一种晶圆物料传输及存储装置的制作方法

1.本实用新型涉及存储装置技术领域，尤其涉及一种晶圆物料传输及存储装置。


背景技术：

2.目前，集成电路广泛应用于电子产品中，如计算机、工业控制设备和消费电子产品等。随着电子产品的快速发展，ic设计、集成电路制造等技术也快速发展。集成电路中的各种器件大多是在晶圆上加工制作而成。
3.大多数晶圆在进行存储传输时采用晶圆存储框架承载的方式，采用晶圆存储框架承载的晶圆大多处于裸露的状态，若厂房的洁净度不高，晶圆在传输过程中极易受到污染。然而，厂房的洁净度不易控制，并且集成电路的质量要求越来越高，产房的洁净度要求也越来越高，产房较高的洁净度要求使生产成本显著提高；所以，需要设计一种晶圆物料传输及存储装置来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆物料传输及存储装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种晶圆物料传输及存储装置，包括储存箱，所述储存箱的一侧内面之间固定连接有隔板，所述隔板的一侧侧面的顶部固定安装有伺服电机，所述隔板的另一侧侧面和储存箱的内面之间的下部固定连接有导向杆，所述伺服电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆远离伺服电机的一端转动连接在储存箱的内面上，所述螺纹杆的两端外缘上均螺纹套接有移动板的一端，两个所述移动板的另一端均滑动套接在导向杆的外缘上，所述储存箱的内面位于两个移动板之间的中心位置上固定连接有支撑架，所述支撑架的侧面固定连接有圆形拖板，两个所述移动板相对的侧面上均固定连接有两个弹簧伸缩杆，两个所述弹簧伸缩杆的伸缩端共同固定连接有夹持板，所述隔板的一侧侧面下部设置有净化机构。
7.优选地，所述净化机构包括净化器，所述净化器安装在隔板的一侧侧面上，所述储存箱的内底面上开设有净化口，所述储存箱的侧面贯通开设有透气孔。
8.优选地，所述净化口和透气孔均通过导管和净化器相联通，所述螺纹杆两端的螺纹方向相反。
9.优选地，所述储存箱的侧面转动安装有储存箱门，所述储存箱的顶面固定安装有控制面板。
10.优选地，两个所述移动板的侧面均和储存箱的内面相贴合。
11.优选地，所述夹持板和圆形拖板位于相同的水平位置。
12.本实用新型具有以下有益效果：
13.1、通过设置伺服电机、螺纹杆、导向杆、移动板、夹持板、圆形拖板，圆形拖板能够从晶圆的底面中心位置对其进行承托，并且两个夹持板能够在伺服电机的作用下对晶圆的
两侧外缘进行固定，保证了晶圆在传输和存储的过程中不会发生晃动，对晶圆起到了保护的作用，两个夹持板能够通过伺服电机调节两者之间的距离，使得储存箱能够存储多种尺寸的晶圆，增加了储存箱的实用性；
14.2、通过设置净化器、净化口、透气孔，净化器在储存箱门打开后始终处于开启的状态，保证了储存箱内部空气的清洁度，使得晶圆在储存箱的内部不会受到污染，晶圆的清洁度得到了保障，晶圆能够达到使用的清洁度提高了晶圆传输和存储的效率。
附图说明
15.图1为本实用新型提出的一种晶圆物料传输及存储装置的主体结构示意图；
16.图2为本实用新型提出的一种晶圆物料传输及存储装置的主体剖视结构示意图；
17.图3为本实用新型提出的一种晶圆物料传输及存储装置的夹持机构结构示意图；
18.图中：1储存箱、2隔板、3伺服电机、4螺纹杆、5导向杆、6移动板、7支撑架、8圆形拖板、9弹簧伸缩杆、10夹持板、11净化器、12净化口、13透气孔、14储存箱门、15控制面板。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
20.参照图1-3，一种晶圆物料传输及存储装置，包括储存箱1，储存箱1的一侧内面之间固定连接有隔板2，隔板2的一侧侧面的顶部固定安装有伺服电机3，隔板2的另一侧侧面和储存箱1的内面之间的下部固定连接有导向杆5，伺服电机3的输出端固定连接有螺纹杆4，螺纹杆4远离伺服电机3的一端转动连接在储存箱1的内面上，螺纹杆4的两端外缘上均螺纹套接有移动板6的一端，两个移动板6的另一端均滑动套接在导向杆5的外缘上，储存箱1的内面位于两个移动板6之间的中心位置上固定连接有支撑架7，支撑架7的侧面固定连接有圆形拖板8，两个移动板6相对的侧面上均固定连接有两个弹簧伸缩杆9，两个弹簧伸缩杆9的伸缩端共同固定连接有夹持板10，隔板2的一侧侧面下部设置有净化机构。
21.参照图2，净化机构包括净化器11，净化器11安装在隔板2的一侧侧面上，储存箱1的内底面上开设有净化口12，储存箱1的侧面贯通开设有透气孔13。
22.参照图2，净化口12和透气孔13均通过导管和净化器11相联通，螺纹杆4两端的螺纹方向相反。
23.参照图1，储存箱1的侧面转动安装有储存箱门14，储存箱1的顶面固定安装有控制面板15。
24.参照图2，两个移动板6的侧面均和储存箱1的内面相贴合。
25.参照图2，夹持板10和圆形拖板8位于相同的水平位置。
26.本实用新型的具体工作原理如下：
27.使用该晶圆物料传输及存储装置时，首先工作人员根据晶圆的尺寸来对储存箱1内部的两个夹持板10之间的距离进行调节，将晶圆的尺寸通过控制面板15进行输入，随后控制器启动伺服电机3带动螺纹杆4转动，螺纹杆4转动后由于两个移动板6的一端滑动套接在导向杆5的外缘上，另一端螺纹套接在螺纹杆4的外缘上且螺纹杆4两端的螺纹方向方向，
因此螺纹杆4转动后能够带动两个移动板6沿导向杆5向相互靠近或远离的方向移动，因此能够调节两个夹持板10之间的距离，距离套接完成后，将晶圆放置在圆形拖板8的顶面，晶圆两侧的外缘能够被夹持板10夹持住，即可固定；
28.在晶圆放置前到完成后，净化器11始终处于打开的状态，通过净化口12对储存箱1的内部进行空气的净化，并且通过透气孔13进行换气，保证了储存箱1内部处于无尘的状态。
29.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种晶圆物料传输及存储装置，包括储存箱(1)，其特征在于，所述储存箱(1)的一侧内面之间固定连接有隔板(2)，所述隔板(2)的一侧侧面的顶部固定安装有伺服电机(3)，所述隔板(2)的另一侧侧面和储存箱(1)的内面之间的下部固定连接有导向杆(5)，所述伺服电机(3)的输出端固定连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)远离伺服电机(3)的一端转动连接在储存箱(1)的内面上，所述螺纹杆(4)的两端外缘上均螺纹套接有移动板(6)的一端，两个所述移动板(6)的另一端均滑动套接在导向杆(5)的外缘上，所述储存箱(1)的内面位于两个移动板(6)之间的中心位置上固定连接有支撑架(7)，所述支撑架(7)的侧面固定连接有圆形拖板(8)，两个所述移动板(6)相对的侧面上均固定连接有两个弹簧伸缩杆(9)，两个所述弹簧伸缩杆(9)的伸缩端共同固定连接有夹持板(10)，所述隔板(2)的一侧侧面下部设置有净化机构。2.根据权利要求1所述的一种晶圆物料传输及存储装置，其特征在于，所述净化机构包括净化器(11)，所述净化器(11)安装在隔板(2)的一侧侧面上，所述储存箱(1)的内底面上开设有净化口(12)，所述储存箱(1)的侧面贯通开设有透气孔(13)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆物料传输及存储装置，其特征在于，所述净化口(12)和透气孔(13)均通过导管和净化器(11)相联通，所述螺纹杆(4)两端的螺纹方向相反。4.根据权利要求1所述的一种晶圆物料传输及存储装置，其特征在于，所述储存箱(1)的侧面转动安装有储存箱门(14)，所述储存箱(1)的顶面固定安装有控制面板(15)。5.根据权利要求1所述的一种晶圆物料传输及存储装置，其特征在于，两个所述移动板(6)的侧面均和储存箱(1)的内面相贴合。6.根据权利要求1所述的一种晶圆物料传输及存储装置，其特征在于，所述夹持板(10)和圆形拖板(8)位于相同的水平位置。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆物料传输及存储装置，包括储存箱，所述储存箱的一侧内面之间固定连接有隔板；本实用新型能够圆形拖板能够从晶圆的底面中心位置对其进行承托，并且两个夹持板能够在伺服电机的作用下对晶圆的两侧外缘进行固定，保证了晶圆在传输和存储的过程中不会发生晃动，对晶圆起到了保护的作用，两个夹持板能够通过伺服电机调节两者之间的距离，使得储存箱能够存储多种尺寸的晶圆，增加了储存箱的实用性，净化器在储存箱门打开后始终处于开启的状态，保证了储存箱内部空气的清洁度，使得晶圆在储存箱的内部不会受到污染，晶圆的清洁度得到了保障，晶圆能够达到使用的清洁度提高了晶圆传输和存储的效率。用的清洁度提高了晶圆传输和存储的效率。用的清洁度提高了晶圆传输和存储的效率。


技术研发人员：刘欣欣
受保护的技术使用者：西联机械技术（无锡）有限公司
技术研发日：2022.01.21
技术公布日：2022/8/18