一种磨片机下料全自动水道运输线的制作方法

1.本实用新型涉及磨片机下料运输技术领域，具体为一种磨片机下料全自动水道运输线。


背景技术：

2.半导体行业中，各工艺机台性能各异，要求上载晶圆分为干燥状态(后称为干法)，或湿润浸湿状态(后称为湿法)上载。下载端口同理。同时也会要求上载晶圆片载具类型，如oc片盒，foup盒，fosb盒，单张晶圆片等等。并且随着科技发展与进步，需求量越来越大，产能也越来越高，所需人工也相应的增大。为了减少人工，提高设备效率，工厂自动化生产便成了现在生产车间主流。
3.磨片车间上载需要将单张晶圆片装贴在u型盘槽位处(机台专用工装)，下载时，需使用吸盘将其取出，放入片篮内，并进行浸泡。后将由操作员运输至下一工序中。因磨盘重量在1t多，需要1.5t叉车进行拆卸更换，现有的自动化运输线承重能力有限，为此我们提出一种磨片机下料全自动水道运输线用于解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种磨片机下料全自动水道运输线，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种磨片机下料全自动水道运输线，包括固定底架，所述固定底架的顶部固定安装若干传送辊，所述传送辊顶部分别设有交换桁架和搬运桁架，所述交换桁架和搬运桁架上的一侧分别滑动安装有固定框，所述固定框内滑动卡接有升降装置，所述升降装置的底部活动安装有气缸，所述气缸的两侧端部固定安装有夹取臂，所述夹取臂之间活动卡接有装载水箱，所述装载水箱的底部摩擦安装在下载平台上，所述装载水箱内活动安装有装载片盒。
6.优选的，所述传送辊在固定底架的顶部并列设有两排并且每个传送辊的轴心重合。
7.优选的，所述固定底架的一侧设有叉车，所述叉车为1.5t负载，叉车尺寸：车体长度2140-2670mm，车体宽度1080-1230mm，起升高度3000mm，转弯半径1965-2335mm。
8.优选的，所述夹取臂设有两个并且两个夹取臂相对的一侧的底部固定安装有梯型槽钩，所述梯型槽钩的开口方向靠近升降装置。
9.优选的，所述装载水箱两侧的顶部固定安装有梯形卡边，所示梯形卡边的底部设有梯形凹槽并且梯形凹槽的竖截面面积大于等于梯型槽钩的竖截面面积。
10.优选的，所述装载片盒内固定设有若干u型翅片。
11.优选的，所述交换桁架和搬运桁架均为匚字形结构并且最低高度需高于3米。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型解决磨片工序物料传输搬运问题，实现工序自动化管理，提高工厂自动化管理程度；一方面实现自动化运输，另一
方面解决磨片机磨盘更换工作时的影响；通过夹取臂装夹装载水箱，通过桁架运输到传送辊上进行运输，运输过程不影响磨盘的正常工作，磨片机下载端为片篮湿法下载，运输过程中装载片盒始终处于水箱浸泡状态，可以使工序正常的进行。
附图说明
13.图1为本实用新型结构示意图；
14.图2为本实用新型中交换桁架和搬运桁架结构示意图；
15.图3为本实用新型图1中a处结构放大结构示意图。
16.图中：固定底架1、传送辊2、交换桁架3、叉车4、搬运桁架5、升降装置6、气缸7、夹取臂8、梯型槽钩81、固定框9、装载水箱10、梯形卡边101、把手102、下载平台11、装载片盒12。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种磨片机下料全自动水道运输线，包括固定底架1，固定底架1的顶部固定安装若干传送辊2，传送辊2顶部分别设有交换桁架3和搬运桁架5，交换桁架3和搬运桁架5上的一侧分别滑动安装有固定框9，固定框9内滑动卡接有升降装置6，升降装置6的底部活动安装有气缸7，气缸7的两侧端部固定安装有夹取臂8，夹取臂8之间活动卡接有装载水箱10，装载水箱10的底部摩擦安装在下载平台11上，装载水箱10内活动安装有装载片盒12。
19.如图1所示，传送辊2在固定底架1的顶部并列设有两排并且每个传送辊2的轴心重合。固定底架1的一侧设有叉车4，叉车4为1.5t负载，叉车4尺寸：车体长度2140-2670mm，车体宽度1080-1230mm，起升高度3000mm，转弯半径1965-2335mm。
20.如图3所示，夹取臂8设有两个并且两个夹取臂8相对的一侧的底部固定安装有梯型槽钩81，梯型槽钩81的开口方向靠近升降装置6。
21.如图3所示，装载水箱10两侧的顶部固定安装有梯形卡边101，所示梯形卡边101的底部设有梯形凹槽并且梯形凹槽的竖截面面积大于等于梯型槽钩81的竖截面面积。装载片盒12内固定设有若干u型翅片。
22.如图2所示，交换桁架3和搬运桁架5均为匚字形结构并且最低高度需高于3米。
23.工作原理：本实用新型预先在磨片机下载端口设置下料平台11，下料平台11共有两个工位并且上面放置专用装载水箱10，在装载水箱10内放入装载片盒12，保证装载片盒12始终处于水箱浸泡状态，在下料平台11上方设有物料搬运桁架5，通过下料平台11上的控制装置使夹取臂8把装载水箱10通过搬运桁架5运输到传送辊2上，预先设置运输终点为清洗机台的上料端口，因需采用湿法运输，传送辊2和搬运桁架5均设有双线，一条线为运输满载水箱，一条用于运输空载水箱，预先在清洗机处设有交换桁架3，调整满载与空载装载水箱10的运输线。满载水箱运输至规定位置后，会将其高度降低，等到与洗机旁机器人交接完成后，通过交换桁架3，将空载的装载水箱10移动运输滚筒线处进行回流运输。
24.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种磨片机下料全自动水道运输线，包括固定底架(1)，其特征在于：所述固定底架(1)的顶部固定安装若干传送辊(2)，所述传送辊(2)顶部分别设有交换桁架(3)和搬运桁架(5)，所述交换桁架(3)和搬运桁架(5)上的一侧分别滑动安装有固定框(9)，所述固定框(9)内滑动卡接有升降装置(6)，所述升降装置(6)的底部活动安装有气缸(7)，所述气缸(7)的两侧端部固定安装有夹取臂(8)，所述夹取臂(8)之间活动卡接有装载水箱(10)，所述装载水箱(10)的底部摩擦安装在下载平台(11)上，所述装载水箱(10)内活动安装有装载片盒(12)。2.根据权利要求1所述的一种磨片机下料全自动水道运输线，其特征在于：所述传送辊(2)在固定底架(1)的顶部并列设有两排并且每个传送辊(2)的轴心重合。3.根据权利要求1所述的一种磨片机下料全自动水道运输线，其特征在于：所述固定底架(1)的一侧设有叉车(4)，所述叉车(4)为1.5t负载，叉车(4)尺寸：车体长度2140-2670mm，车体宽度1080-1230mm，起升高度3000mm，转弯半径1965-2335mm。4.根据权利要求1所述的一种磨片机下料全自动水道运输线，其特征在于：所述夹取臂(8)设有两个并且两个夹取臂(8)相对的一侧的底部固定安装有梯型槽钩(81)，所述梯型槽钩(81)的开口方向靠近升降装置(6)。5.根据权利要求4所述的一种磨片机下料全自动水道运输线，其特征在于：所述装载水箱(10)两侧的顶部固定安装有梯形卡边(101)，所示梯形卡边(101)的底部设有梯形凹槽并且梯形凹槽的竖截面面积大于等于梯型槽钩(81)的竖截面面积。6.根据权利要求1所述的一种磨片机下料全自动水道运输线，其特征在于：所述装载片盒(12)内固定设有若干u型翅片。7.根据权利要求1所述的一种磨片机下料全自动水道运输线，其特征在于：所述交换桁架(3)和搬运桁架(5)均为匚字形结构并且最低高度需高于3米。

技术总结
本实用新型公开了一种磨片机下料全自动水道运输线，包括固定底架，固定底架的顶部固定安装若干传送辊，传送辊顶部分别设有交换桁架和搬运桁架，交换桁架和搬运桁架上的一侧分别滑动安装有固定框，固定框内滑动卡接有升降装置，升降装置的底部活动安装有气缸，气缸的两侧端部固定安装有夹取臂，夹取臂之间活动卡接有装载水箱，装载水箱的底部摩擦安装在下载平台上，装载水箱内活动安装有装载片盒，本实用新型解决磨片工序物料传输搬运问题，实现工序自动化管理，提高工厂自动化管理程度；一方面实现自动化运输，另一方面解决磨片机磨盘更换工作时的影响；通过夹取臂装夹装载水箱，通过桁架运输到传送辊上进行运输。过桁架运输到传送辊上进行运输。过桁架运输到传送辊上进行运输。


技术研发人员：李健乐 张丰 张淳 齐风 李伦 孙晨光 王彦君 陈健华
受保护的技术使用者：中环领先半导体材料有限公司
技术研发日：2021.09.14
技术公布日：2022/2/22