溅射设备及其基板承载装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种溅射设备及其基板承载装置。
【背景技术】
[0002]目前，在液晶显示器领域，基板在溅射设备上的传输基本依靠基板承载装置的立式传输，其中，如图1所示，基板承载装置包括侧向托板100、下承托座200和上夹持座300 ;下承托座200和上夹持座300分别设于侧向托板100 —面的下部和上部，侧向托板100、下承托座200和上夹持座300共同构成一个放置基板400的承载空间；上夹持座300设有多个定位卡夹500，侧向托板100沿承载空间的左右两侧设有多个定位卡夹500，用于从上端、左端和右端定位基板。
[0003]使用上述现有技术的基板承载装置传输基板400时，定位卡夹500全部打开，机械手将基板400送入承载空间，放置到下承托板200，然后定位卡夹500闭合，定位卡夹500从基板400的上端、左端和右端定位基板400，从而实现定位夹持，并在运输线上运输。但是现有技术的基板承载装置，装载基板400过程中，在机械手将基板400放置到下随手板时，基板400有一个坠落的动作，如果操作时机械手高度太高，基板400与下承托板200碰撞，发生损坏。另外，这种基板承载装置夹持的基板400在运输过程中容易晃动，有脱出定位卡夹500掉落的风险。若提高定位卡夹500的夹持力，将容易损坏基板，造成破片的问题。
【发明内容】
[0004](一 )要解决的技术问题
[0005]本发明的目的是提供一种基板承载装置，避免基板装载时坠落损坏，并进一步提高基板夹持的稳定性；本发明还提供一种溅射设备。
[0006]( 二)技术方案
[0007]为了解决上述技术问题，本发明提供一种基板承载装置，包括:侧向托板和上夹持座；所述侧向托板具有一个承托面，所述上夹持座设于承托面的上侧；所述上夹持座设有多个夹持器，用于夹持所述基板；所述承托面的左右两侧分别设有多个定位卡夹，用于从基板的左右两端定位所述基板。
[0008]其中，该基板承载装置还包括承托底座，所述承托底座设于所述承托面的下侧，且与所述上夹持座相对布置；所述承托底座设有承托单元，用于从下端向上承托所述基板。
[0009]其中，所述承托单元包括多个定位卡夹。
[0010]其中，所述承托单元包括支撑气缸和支撑板，所述支撑气缸设于承托底座，所述支撑板设于支撑气缸的活塞杆。
[0011 ] 其中，所述上夹持座和承托底座均由铝合金制成。
[0012]其中，所述夹持器包括:转动驱动器、转动臂、固定夹板和活动夹板，所述固定夹板设于所述上夹持座，所述活动夹板的上端与所述固定夹板的上端通过铰链相铰接，所述转动臂的摆动端与所述活动夹板固定连接，所述转动臂的驱动端与所述转动驱动器相连接，所述转动驱动器通过转动臂驱动所述活动夹板绕所述铰链转动，使所述活动夹板与固定夹板闭合或者打开。
[0013]其中，所述转动驱动器为气缸，所述气缸的缸筒铰接于所述上夹持座，所述气缸的活塞杆与所述转动臂的驱动端相铰接。
[0014]其中，所述转动驱动器包括伺服电机和可在所述伺服电机驱动下转动的转盘，所述转动臂的驱动端设有滑槽，所述转盘设有凸轴，所述凸轴可滑动地插设于所述滑槽。
[0015]其中，所述固定夹板和所述活动夹板闭合时相对的一面设有夹持软垫。
[0016]其中，所述夹持软垫由毛毡或者橡胶制成。
[0017]本发明还提供一种溅射设备，包括上述所述的基板承载装置。
[0018](三)有益效果
[0019]本发明提供的溅射设备及其基板承载装置，在上夹持座设置夹持器，基板在装载过程中，机械手运送基板到位后，由夹持器夹持且吊挂，基板无坠落动作，减少基板损坏的风险；同时，承托面的下侧设有承托底座，承托底座设置承托单元，使基板的六自由度均被限定，提尚基板夹持的稳定性，避免基板掉洛损坏，进一步保证基板运输的安全性。
【附图说明】
[0020]图1为现有技术的基板承载装置的正视图；
[0021]图2为本发明的基板承载装置实施例1的正视图；
[0022]图3为本发明的基板承载装置实施例1的左视图；
[0023]图4为图3中A部分放大图；
[0024]图5为本发明的基板承载装置实施例2的左视图；
[0025]图6为图5中B部分放大图；
[0026]图7为本发明的基板承载装置实施例2的正视图。
[0027]图中，100:侧向托板；200:下承托座；300:上夹持座；400:基板；500:定位卡夹；
10:侧向托板；20:承托底座；30:上夹持座；40:基板；50:定位卡夹；60:承托单元；61:支撑气缸；62:支撑板；70:夹持器；71:固定夹板；72:活动夹板；73:铰链；74:转动臂；75:气缸；76:伺服电机；77:转盘；78:凸轴；741:滑槽；712:夹持软垫。
【具体实施方式】
[0028]下面结合附图和实施例，对本发明的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
[0029]如图2至4所示，本发明提供一种基板承载装置，包括:侧向托板10和上夹持座30。侧向托板10具有一个承托面11，如图2所示，侧向托板11的前面作为承托面11，上夹持座30设于承托面11的上侧。上夹持座30设有多个夹持器70，用于夹持基板40。如图2所示，夹持器70的数量为3个，但不限于3个。承托面11的左右两侧分别设有多个定位卡夹50，用于从基板40的左右两端定位基板40。
[0030]使用时，定位卡夹50和夹持器70均打开，机械手将基板40运送到基板承载装置，夹持器70首先闭合夹持基板40，然后定位卡夹50闭合，从基板40的左右两端定位。本发明采用夹持器夹持基板40，将基板40吊挂在基板承载装置的夹持座上，基板40在装载到基板承载装置时，不需要将基板40放下，基板40无下坠的动作，避免基板40损坏。同时，承托面11左右两侧的定位卡夹50从基板40的左右两端进行定位，基板40的在运输过程