Spm系统的自动加液机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种SPM系统的自动加液机构，储液瓶在瓶口内安装有管接头连接件，所述的管接头连接件上具有进液孔和出液孔，设置在储液瓶内部的内进液管和外部的外进液管连接在管接头连接件的进液孔上，设置在储液瓶内部的内出液管和外部的外出液管连接在管接头连接件的出液孔上，外进液管上安装有液阀，储液瓶外壁在上部设有上感应器、中下部设有下感应器，上感应器的输出端和下感应器的输出端分别与控制器连接，用于控制液阀启闭的控制器与液阀连接。本实用新型具有结构简单，能实现自动加药液，操作安全的特点。
【专利说明】SPM系统的自动加液机构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种SPM系统的自动加液机构，属于集成电路工艺清洗【技术领域】。
【背景技术】
[0002]在半导体器、集成电路以及光伏等电子产品的制造过程中，经常需要通过光刻方法，将光掩模板上的电路图案大批量印刷到硅晶圆上。在光掩模板经过曝光、显影之后，需要去除表面的光刻胶。而SPM工艺主要用于清洗电子器件基板的有机残留物，硫酸与过氧化氢的混合药液是普遍使用的清洗药液。目前较先进的清洗方法是通过喷淋清洗的方法，现场将加热至规定温度的硫酸与过氧化氢溶液在经过混合阀内按比例进行混合，以形成强氧化的硫酸过氧化氢溶液并喷在旋转的工件上进行去胶，由于药液直接排掉不再循环使用，不会造成交叉污染，去胶效果相对稳定。而在线配置清洗药剂，需要将不同的药剂分别储存在各自指定的容器内，通过输入管道上液泵将容器内的药液送到混合阀内。目前容对药液的补充，是采用人工方式进行补充，一方面所使用的药液都是腐蚀性液体，稍操作不慎，就会造成对操作人员及设备的伤害，另一方面，也会对药液造成污染，而影响清洗效果。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种结构简单，能实现自动加液的SPM系统的自动加液机构
[0004]本实用新型为达到上述目的的技术方案是:一种SPM系统的自动加液机构，包括储液瓶，其特征在于:所述储液瓶在瓶口内安装有管接头连接件，所述的管接头连接件上具有进液孔和出液孔，设置在储液瓶内部的内进液管和外部的外进液管连接在管接头连接件的进液孔上，设置在储液瓶内部的内出液管和外部的外出液管连接在管接头连接件的出液孔上，外进液管上安装有液阀，储液瓶外壁在上部设有上感应器、中下部设有下感应器，上感应器的输出端和下感应器的输出端分别与控制器连接，用于控制液阀启闭的控制器与液阀连接。
[0005]本实用新型在储液瓶的瓶口的管接头连接件安装有内、外进液管和内、外出液管，在储液瓶外壁在上部和中下部分别设有上、下两个感应器，通过上、下感应器来检测储液瓶内药液存储的下限量和上限量，上、下感应器将分别检测的信号输至控制器内，通过控制器使安装在外进液管上的液阀启闭，自动对储液瓶内自动加注药液。本实用新型通过管接头连接件将进液管和出液管安装在储液瓶上，并通过安装在储液瓶上的上下感应器检测瓶内药液量，结构简单，加药液时为非接触式，不会对药剂产生污染，也提高了操作的安全性。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步的详细描述。
[0007]图1是本实用新型的SPM系统的自动加液机构的结构示意图。[0008]其中:1 一储液瓶，2—管接头连接件，2-1—进气孔，2-2—排气孔，2-3—出液孔，2-4—进液孔，3—瓶盖，4一单向阀，5—进气管，6—排气管，7—外出液管，8—外进液管，9一液阀，10—液泵，11—锥形密封套，12—锁紧螺母，13—上感应器，14 一控制器，15—下感应器，16—内进液管，17—内出液管。
【具体实施方式】
[0009]见图1所示，本实用新型SPM系统的自动加液机构，包括储液瓶1，储液瓶I在瓶口内安装有管接头连接件2，该管接头连接件2可旋接在储液瓶I内或压接进入储液瓶I内，瓶盖3安装在储液瓶I上以防止管接头连接件2脱落，管接头连接件2上具有进液孔2-4和出液孔2-3，设置在储液瓶I内部的内进液管16和外部的外进液管8连接在管接头连接件2的进液孔2-4上，设置在储液瓶I内部的内出液管17和外部的外出液管7连接在管接头连接件2的出液孔2-3上，外进液管8上安装有液阀9，本实用新型的液阀9可采用常规的截止阀或碟阀等，通过控制器14液阀9的启闭实现自动加药的功能，而外出液管7上安装有液泵10，通过液泵10将储液瓶I内的药液送入混合阀内，实现清洗药液的配制。
[0010]见图1所示，本实用新型储液瓶I外壁在上部设有上感应器13、中下部设有下感应器15，上感应器13的输出端和下感应器15的输出端分别与控制器14连接，该控制器14可采用现有的微处理器，用于控制液阀9启闭的控制器14与液阀9连接，通过控制器14控制液阀9动作，而实现自动加药液。本实用新型的上感应器13和下感应器15可采用感应式接近开关，当储液瓶I中的药液液面下降到下感应器15的位置时，下感应器15会对储液瓶I内药液的感应而发出信号，通过控制器14使液阀9打开而加药液；如果药剂瓶中的药液液面上升到上感应器13的位置，上感应器13会感应到液体的存在而发出信号停止加药液，通过上感应器13和下感应器15检测瓶内药液液面信号传至控制器14，通过控制器14控制液阀9启闭。
[0011]见图1所示，本实用新型外进液管8通过其接头旋接或插接在管接头连接件2的进液孔2-4上，内进液管16上部穿过锁紧螺母12和锥形密封套11，外进液管8和内进进液管为分体结构，锁紧螺母12旋接在进液孔2-4上，锥形密封套11的外锥面顶在进液孔2-4的台阶面处将内进液管16夹紧并与进液孔2-4密封，能方便将进液管安装在管接头连接管上。本实用新型外进液管8和内进液管16还可为一体的进液管,进液管穿过锁紧螺母12和锥形密封套11，锁紧螺母12旋接在管接头连接件2的进液孔2-4上，锥形密封套11的外锥面顶在进液孔2-4的台阶面处将进液管夹紧并与进液孔2-4密封，当锁紧螺母12旋接在进液孔2-4上时，可使锥形密封套11轴向移动，使锥形密封套11上的外锥面顶在进液孔2-4的台阶处，能将锁紧螺母12作用在锥形密封套11上的轴向力转为径向力，由于锥形密封套11的变形，从而消除锥形密封套11与进液孔2-4和进液管之间的缝隙，实现密封并防渗漏。
[0012]见图1所示，本实用新型外出液管7通过其接头旋接或插接在管接头连接件2的出液孔2-3上，内出液管17上部穿过锁紧螺母12和锥形密封套11，通过分体式结构的出液管，方便出液管安装在储液瓶I内的管接头连接件2的出液孔2-3内，锁紧螺母12旋接在出液孔2-3上，锥形密封套11的外锥面顶在出液孔2-3的台阶面处将内出液管17夹紧并与出液孔2-3密封。本实用新型的外出液管7和内出液管17还可为一体的出液管，出液管穿过锁紧螺母12和锥形密封套11，锁紧螺母12旋接在管接头连接件2的出液孔2-3上，锥形密封套11的外锥面顶在出液孔2-3的台阶面处将出液管夹紧并与出液孔2-3密封，当锁紧螺母12旋接在出液孔2-3上时，可使锥形密封套11轴向移动，使锥形密封套11上的外锥面顶在出液孔2-3的台阶处，能将锁紧螺母12作用在锥形密封套11上的轴向力转为径向力，由于锥形密封套11的变形，从而消除锥形密封套11与出液孔2-3和出液管之间的缝隙，实现密封并防渗漏。
[0013]见图1所示，本实用新型管接头连接件2上还设有进气孔2-1和排气孔2-2，进气管5和排气管6分别安装在对应的进气孔2-1和排气孔2-2上，且管接头连接件2上的进气孔2-1和排气孔2-2上还安装有方向相反的单向阀4，通过进气管5和排气管6将保护气体如氮气充入或排出储液瓶1，实现对药液的保护。
【权利要求】
1.一种SPM系统的自动加液机构，包括储液瓶(1)，其特征在于:所述储液瓶(I)在瓶口内安装有管接头连接件(2)，所述的管接头连接件(2)上具有进液孔(2-4)和出液孔(2-3)，设置在储液瓶(I)内部的内进液管(16)和外部的外进液管(8)连接在管接头连接件(2 )的进液孔(2-4)上，设置在储液瓶(I)内部的内出液管(17 )和外部的外出液管(7 )连接在管接头连接件(2 )的出液孔(2-3 )上，外进液管(8 )上安装有液阀(9 )，储液瓶(I)外壁在上部设有上感应器(13)、中下部设有下感应器(15)，上感应器(13)的输出端和下感应器(15)的输出端分别与控制器(14)连接，用于控制液阀(9)启闭的控制器(14)与液阀(9)连接。
2.根据权利要求1所述的SPM系统的自动加液机构，其特征在于:所述外进液管(8)通过其接头旋接或插接在管接头连接件(2)的进液孔(2-4)上，内进液管(16)上部穿过锁紧螺母(12)和锥形密封套(11)，锁紧螺母(12)旋接在进液孔(2-4)上，锥形密封套(11)的外锥面顶在进液孔(2-4 )的台阶面处将内进液管(16 )夹紧并与进液孔(2-4 )密封。
3.根据权利要求1所述的SPM系统的自动加液机构，其特征在于:所述外进液管(8)和内进液管(16)为一体的进液管，进液管穿过锁紧螺母(12)和锥形密封套(11 )，锁紧螺母(12)旋接在管接头连接件(2)的进液孔(2-4)上，锥形密封套(11)的外锥面顶在进液孔(2-4)的台阶面处将进液管夹紧并与进液孔(2-4)密封。
4.根据权利要求1所述的SPM系统的自动加液机构，其特征在于:所述外出液管(7)通过其接头旋接或插接在管接头连接件(2)的出液孔(2-3)上，内出液管(17)上部穿过锁紧螺母(12)和锥形密封套(11)，锁紧螺母(12)旋接在出液孔(2-3)上，锥形密封套(11)的外锥面顶在出液孔(2-3)的台阶面处将内出液导管夹紧并与出液孔(2-3)密封。
5.根据权利要求1所述的SPM系统的自动加液机构，其特征在于:所述外出液管(7)和内出液管(17)为一体的出液管，出液管穿过锁紧螺母(12)和锥形密封套(11)，锁紧螺母(12)旋接在管接头连接件(2)的出液孔(2-3)上，锥形密封套(11)的外锥面顶在出液孔(2-3)的台阶面处将出液管夹紧并与出液孔(2-3)密封。
6.根据权利要求1所述的SPM系统的自动加液机构，其特征在于:所述管接头连接件(2)上还设有进气孔(2-1)和排气孔(2-2)，进气管(5)和排气管(6)分别安装在对应的进气孔(2-1)和排气孔(2-2 )上，且管接头连接件(2 )上的进气孔(2-1)和排气孔(2-2 )上还安装有方向相反的单向阀(4)。
7.根据权利要求1所述的SPM系统的自动加液机构，其特征在于:所述的外出液管(7)上安装有液泵(10)。
【文档编号】B67C3/22GK203767976SQ201420084823
【公开日】2014年8月13日 申请日期:2014年2月27日 优先权日:2014年2月27日
【发明者】邬治国, 金辉 申请人:常州瑞择微电子科技有限公司