一种光罩搬运装置的制作方法

文档序号:11189608
一种光罩搬运装置的制造方法

本实用新型涉及一种搬运装置,特别是涉及一种用于搬运光罩的装置。



背景技术:

光罩业内又称光掩模版、掩膜版(英文名称MASK或PHOTOMASK),在制作IC或液晶面板生产领域中,阵列工序中的光刻工艺的曝光过程需要采用光罩对基板进行曝光,光罩一般存放在存储盒中,使用时,需要将光罩从存储盒中取出放置在掩膜板工作台,才能进行后续的曝光过程。光罩的搬运等作业中,由于光罩尺寸多样且清洁度要求高,作业人员需带上手套在无尘室中进行搬运作业。但是作业人员在用手搬运光罩时,一方面,手套内汗水导致手滑等现象使裸露的光罩本体造成磕碰损坏;另一方面,人员用手接触光罩时,造成光罩本体静电击伤,光罩造成破坏,提升不良率。

有鉴于此,有必要提供一种满足多尺寸光罩搬运的机械装置,解决上述问题。



技术实现要素:

因此,本实用新型旨在于提出一种可以满足不同尺寸光罩搬运要求的光罩搬运装置。

为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:

一种光罩搬运装置,其特征在于,包括固定支架、滑轨装置、至少2个锁紧装置,所述固定支架、滑轨装置固定连接于所述至少2个锁紧装置之间,所述固定支架和所述滑轨装置呈平行。

优选地,所述滑轨装置包括滑轨支架、第一拉紧锁止装置、第二拉紧锁止装置、第一锁紧抓钩、第二锁紧抓钩,所述滑轨支架为两端可伸缩的套式滑轨结构,所述第一拉紧锁止装置和所述第二拉紧锁止装置设置在所述滑轨支架的套式滑轨上,所述滑轨支架两末端为所述第一锁紧抓钩和第二锁紧抓钩。

优选地,所述锁紧装置包括锁紧支架、第三拉紧锁止装置、第三锁紧抓钩、第四锁紧抓钩、把手,所述锁紧支架靠近第四锁紧抓钩的一端为可伸缩的套式滑轨结构,所述第三拉紧锁止装置设置在所述锁紧支架一端的套式滑轨上,所述锁紧支架两端设置有所述第三锁紧抓钩和所述第四锁紧抓钩,所述把手设置在所述锁紧支架的两末端。

优选地,所述锁紧支架中间为折叶结构。

优选地,所述锁紧装置还包括金属架、弹簧,所述弹簧一端固定于所述折叶结构上方的所述金属架上,所述弹簧另一端固定于所述折叶结构下方的所述锁紧支架上。

优选地,所述把手外部设有橡胶圈。

优选地,所述第一锁紧抓钩、第二锁紧抓钩固定光罩的内侧设有橡胶垫。

优选地,所述第三锁紧抓钩、第四锁紧抓钩固定光罩的内侧设有橡胶垫。

优选地,所述橡胶垫上设有凹槽。

附图说明

图1是本实用新型优选实施例提供的光罩搬运装置的俯视图;

图2是本实用新型优选实施例提供的光罩搬运装置的滑轨装置;

图3是本实用新型优选实施例提供的光罩搬运装置的锁紧装置;

图4是本实用新型优选实施例提供的光罩搬运装置的侧视图下的折叶打开状态图;

图5是本实用新型优选实施例提供的光罩搬运装置的侧视图下的折叶闭合状态图。

1.固定支架、2.滑轨装置、20.滑轨支架、21.第一拉紧锁止装置、22.第二拉紧锁止装置、23.第一锁紧抓钩、24.第二锁紧抓钩、3.锁紧装置、30.锁紧支架 31.第三拉紧锁止装置、33.第三锁紧抓钩、34.第四锁紧抓钩、35.金属架、36.弹簧、37.把手、4.橡胶垫、5.凹槽、100.光罩搬运装置、200.光罩

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

为了清楚起见,附图中的各个部分没有按比例绘制。此外,在图中可能未示出某些公知的部分。

优选实施例:

本优选实施例公开一种光罩搬运装置100。如图1所示,该光罩搬运装置100,包括固定支架1、滑轨装置2、至少2个锁紧装置3,固定支架1、滑轨装置2固定连接于2个锁紧装置3之间,固定支架1和滑轨装置2呈平行。

如图2所示,滑轨装置2包括滑轨支架20、第一拉紧锁止装置21、第二拉紧锁止装置22、第一锁紧抓钩23、第二锁紧抓钩24;滑轨支架20为两端可伸缩的套式滑轨结构,在整个搬运装置100中起左右伸缩的作用;第一拉紧锁止装置21和第二拉紧锁止装置22设置在所述滑轨支架20的套式滑轨结构上,用于拉紧固定套式滑轨结构;滑轨支架20两末端为所述第一锁紧抓钩23和第二锁紧抓钩24。

如图3所示,锁紧装置3包括锁紧支架30、第三拉紧锁止装置31、第三锁紧抓钩33、第四锁紧抓钩34、把手37;锁紧支架30靠近第四锁紧抓钩34一端为可伸缩的套式滑轨结构,在整个搬运装置100中起上下伸缩的作用,锁紧支架30中间为折叶结构可打开闭合;第三拉紧锁止装置31设置在锁紧支架30一端的套式滑轨结构上,用于拉紧固定套式滑轨结构;锁紧支架30两端设置有第三锁紧抓钩33和第四锁紧抓钩34,锁紧抓钩用于放置光罩200,锁紧抓钩内设置有橡胶垫4,橡胶垫4上设有凹槽5,光罩200放置在凹槽5中,橡胶起缓冲作用,更好的保护光罩200边缘不破损;把手37设置在锁紧支架30的两末端,把手37上设置有橡胶圈,可提高手握时的摩擦力,使搬运人员不容易手滑;另外,橡胶圈也增加搬运时手握的舒适度,提高工作效率;为进一步提升搬运时的舒适度,把手还可以呈L形;锁紧装置3还包括金属架35、弹簧36,弹簧36一端固定于折叶结构上方的金属架35上,另一端固定于折叶结构下方的锁紧支架30上,用于拉紧固定折叶结构。

如图1所示,固定支架1的两末端固定于2个锁紧装置3之间,固定支架1的末端具体位于靠近第三拉紧锁止装置31的锁紧支架30上;滑轨装置2的两端设置在2个锁紧装置3折叶结构上方的锁紧支架上30;固定支架1平行于滑轨装置2,固定支架1和滑轨装置2垂直与锁紧装置3。

如图4所示,在搬运光罩200过程中,首先打开锁紧装置3中的折叶结构,将光罩200的上端固定放置在锁紧装置3的第三锁紧抓钩33的橡胶凹槽5中;其次,拉动滑轨装置2上的套式滑轨结构进行左右伸缩,使光罩200的左右侧端放置于滑轨装置2的第一锁紧抓钩23和第二锁紧抓钩24内的橡胶凹槽5中,拉动滑轨装置2上的第一拉紧锁止装置21和第二拉紧锁止装置22固定滑轨支架20上的套式滑轨结构;然后如图5所示,提起光罩200,闭合锁紧装置3中的折叶结构,调节锁紧装置3的套式滑轨结构进行上下伸缩,使光罩200的下端放置于第四锁紧抓钩34内的橡胶凹槽5中,拉动锁紧装置3上的第三拉紧锁止装置31固定;最后平坦放置该光罩200搬运装置,使光罩200朝下,至少两名作业人员握紧两个锁紧装置3两端的把手37,以此来达到搬运光罩200的目的。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要。

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