送的玻璃基板运送台车。收纳于玻璃基板收纳盒中的玻璃基板为一边的长度至少为1000mm、厚度超过10mm的大型方形玻璃基板，其特征是，包括能用叉状运送手段处理的框体；在该框体下部设置的车轮部；在将所述玻璃基板收纳盒进行固定保持的同时，由可以将运送时所述玻璃基板收纳盒以及所述方形玻璃基板产生的冲击进行减缓的弹簧常数不同的至少两种弹性体构成的冲击减缓机构。至少一个弹性体优选使用在受到2G冲击时该基板盒的伸缩量为20～30mm的金属弹簧。
【专利说明】玻璃基板运送台车
【技术领域】
[0001]本发明涉及在液晶显示器等的制造时作为灰尘除去器适用的光刻用防尘薄膜组件的制造中使用的、特别是运送大型的玻璃基板的运送台车。
【背景技术】
[0002]LS1、超LSI等的半导体制造或液晶显示器等的制造中，要对半导体晶圆或液晶用原板进行光照射以制作图案，此时使用的光掩模或中间掩模(以下称“光掩模”)上如有灰尘附着，该灰尘就会对光进行吸收，或使光弯曲，由此转印的图案发生变形，边沿不齐，另外，还会造成基地发黑等，从而使尺寸、品质、外观等受损。
[0003]因此，这样的操作通常在无尘室中进行，即使如此，要始终保持光掩模的清洁也是困难的，所以要在光掩模表面贴附作为除灰尘的防尘薄膜组件后在进行曝光。在该场合下，灰尘等异物就不会在光掩模的表面上直接附着，而附着在防尘薄膜组件上，在光刻时只要将焦点对准在光掩模的图案即可，防尘薄膜组件上的异物就与转印无关了。
[0004]这样的防尘薄膜组件一般将由透光良好的硝化纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等构成的透明防尘薄膜组件膜贴附或接着在由铝合金、不锈钢、聚乙烯等构成的防尘薄膜组件框架的上端面而成。另外，在防尘薄膜组件框架的下端具有为了进行光掩模装着的由聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯基树脂、丙烯酸树脂等构成的粘着层以及以粘着层的保护为目的离型层(剥离片)。
[0005]虽然这样的防尘薄膜组件在掩模贴附后对于防止异物从外部侵入封闭的内部的侵入是有效的，但是如在防尘薄膜组件本身有异物附着，而且该异物处于封闭的内部的情况下，难以防止异物向光掩模的异物附着。因此，不仅对于防尘薄膜组件本身，对于在构成防尘薄膜组件的防尘薄膜的制造中使用的玻璃基板也要求具有高的清洁性。
[0006]最近，由于大型大画面的液晶显示器面板等的出现，在玻璃基板的表面具有遮光膜以及抗蚀膜叠层的掩模板以及有图案化的遮光膜形成的转印掩模等，为具有一边为700mm以上的大型尺寸的基板，对该基板进行表面不附着灰尘、污垢等且也没有损伤的运送的基板运送盒是已知的。
[0007]例如，在专利文献I中记载了一种使具有轮的基板保持具从密闭型的收纳箱的侧方可收可放的基板运送盒。在该基板运送盒中，收纳箱内部的底面配置有橡胶材料等形成的可挠性的气体管，该气体管在运送中可以减轻震动。但可挠性的气体管对由于地板以及道路的凹凸所产生的冲击的缓和效果不够，另外，橡胶素材料随着时间的变化具有冲击减缓效果逐渐减弱的问题。
[0008]另一方面，作为运送大型的玻璃基板的玻璃基板运送台车，为了对运送时的由于地板以及道路的凹凸而受到的冲击进行减缓，在台车以及玻璃基板收纳盒之间作为冲击减缓材料夹入正方体的泡沫聚氨酯的运送台车也是已知的。
[0009]但是，即使使用该泡沫聚氨酯的冲击减缓材料的运送台车，在运送时在盒盖上使用的螺钉等会附着灰尘，在玻璃基板上会附着大量的异物，所以极少用于作为防尘薄膜组件膜的制造时使用的玻璃基板。
[0010]另外，泡沫聚氨酯，也会随着时间的经过而老化，其冲击减缓效果也会逐渐减少，会由于弯曲玻璃基板收纳盒发生横向错离等，从而发生玻璃基板的损伤。
[0011]现有技术文献
[0012]专利文献
[0013]专利文献1:日本特开2007-250688号公报
【发明内容】
[0014]因此，本发明就是要解决这样的问题，其目的是提供一种在大型玻璃基板运送时既可以减少在玻璃基板收纳盒以及玻璃基板上产生的冲击，也可以减少异物的附着，并且不发生由于横向错离产生的玻璃基板损伤的玻璃基板运送台车。
[0015]本发明的玻璃基板运送台车为运送在玻璃基板收纳盒中收纳的一边的长度为至少1000mm、厚度超过IOmm的大型方形玻璃基板运送台车，其特征在于:具有可用叉状运送手段处理的框体；在该框体的下部设置的车轮部；在将所述玻璃基板收纳盒固定保持的同时，对在运送时所述玻璃基板收纳盒以及所述方形玻璃基板上所产生的冲击进行减缓的弹簧常数不同的至少两种弹性体构成的冲击减缓机构。
[0016]另外，本发明优选在至少两种弹性体中至少一个弹性体，其在装载玻璃基板收纳盒时的自重下沉量为10?15mm的范围，在2G的冲击时的伸缩量为20?30mm的金属弹簧，与金属弹簧配合的弹性体，优选选自金属弹簧、空气弹簧或者防震橡胶。
[0017]发明效果
[0018]根据本发明，具有本发明的冲击减缓机构的玻璃基板运送台车，在可以对运送时的冲击减缓的同时，还可以减少在玻璃基板收纳盒内中收纳的大型玻璃基板上的异物，并且可以对玻璃基板无损伤地保管以及运送。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1为处于承载了基板收纳盒状态的玻璃基板运送台车的正面图。
[0020]图2为本发明的一个实施方式的图1的A-A截面图。
[0021 ] 图3为本发明的冲击减缓机构的详细图。
[0022]图4为比较例的冲击减缓机构的详细图。
【具体实施方式】
[0023]以下，参照附图对本发明的玻璃基板运送台车的一个实施方式进行说明，但是本发明并不限于此。
[0024]图1为处于承载了玻璃基板收纳盒41的状态的运送台车11的正面图，图2为图1中的A-A截面的平面图。
[0025]图1中，玻璃基板运送台车11，具有在运送时将玻璃基板收纳盒41进行固定保持的盒载置部12，可以用叉状运送手段处理的框体13，车轮部14以及在所述盒载置部12以及所述框体13之间设置的冲击减缓机构15。
[0026]另外，所谓玻璃基板收纳盒41和盒载置部12，用称作弹簧锁的紧固夹具16以及旋钮螺丝等(未图示)加以固定。
[0027]图2，为冲击减缓机构15的配置的平面图。冲击减缓机构15的配置以及个数以及弹性体的配合，可以根据玻璃基板收纳盒41以及玻璃基板的形状以及重量进行适宜设计，并不限于图2的形态。
[0028]另外，在运送中，为了对异物的附着加以减低，优选玻璃基板收纳盒41用带电防止带等进行覆盖。框体13优选在其内侧具有可以用叉车卸下的梁(未图示)，另外，为了防止从车轮部14进入异物，优选安装塞板17。
[0029]图3为本发明的冲击减缓机构15的详细图。本发明的冲击减缓机构15，在盒载置部12以及框体13之间设置，由可以对运送中发生的大约2G程度的冲击进行减缓的弹性体A21以及可以对2G以上的冲击进行减缓的弹性体B22构成。
[0030]虽然运送中发生的所有的冲击可以用一个弹性体进行减缓，但是在该场合，如弹性体的伸缩范围变大，冲击减缓机构15的尺寸变大，重心变高，运送台车会不安定，这一方案并不优选。
[0031]作为弹性体，可以从金属弹簧，空气弹簧，防震橡胶等中进行适宜选择，但是A21优选为随时间变化少的便宜的金属弹簧，弹性体B22选用防震橡胶为好。金属弹簧的选定，在将弹簧常数2.61kgf/mm以及4.06kgf/mm的金属弹簧分别安装,运送台车上装上基板盒进行上下动作的实验中得知，2.61kgf/mm的金属弹簧过软，而4.06kgf/mm的金属弹簧过硬，冲击减缓的效果不好，弹簧常数3.38kgf/mm的金属弹簧的场合，可以得到好的结果。对这样弹簧常数的自重伸缩量进行测试的结果，弹簧常数2.61kgf/mm的场合的自重伸缩量为15.2mm,弹簧常数4.06kgf/mm的场合为9.7mm,在本发明的运送台车中,优选在将玻璃基板收纳盒41中收纳的玻璃基板载置于盒载置部12上时，其自重伸缩量为10?15mm的范围的金属弹簧。
[0032]另外，如在本发明中那样，玻璃基板收纳盒中收纳的一边的长度为至少1000mm，厚度超过10_的大型的方形玻璃基板的运送台车的场合，对运送中的冲击进行调查的结果，得知为大约2G程度，2G的冲击时的伸缩量以20?30mm的范围的金属弹簧为佳。
[0033]进一步地，为了对运送中玻璃基板运送台车11通过凹凸部时的冲击效果进行减缓，优选将滑动轴23固定设置在盒载置部12为佳。滑动轴23在框体13侧设置轴保持部24以及在23的先端部设置止脱部25。
[0034]通过该滑动轴23的设置，在运送中玻璃基板运送台车11通过凹凸部时，玻璃基板收纳盒41圆滑地上下运动，该上下运动被各弹性体A21以及B22有效地抑制。
[0035]实施例
[0036]以下，对本发明的实施例进行说明。
[0037]图1，图2中所示的玻璃基板运送台车11，盒载置部12以及框体13是用铝合金制的挤出材料而制作的。该玻璃基板运送台车11，其尺寸为宽2050mm，深1900mm，高420mm (包括车轮)。
[0038]安装在所述运送台车11上的冲击减缓机构15，由弹性体A21以及弹性体B22的两种弹性体以及滑动轴23制作。弹性体A21，采用弹簧常数为3.38kGf/mm的金属弹簧，弹性体B22,采用高衰减橡胶(仓敷化工株式会社制“商品名:stopper”,最大收缩为14mm,最大冲击力为3.7kN)。滑动轴23中采用材料质SUS440 C的烧制品，滑动保持部24为线型轴瓦。
[0039]另外，在将所述两种弹性体配合而成的冲击减缓机构15的场合，载置玻璃基板收纳盒41时的下沉量设定为12mm，在加上2G的冲击时伸缩量设定为25mm时，弹性体B22的高衰减橡胶的冲击吸收力设定为4G，全体的冲击吸收力合计为6G。
[0040]如此制作的冲击减缓机构15，如图2所示，在玻璃基板运送台车11的长边侧各设置两处，在短边侧各设置I处共设置6处。
[0041]另一方面，将收纳盒41进行载置的盒载置部12，其重量为20kG，另外被载置的玻璃基板收纳盒41，其大小为宽2020mm，深1880mm，高195mm (除去突起部)，其重量为130kG。
[0042]接着，如此制作的玻璃基板收纳盒41，在10级的无尘室内用界面活性剂以及纯水进行洗净，风干完全干燥后，在暗室内用40万勒克司的集光灯对盒盖41a，盒盘41b的内侧进行仔细的异物检查，用目视确认的洗净残留的异物用粘着带除去，得到完全没有异物的状态。
[0043]在该状态的玻璃基板收纳盒41的盒盘41b上，将尺寸1780mmX 1620mm，厚度17mm，重量IOSkG的异物检查完毕的玻璃基板(未图示)进行收纳，将盒盖41a仔细载置后，将盒盖41a以及盒盘41b的嵌合部用粘着带(未图示)进行无隙间的密封。此后，进一步将玻璃基板收纳盒41用带电防止聚乙烯袋(未图示)覆盖，在运送台车框体13上用带进行固定，从无尘室内搬出。
[0044]将捆包的玻璃基板收纳盒41在玻璃基板运送台车11上固定，将其从新泻县上越市至群马县高崎市用卡车进行运送，此时，框体13的内侧有梁，向卡车车辆上的装卸可以使用叉车，可以容易地操作。
[0045]另外，运送后将玻璃基板运送台车11进行开捆清扫，搬入10级的无尘室，将玻璃基板收纳盒41的盒盖41a打开，对玻璃基板上的异物进行确认，发现玻璃基板上可以目视确认的异物有18个，全部可以用吹风机容易地除去。这是在本发明中，使用了金属弹簧等的弹簧常数不同的至少两种弹性体构成的冲击减缓机构，在运送中对震动进行了有效的抑制，对基板盒的盖上使用的螺钉部等的发灰尘量抑制为极少量的缘故。
[0046]比较例
[0047]图4示出了比较例的冲击减缓机构。该比较例的冲击减缓机构的宽度以及深度尺寸与上述实施例相同。为了比较，制作的玻璃基板运送台车11采用了图4的冲击减缓机构，其高为330mm。
[0048]另外，在弹性体A21中，使用了防震橡胶(仓敷化工株式会社制，“商品名:ringmount”，标准载重740N，载重范围250N?980N，标准载重时的松驰为15mm)，玻璃基板盒搭载时的下沉量8mm，最冲击吸收载重为1.4G。进一步地，弹性体B22中，使用了与上述实施例相同的高衰减橡胶，弹性体B22的高衰减橡胶的冲击吸收力为1.4G，全体的冲击吸收力合计2.SG。除这样的冲击减缓机构以外，与上述实施例完全相同。
[0049]关于本比较例的玻璃基板运送台车11，进行与上述实施例完全相同的运送实验，用与上述相同的检查方法对玻璃基板上的异物进行确认，发现玻璃基板上有无数的异物，由于该异物多，虽然有用吹风机除去的，但是有不能除去之物，用比较例的台车运送的玻璃基板，难以在实际的制造中进行使用。这是由于，冲击减缓机构为防震橡胶构成的，与实施例的场合相比，不能对震动进行充分的抑制，从基板盒的螺钉部等各部位的发灰尘量多，玻璃基板上的异物的量增加，其中发生有不能除去的异物。
[0050]附图标记说明
[0051]11玻璃基板运送台车
[0052]12盒载置部
[0053]13 框体
[0054]14车轮部
[0055]15冲击减缓机构
[0056]16紧固夹具
[0057]17堵塞板
[0058]21弹性体A
[0059]22弹性体B
[0060]23滑动轴
[0061]24滑动轴保持部
[0062]25止脱机构
[0063]41a 盒盖
[0064]41b 盒盘
【权利要求】
1.一种运送在玻璃基板收纳盒中收纳的一边的长度至少为1000mm、厚度超过IOmm的大型方形玻璃基板运送台车，其特征在于:包括能用叉状运送手段处理的框体；在该框体的下部设置的车轮部；在将所述玻璃基板收纳盒进行固定保持的同时，由能将运送时对所述玻璃基板收纳盒以及所述方形玻璃基板产生的冲击进行减缓的、弹簧常数不同的至少两种弹性体构成的冲击减缓机构。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板运送台车，其特征在于，所述至少两种弹性体中的至少一种弹性体为在搭载上玻璃基板收纳盒时的自重下沉量为10?15mm的范围、在加载2G冲击时的伸缩量为20?30mm的金属弹簧。
3.根据权利要求2所述玻璃基板运送台车，其特征在于，与所述金属弹簧配合的弹性体选自金属弹簧、空气弹簧或者防震橡胶。
【文档编号】B65D81/02GK103848116SQ201310645958
【公开日】2014年6月11日 申请日期:2013年12月4日 优先权日:2012年12月5日
【发明者】影山洋 申请人:信越化学工业株式会社