一种光罩搬运装置的制作方法

文档序号:11189608阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光罩搬运装置,其特征在于,包括固定支架、滑轨装置、至少2个锁紧装置,所述固定支架、滑轨装置固定连接于所述至少2个锁紧装置之间,所述固定支架和所述滑轨装置呈平行。

2.根据权利要求书1所述的光罩搬运装置,其特征在于,所述滑轨装置包括滑轨支架、第一拉紧锁止装置、第二拉紧锁止装置、第一锁紧抓钩、第二锁紧抓钩,所述滑轨支架为两端可伸缩的套式滑轨结构,所述第一拉紧锁止装置和所述第二拉紧锁止装置设置在所述滑轨支架的套式滑轨上,所述滑轨支架两末端为所述第一锁紧抓钩和第二锁紧抓钩。

3.根据权利要求1所述的光罩搬运装置,其特征在于,所述锁紧装置包括锁紧支架、第三拉紧锁止装置、第三锁紧抓钩、第四锁紧抓钩、把手,所述锁紧支架靠近第四锁紧抓钩的一端为可伸缩的套式滑轨结构,所述第三拉紧锁止装置设置在所述锁紧支架一端的套式滑轨上,所述锁紧支架两端设置有所述第三锁紧抓钩和所述第四锁紧抓钩,所述把手设置在所述锁紧支架的两末端。

4.根据权利要求3所述的光罩搬运装置,其特征在于,所述锁紧支架中间为折叶结构。

5.根据权利要求4所述的光罩搬运装置,其特征在于,所述锁紧装置还包括金属架、弹簧,所述弹簧一端固定于所述折叶结构上方的所述金属架上,所述弹簧另一端固定于所述折叶结构下方的所述锁紧支架上。

6.根据权利要求书3所述的光罩搬运装置,其特征在于,所述把手外部设有橡胶圈。

7.根据权利要求2所述的光罩搬运装置,其特征在于,所述第一锁紧抓钩、第二锁紧抓钩固定光罩的内侧设有橡胶垫。

8.根据权利要求3所述的光罩搬运装置,其特征在于,所述第三锁紧抓钩、第四锁紧抓钩固定光罩的内侧设有橡胶垫。

9.根据权利要求书7或8所述的光罩搬运装置,其特征在于,所述橡胶垫上设有凹槽。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1