一种多晶硅片用吸盘夹具的制作方法

本实用新型涉及太阳能设备领域，具体涉及一种多晶硅片用吸盘夹具。

背景技术：

现在随着科技的发展，使得在一些装置上常常会用到太阳能多晶硅片，由于多晶硅片能够在极小的面积上，集成数千万的晶体管，工程精细极高，特别是在现在的微电子技术领域，航空航天、工业、农业以及商业上也被广泛应用。

对于现在生产太阳能多晶硅片的方法中，常常需要对多晶硅片在生产时进行转移进行进一步加工，但是现在转移多晶硅片的夹具过于粗糙，仅仅是通过机械的夹持件进行夹持转移，这样会对多晶硅片的内部结构造成进一步的损害，损坏率高，不仅会增加成本，还会使得制备的工期受到影响。

技术实现要素：

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种多晶硅片用吸盘夹具。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：一种多晶硅片用吸盘夹具，包括：支架、抽气管和吸盘，所述抽气管安装在所述支架上；

所述支架内安装有控制芯片，所述支架顶端设有圆孔，所述抽气管贯穿所述圆孔，所述抽气管外壁设有齿条，所述圆孔上端安装有电机，所述电机上安装有齿轮；

所述吸盘与所述抽气管相连接，所述吸盘安装在所述抽气管底端；

所述支架上两对称的垂直面上安装有夹头，所述夹头上安装有机械爪；

所述机械爪由若干连接件组成，所述机械爪上安装有若干感应器。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述齿条与所述齿轮相配合。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述控制芯片分别与所述机械爪和所述感应器相连接。

本实用新型的有益效果是：本实用新型一种多晶硅片用吸盘夹具，该夹具能够与多晶硅片侧面贴合，使得多晶硅片在加工的过程中更加的稳定。

附图说明

图1是本实用新型一种多晶硅片用吸盘夹具的主视图。

图2是本实用新型一种多晶硅片用吸盘夹具的仰视图。

附图中各部件的标记如下：1、支架；2、抽气管；3、吸盘；4、圆孔；5、齿条；6、电机；7、齿轮；8、夹头；9、机械爪；10、连接件；11、感应器；12、控制芯片。

具体实施方式

请参阅图1和图2，本实用新型实施例包括：一种多晶硅片用吸盘夹具，包括：支架1、抽气管2和吸盘3，所述抽气管2安装在所述支架1上；

所述支架1顶端设有圆孔4，所述抽气管2贯穿所述圆孔4，所述圆孔4用于所述抽气管2的通过。

所述抽气管2外壁设有齿条5，所述圆孔4上端安装有电机6，所述电机6上安装有齿轮7，所述齿条5与所述齿轮7相配合，使得所述抽气管2可以上下的移动，从而将被所述吸盘3吸住的多晶硅片提起。

所述吸盘3与所述抽气管2相连接，所述吸盘3安装在所述抽气管2底端，所述抽气管2通过对所述吸盘3和多晶硅片上表面形成的空间内抽气，从而将多晶硅片吸起。

所述支架1上两对称的垂直面上安装有夹头8，所述夹头8用于对多晶硅片的侧面进行夹紧。

所述夹头8上安装有机械爪9，所述机械爪9由若干连接件10组成，所述连接件10使得所述机械爪9可以完全贴合多晶硅片的侧面。

所述机械爪9上安装有若干感应器11，所述支架1内安装有控制芯片12，所述控制芯片12分别与所述机械爪9和所述感应器11相连接，所述感应器11用于感应所述连接件10与多晶硅片侧面的压强，避免由于压力过大对多晶硅片造成损坏。

所述控制芯片12根据所述感应器11传来的压强数据来控制所述机械爪9进行夹紧度的控制。

与现有技术相比，本实用新型一种多晶硅片用吸盘夹具，该夹具能够与多晶硅片侧面贴合，使得多晶硅片在加工的过程中更加的稳定。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。