硅片工装花篮输送系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种硅片插片装置，特别是涉及一种硅片工装花篮输送系统。
【背景技术】
[0002]随着自动化的推进，对硅片进行插片时，对要盛装硅片的空工装花篮多是采用输送带对其进行输送，相邻的工装花篮会发生碰撞甚至重叠卡死，严重时需要停机进行处理，就极大制约了插片的速度。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种硅片工装花篮输送系统，其在工装花篮的输送路径上设置一个跷杆，使得当前工装花篮处于预被取走的目标区域时，跷杆的第二杆能够跷起并抵在后一工装花篮上，防止二者相撞或卡死，保证稳定输送工装花篮，促进插片速度的提高。
[0004]为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案:
一种硅片工装花篮输送系统，包括供工装花篮移动的轨道、沿长度方向设置在所述的轨道内的两条同步移动的输送带，两条所述的输送带相平行，所述的工装花篮的下表面设置有两条支撑筋，两条所述的支撑筋分别落在对应的所述的输送带上，两条所述的输送带之间设置有一支撑板，所述的支撑板上通过横向轴铰接设置有一个跷杆，所述的横向轴的长度方向垂直于所述的工装花篮的移动方向，所述的跷杆包括固定连接的第一杆和第二杆，所述的第一杆与所述的第二杆之间的夹角为钝角，所述的跷杆通过所述的第一杆与所述的第二杆的连接处自由转动地安装在所述的横向轴上，所述的第一杆指向前方，所述的第二杆指向后方，所述的第一杆所受重力相对于所述的横向轴的力矩的绝对值小于所述的第二杆所受重力相对于所述的横向轴的力矩的绝对值，所述的跷杆至少具有第一位置和第二位置，当所述的跷杆处于第一位置时，所述的第二杆跷起；当所述的跷杆处于第二位置时，所述的第二杆沉下；所述的轨道上具有目标区域和等待区域，当前工装花篮位于目标区域、后一工装花篮处于等待区域时，所述的跷杆处于第一位置，所述的第一杆抵在当前工装花篮的下表面，所述的第二杆跷起且后端部抵在后一工装花篮的侧壁上；当前工装花篮脱离目标区域时，所述的跷杆与后一工装花篮相脱离且所述的跷杆处于第二位置。
[0005]优选地，所述的支撑板上开设有一个凹槽，所述的跷杆设置在所述的凹槽中，当所述的跷杆处于第二位置时，所述的第二杆沉下至所述的凹槽中。
[0006]优选地，所述的凹槽内设置有两块带轴孔的侧立板，所述的跷杆通过所述的横向轴自由转动地铰接在两块所述的侧立板之间。
[0007]优选地，当所述的跷杆处于第一位置时，所述的第二杆的后端部的端面为竖直面，所述的第二杆的后端部以该竖直面抵紧在后一工装花篮的侧壁上。
[0008]本发明的有益效果在于:通过两条输送带以工装花篮下表面的两条支撑筋进行输送，在输送路径上目标区域与等待区域之间设置一个跷杆，有工装花篮位于目标区域时，跷杆的第一杆抵在当前工装花篮的下表面而使得第二杆跷起，从而限制后一工装花篮继续前进，即将当前工装花篮与后一工装花篮隔离开，避免碰撞或卡死，而在当前工装花篮被取走后，输送带反向移动一段距离，使第二杆与后一工装花篮相脱离，此时，第二杆所受重力的力矩使其下沉，继续正向移动输送带，后一工装花篮移至目标区域，依次循环，逐一输送工装花篮，结构简单、成本低，且能够解决相邻工装花篮相撞或卡死的现象，有效提高硅片插片的速度。
【附图说明】
[0009]附图1为本实施例的娃片工装花篮输送系统的结构不意图一；
附图2为本实施例的硅片工装花篮输送系统的结构示意图二；
附图3为附图1中A处放大示意图。
[0010]附图中:11、轨道；12、输送带；13、支撑板；14、跷杆；15、第一杆；16、第二杆；17、横向轴；18、凹槽；19、侧立板；工装花篮。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图所示的实施例对本发明作以下详细描述:
本说明书中的前、后方向为工装花篮沿输送带移动的前进、后退方向，即附图1和附图2中的向右为前方、向左为后方。
[0012]如附图1、附图2及附图3所示，一种硅片工装花篮输送系统，包括供工装花篮20移动的轨道11、沿长度方向设置在轨道11内的两条同步移动的输送带12，两条输送带12相平行，工装花篮20的下表面设置有两条支撑筋，两条支撑筋分别落在对应的输送带12上，工装花篮20的两侧沿轨道11移动，两条输送带12之间设置有一支撑板13，支撑板13上通过横向轴17铰接设置有一个跷杆14，横向轴17的长度方向垂直于工装花篮20的移动方向，跷杆14包括固定连接的第一杆15和第二杆16，第一杆15与第二杆16之间的夹角为钝角，跷杆14通过第一杆15与第二杆16的连接处自由转动地安装在横向轴17上，第一杆15指向前方，第二杆16指向后方，第一杆15所受重力相对于横向轴17的力矩的绝对值小于第二杆16所受重力相对于横向轴17的力矩的绝对值，跷杆14至少具有第一位置和第二位置，当跷杆14处于第一位置时，第二杆16跷起；当跷杆14处于第二位置时，第二杆16沉下；轨道11上具有目标区域和等待区域，当前工装花篮20位于目标区域、后一工装花篮20处于等待区域时，跷杆14处于第一位置，第一杆15抵在当前工装花篮20的下表面，第二杆16跷起且后端部抵在后一工装花篮20的侧壁上；当前工装花篮20脱离目标区域时，跷杆14与后一工装花篮20相脱离且跷杆14处于第二位置。
[0013]更进一步地，支撑板13上开设有一个凹槽18，跷杆14设置在凹槽18中，当跷杆14处于第二位置时，第二杆16沉下至凹槽18中，这就要求凹槽18的深度大于等于第二杆16在竖直方向上的厚度，即处于第二位置的第二杆16不能突出于支撑板13的上表面，避免影响工装花篮20的移动，凹槽18内设置有两块带轴孔的侧立板19，跷杆14通过横向轴17自由转动地铰接在两块侧立板19之间，当跷杆14处于第一位置时，第二杆16的后端部的端面为竖直面，第二杆16的后端部以该竖直面抵紧在后一工装花篮20的侧壁上。
[0014]工作过程中:非工作状态下，跷杆14处于第二位置，即第二杆16下沉在凹槽18中，系统开启后，当前工装花篮20随输送带12移动，在通过跷杆14所在位置并逐渐进入目标区域时，当前工装花篮20的重力作用将跷杆14的第一杆15下压，而使得第二杆16的后端跷起，即跷杆14处于第一位置，阻挡在后一工装花篮20的移动路径上并将后一工装花篮20限位在该位置，即第二杆16的后端抵在后一工装花篮20的侧壁上，后一工装花篮20位于等待区域，此时当前工装花篮20与后一工装花篮20之间具有一端距离，在当前工装花篮20被取走后，控制输送带12反向移动一段距离，使得跷杆14的第二杆16的端部与后一工装花篮20相脱离，并转换至第二位置，此时，再控制输送带12正向移动，后一工装花篮20随输送带12继续移动而重复上述的当前工装花篮20的路径和状态，依此，逐一输送工装花篮20。
[0015]上述的目标区域为工装花篮20能够被后面工序取走的位置区域，而等待区域为即将进入目标区域的后一工装花篮20所在的位置区域。
[0016]本设计在工装花篮20的移动路径上设置一个跷杆14，结构简单、成本低，动作稳定、可靠，能够有效避免相邻工装花篮20的碰撞和卡死、对工装花篮20的磨损，进而能够大大提闻插片的速度。
[0017]上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种硅片工装花篮输送系统，其特征在于:包括供工装花篮移动的轨道、沿长度方向设置在所述的轨道内的两条同步移动的输送带，两条所述的输送带相平行，所述的工装花篮的下表面设置有两条支撑筋，两条所述的支撑筋分别落在对应的所述的输送带上，两条所述的输送带之间设置有一支撑板，所述的支撑板上通过横向轴铰接设置有一个跷杆，所述的横向轴的长度方向垂直于所述的工装花篮的移动方向，所述的跷杆包括固定连接的第一杆和第二杆，所述的第一杆与所述的第二杆之间的夹角为钝角，所述的跷杆通过所述的第一杆与所述的第二杆的连接处自由转动地安装在所述的横向轴上，所述的第一杆指向前方，所述的第二杆指向后方，所述的第一杆所受重力相对于所述的横向轴的力矩的绝对值小于所述的第二杆所受重力相对于所述的横向轴的力矩的绝对值，所述的跷杆至少具有第一位置和第二位置，当所述的跷杆处于第一位置时，所述的第二杆跷起；当所述的跷杆处于第二位置时，所述的第二杆沉下；所述的轨道上具有目标区域和等待区域，当前工装花篮位于目标区域、后一工装花篮处于等待区域时，所述的跷杆处于第一位置，所述的第一杆抵在当前工装花篮的下表面，所述的第二杆跷起且后端部抵在后一工装花篮的侧壁上；当前工装花篮脱离目标区域时，所述的跷杆与后一工装花篮相脱离且所述的跷杆处于第二位置。
2.根据权利要求1所述的硅片工装花篮输送系统，其特征在于:所述的支撑板上开设有一个凹槽，所述的跷杆设置在所述的凹槽中，当所述的跷杆处于第二位置时，所述的第二杆沉下至所述的凹槽中。
3.根据权利要求2所述的硅片工装花篮输送系统，其特征在于:所述的凹槽内设置有两块带轴孔的侧立板，所述的跷杆通过所述的横向轴自由转动地铰接在两块所述的侧立板之间。
4.根据权利要求1所述的硅片工装花篮输送系统，其特征在于:当所述的跷杆处于第一位置时，所述的第二杆的后端部的端面为竖直面，所述的第二杆的后端部以该竖直面抵紧在后一工装花篮的侧壁上。
【专利摘要】本发明公开一种硅片工装花篮输送系统，包括供工装花篮移动的轨道、沿长度方向设置在所述的轨道内的两条同步移动的输送带，两条所述的输送带相平行，所述的工装花篮的下表面设置有两条支撑筋，两条所述的支撑筋分别落在对应的所述的输送带上，两条所述的输送带之间设置有一支撑板，所述的支撑板上通过横向轴铰接设置有一个跷杆。工装花篮位于目标区域时，跷杆的后端部跷起并抵在后一工装花篮的侧壁上，将后一工装花篮与当前工装花篮隔离开，防止二者碰撞或卡死，而当前工装花篮移走后，将后一工装花篮后退一段距离后重新前进能够顺利到达目标区域，依次循环，逐一输送工装花篮，结构简单、成本，且动作可靠，有助于插片速度的提高。
【IPC分类】B65G49-07
【公开号】CN104649010
【申请号】CN201510064642
【发明人】陈宏
【申请人】张家港市超声电气有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2015年2月9日