一种光罩搬运装置的制作方法

文档序号:11189608阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种光罩搬运装置,其包括固定支架、滑轨装置、至少2个锁紧装置,所述固定支架、滑轨装置固定连接于所述至少2个锁紧装置之间,所述固定支架和所述滑轨装置呈平行。该光罩搬运装置,一方面解决了人工搬运光罩的问题,另一方面解决了不同尺寸光罩的搬运问题,提高了生产效率,降低了生产成本。

技术研发人员:孙磊
受保护的技术使用者:昆山龙腾光电有限公司
文档号码:201720008181
技术研发日:2017.01.05
技术公布日:2017.09.29

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