技术总结
本发明公开了一种抽真空破真空方法，通过在真空容器两端设置活动的第一挡板和第二挡板，在真空容器内设置活动的第三挡板，使第三挡板位于第一挡板和第二挡板之间，同时第一挡板、第二挡板、第三挡板均具有打开状态和关闭状态，当第一挡板、第二挡板、第三挡板均处于关闭状态时，第一挡板和第三挡板之间形成第一腔室，第二挡板和第三挡板之间形成第二腔室，通过第三挡板与第二挡板相配合，分隔出独立的体积小的第二腔室，在第二腔室中进行抽真空破真空操作，极大的减少了抽真空破真空所需耗费的时间，提高了生产效率。
技术研发人员：朱杰
受保护的技术使用者：张家港市铭斯特光电科技有限公司
文档号码：201710281725
技术研发日：2017.04.26
技术公布日：2017.10.10