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一种光罩搬运装置的制作方法
文档序号:11189608
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来源:国知局
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一种光罩搬运装置的制造方法
技术总结
本实用新型公开了一种光罩搬运装置,其包括固定支架、滑轨装置、至少2个锁紧装置,所述固定支架、滑轨装置固定连接于所述至少2个锁紧装置之间,所述固定支架和所述滑轨装置呈平行。该光罩搬运装置,一方面解决了人工搬运光罩的问题,另一方面解决了不同尺寸光罩的搬运问题,提高了生产效率,降低了生产成本。
技术研发人员:
孙磊
受保护的技术使用者:
昆山龙腾光电有限公司
文档号码:
201720008181
技术研发日:
2017.01.05
技术公布日:
2017.09.29
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