转换传送设备的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种转换传送设备，属于显示技术领域。包括：设备本体、第一阀门、第一板件、第一连杆和承载机构，设备本体设置有传送腔体、第一连杆插入孔和第一出入口，第一阀门设置在第一出入口所在位置，第一板件设置在传送腔体内将传送腔体分隔成两个密闭空间，第一连杆插入传送腔体并与第一板件固定连接，承载机构的承载面与第一板件的板面平行；第一连杆能够带动第一板件移动，通过改变待传送器件所在密闭空间中的气体的体积，使待传送器件所在密闭空间中的环境状态在真空环境状态和大气环境状态之间转换。本实用新型解决了转换传送设备的稼动率较低的问题，达到了提高转换传送设备的稼动率的效果。本实用新型用于器件传送。
【专利说明】
转换传送设备
技术领域
[0001]本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种转换传送设备。
【背景技术】
[0002]在显示基板的制造过程中，通常需要形成膜层，并采用构图工艺对该膜层进行处理以得到相应的图形。其中，构图工艺通常包括光刻胶涂覆、曝光、显影、刻蚀和光刻胶剥离，通常可以采用真空蒸镀设备形成膜层，采用真空刻蚀设备对膜层进行刻蚀，而诸如光刻胶涂覆、曝光等工艺可以在大气环境下进行。因此，在显示基板的制造过程中，通常需要采用转换传送设备在大气环境和真空环境下对基板进行传送。
[0003]请参考图1，其示出了相关技术提供的一种转换传送设备00的使用场景图，该转换传送设备00包括:设备本体001、大气隔绝阀门002、真空隔绝阀门003、承载机构004、真空栗(图1中未示出)和氮气罐(图1中未示出)，设备本体001为筒状结构，侧壁上设置有抽气孔
0011、充气孔0012和承载插入孔(图1中未示出)，设备本体001的一端设置有大气出入口(图1中未示出)，另一端设置有真空出入口(图1中未示出)，大气隔绝阀门002设置在大气出入口所在位置，真空隔绝阀门003设置在真空出入口所在位置，大气隔绝阀门002、真空隔绝阀门003和设备本体001围成传送腔体，真空栗通过抽气孔0011与该传送腔体连通，氮气罐通过充气孔0012与该传送腔体连通，大气隔绝阀门002设置有用于驱动大气隔绝阀门002开启和关闭的大气传动机构0021，真空隔绝阀门003设置有用于驱动真空隔绝阀门003开启和关闭的真空传动机构0031，承载机构004通过承载插入孔部分插入传送腔体内。通过该转换传送设备00将基板从大气环境向真空环境传送时，可以先采用氮气罐通过充气孔0012向传送腔体内充气使得传送腔体内形成大气环境状态，然后通过大气传动机构0021驱动大气隔绝阀门002打开，通过大气出入口将基板送入传送腔体后放置在承载机构004的承载面上后，通过大气传动机构0021驱动大气隔绝阀门002关闭，然后采用真空栗通过抽气孔0011对传送腔体进行抽真空使得传送腔体内形成真空环境状态，之后将转换传送设备00转移至真空环境，通过真空传动机构0031驱动真空隔绝阀门003打开，通过真空出入口从传送腔体内取出基板并送入其他腔体(比如真空蒸镀腔、真空刻蚀腔等)内。
[0004]但是，相关技术在采用氮气罐对传送腔体进行充气以及采用真空栗对传送腔体进行抽真空时，为了避免由于气体流动速度太大造成基板偏移或破损，气体流动速度通常需要小于预设速度，因此，充气过程以及抽真空过程耗费的时间较长，导致该转换传送设备的稼动率较低。
【实用新型内容】
[0005]为了解决相关技术中存在的问题，本实用新型提供一种转换传送设备。所述技术方案如下:
[0006]本实用新型提供一种转换传送设备，所述转换传送设备包括:设备本体、第一阀门、第一板件、第一连杆和承载机构，
[0007]所述设备本体设置有传送腔体、第一连杆插入孔和供待传送器件出入所述传送腔体的第一出入口，所述第一阀门设置在所述设备本体上且位于所述第一出入口所在位置，所述第一板件设置在所述传送腔体内，且所述第一板件将所述传送腔体分隔成两个密闭空间，所述第一连杆的一端通过所述第一连杆插入孔插入所述传送腔体内，并与所述第一板件的板面固定连接，所述承载机构用于承载位于所述传送腔体内的待传送器件，且所述承载机构的承载面与所述第一板件的板面平行；
[0008]其中，所述第一连杆能够沿所述第一连杆的长度方向移动，带动所述第一板件在所述传送腔体内移动，通过改变待传送器件所在密闭空间中的气体的体积，使所述待传送器件所在密闭空间中的环境状态在真空环境状态和大气环境状态之间转换。
[0009]可选地，所述转换传送设备还包括:第二板件和第二连杆，
[0010]所述第二板件设置在所述传送腔体内，且所述第一板件和所述第二板件将所述传送腔体分隔成三个密闭空间，所述设备本体还设置有第二连杆插入孔，所述第二连杆的一端通过所述第二连杆插入孔插入所述传送腔体内，并与所述第二板件的板面固定连接；
[0011]其中，所述待传送器件所在密闭空间为所述三个密闭空间中位于所述第一板件和所述第二板件之间的密闭空间，所述第二连杆能够沿所述第二连杆的长度方向移动，带动所述第二板件在所述传送腔体内移动。
[0012]可选地，所述设备本体设置有第一承载插入孔，所述第一板件设置有第二承载插入孔，所述承载机构依次通过所述第一承载插入孔和所述第二承载插入孔部分插入所述传送腔体内。
[0013]可选地，所述转换传送设备还包括:第一驱动机构，
[0014]所述第一连杆的另一端位于所述传送腔体外，所述第一驱动机构与所述第一连杆的另一端连接，用于驱动所述第一连杆沿所述第一连杆的长度方向移动。
[0015]可选地，所述转换传送设备还包括:第二驱动机构，
[0016]所述第二连杆的另一端位于所述传送腔体外，所述第二驱动机构与所述第二连杆的另一端连接，用于驱动所述第二连杆沿所述第二连杆的长度方向移动。
[0017]可选地，所述转换传送设备还包括:第二阀门，
[0018]所述设备本体还设置有供待传送器件出入所述传送腔体的第二出入口，所述第二阀门设置在所述设备本体上且位于所述第二出入口所在位置。
[0019]可选地，所述转换传送设备还包括:第一传动机构和第二传动机构，
[0020]所述第一传动机构与所述第一阀门连接，用于驱动所述第一阀门开启和关闭；
[0021 ]所述第二传动机构与所述第二阀门连接，用于驱动所述第二阀门开启和关闭。
[0022]可选地，所述设备本体为柱状结构，所述第一连杆插入孔、所述第二连杆插入孔和所述第一承载插入孔都设置在所述设备本体的侧面，且所述第一连杆插入孔和所述第二连杆插入孔设置在所述设备本体的指定纵轴截面的两侧。
[0023]可选地，所述第一连杆插入孔与所述第二连杆插入孔关于所述设备本体的指定纵轴截面对称，所述第一板件的板面、所述第二板件的板面以及所述承载机构的承载面相互平行。
[0024]可选地，所述设备本体为四棱柱状结构，所述第一连杆插入孔和所述第二连杆插入孔位于所述设备本体的侧面中相对的两个侧面上，且所述第一连杆插入孔与所述第一承载插入孔位于同一个面上。
[0025]可选地，所述设备本体为柱状结构，所述第一出入口和所述第二出入口分别设置在所述设备本体的两端。
[0026]本实用新型提供的技术方案带来的有益效果是:
[0027]本实用新型提供的转换传送设备，由于第一连杆能够带动第一板件在传送腔体内移动，通过改变待传送器件所在密闭空间中的气体的体积，使待传送器件所在密闭空间中的环境状态在真空环境状态和大气环境状态之间转换。因此，无需采用氮气罐对传送腔体进行充气以及无需采用真空栗对传送腔体进行抽真空，解决了转换传送设备的稼动率较低的问题，达到了提高转换传送设备的稼动率的效果。
[0028]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本实用新型。
【附图说明】
[0029]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1是相关技术提供的一种转换传送设备的使用场景图；
[0031]图2是本实用新型实施例提供的一种转换传送设备的结构示意图；
[0032]图3是本实用新型实施例提供的一种转换传送设备的使用场景图；
[0033]图4是本实用新型实施例提供的另一种转换传送设备的使用场景图。
[0034]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。
【具体实施方式】
[0035]为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部份实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0036]请参考图2，其示出了本实用新型实施例提供的一种转换传送设备01的结构示意图，参见图2，该转换传送设备OI包括:设备本体011、第一阀门012、第一板件013、第一连杆014和承载机构015。
[0037]设备本体011设置有传送腔体Q、第一连杆插入孔(图2中未示出)和供待传送器件(图2中未示出)出入传送腔体Q的第一出入口A，第一阀门012设置在设备本体011上且位于第一出入口A所在位置，第一板件013设置在传送腔体Q内，且第一板件013将传送腔体Q分隔成两个密闭空间，第一连杆014的一端通过第一连杆插入孔插入传送腔体Q内，并与第一板件013的板面固定连接，承载机构015用于承载位于传送腔体Q内的待传送器件，且承载机构015的承载面与第一板件013的板面平行。
[0038]其中，第一连杆014能够沿第一连杆014的长度方向yl移动，带动第一板件013在传送腔体Q内移动，通过改变待传送器件所在密闭空间中的气体的体积，使待传送器件所在密闭空间中的环境状态在真空环境状态和大气环境状态之间转换。
[0039]综上所述，本实用新型实施例提供的转换传送设备，由于第一连杆能够带动第一板件在传送腔体内移动，通过改变待传送器件所在密闭空间中的气体的体积，使待传送器件所在密闭空间中的环境状态在真空环境状态和大气环境状态之间转换。因此，无需采用氮气罐对传送腔体进行充气以及无需采用真空栗对传送腔体进行抽真空，解决了转换传送设备的稼动率较低的问题，达到了提高转换传送设备的稼动率的效果。
[0040]进一步地，请继续参考图2，该转换传送设备01还包括:第二板件016和第二连杆017，第二板件016设置在传送腔体Q内，且第一板件013和第二板件016将传送腔体Q分隔成三个密闭空间，如图2所示，该三个密闭空间可以为图2中的密闭空间Q1、密闭空间Q2和密闭空间Q3，且该密闭空间Ql、密闭空间Q2和密闭空间Q3之间不连通，密闭空间Ql中的气体、密闭空间Q2中的气体以及密闭空间Q3中的气体无法相互流通，设备本体011还设置有第二连杆插入孔(图2中未示出)，第二连杆017的一端通过第二连杆插入孔插入传送腔体Q内，并与第二板件016的板面固定连接。
[0041]其中，待传送器件所在密闭空间为三个密闭空间中位于第一板件013和第二板件016之间的密闭空间，如图2所示，待传送器件所在密闭空间为图2中的密闭空间Q2，第一连杆014能够沿第一连杆014的长度方向yl移动，带动第一板件013在传送腔体Q内移动，第二连杆017能够沿第二连杆017的长度方向y2移动，带动第二板件016在传送腔体Q内移动，在第一板件013和第二板件016移动的过程中，待传送器件所在密闭空间Q2中的气体的体积改变，使该待传送器件所在密闭空间Q2中的环境状态在真空环境状态和大气环境状态之间转换。需要说明的是，在本实用新型实施例中，如图2所示，第二连杆017的长度方向y2可以与第一连杆014的长度方向yl平行，本实用新型实施例对此不作限定。
[0042]可选地，设备本体011设置有第一承载插入孔(图2中未示出)，第一板件013设置有第二承载插入孔(图2中未示出)，承载机构015依次通过第一承载插入孔和第二承载插入孔部分插入传送腔体Q内。可选地，如图2所示，承载机构015可以包括承载爪0151、承载臂0152和承载体0153，承载臂0152固定设置在承载体0153上，承载爪0151固定设置在承载臂0152上，承载臂0152和承载体0153位于传送腔体Q外，承载爪0151插入传送腔体Q内对待传送器件进行承载，本实用新型实施例对此不作限定。
[0043]进一步地，该转换传送设备01还包括:第一驱动机构018，第一连杆014的一端位于传送腔体Q内，另一端位于传送腔体Q外，第一驱动机构018与第一连杆014的另一端连接，第一驱动机构018用于驱动第一连杆014沿第一连杆014的长度方向yl移动。可选地，该第一驱动机构018可以为电机等驱动设备，本实用新型实施例对此不作限定。
[0044]进一步地，该转换传送设备01还包括:第二驱动机构019，第二连杆017的一端位于传送腔体Q内，另一端位于传送腔体Q外，第二驱动机构019与第二连杆017的另一端连接，第二驱动机构019用于驱动第二连杆017沿第二连杆017的长度方向y2移动。可选地，该第一驱动机构018可以为电机等驱动设备，本实用新型实施例对此不作限定。
[0045]进一步地，该转换传送设备01还包括:第二阀门020，设备本体011还设置有供待传送器件出入传送腔体Q的第二出入口 B，第二阀门020设置在设备本体011上且位于第二出入口 B所在位置。
[0046]进一步地，该转换传送设备01还包括:第一传动机构021和第二传动机构022，第一传动机构021与第一阀门012连接，第一传动机构021用于驱动第一阀门012开启和关闭；第二传动机构022与第二阀门020连接，第二传动机构022用于驱动第二阀门020开启和关闭。可选地，第一传动机构021和第二传动机构022都可以为电机等，且该第一传动机构021和第二传动机构022的具体结构以及工作过程可以参考相关技术，本实用新型实施例在此不再赘述。
[0047]可选地，在本实用新型实施例中，设备本体011为柱状结构，第一连杆插入孔、第二连杆插入孔和第一承载插入孔都设置在设备本体011的侧面，且第一连杆插入孔和第二连杆插入孔设置在设备本体011的指定纵轴截面的两侧。第一出入口 A和第二出入口 B分别设置在设备本体011的两端。优选地，第一连杆插入孔与第二连杆插入孔关于设备本体011的指定纵轴截面对称，第一板件013的板面、第二板件016的板面以及承载机构015的承载面相互平行。
[0048]可选地，设备本体011为四棱柱状结构，第一连杆插入孔和第二连杆插入孔位于设备本体011的侧面中相对的两个侧面上，且第一连杆插入孔与第一承载插入孔位于同一个面上，本实用新型实施例对此不作限定。
[0049]需要说明的是，在本实用新型实施例中，设备本体011上第一出入口A所在的一端可以处于大气环境中，第二出入口B所在的一端可以处于真空环境，第一出入口A可以为大气出入口，第二出入口B可以为真空出入口，第一阀门012可以为大气隔绝阀门，第二阀门020可以为真空隔绝阀门，该第一阀门012用于将传送腔体Q与大气环境隔绝，第二阀门020用于将传送腔体Q与真空环境隔绝。在本实用新型实施例中，当第一阀门012和第二阀门020关闭后，传送腔体Q绝对密闭，且无论第一板件013和/或第二板件016处于移动状态还是静止状态，密闭空间Ql、密闭空间Q2和密闭空间Q3之间不连通，密闭空间Ql中的气体、密闭空间Q2中的气体以及密闭空间Q3中的气体无法相互流通。本实用新型实施例所描述的真空环境状态指的是符合指定标准的真空环境状态，并非是完全的真空环境状态，该符合指定标准的真空环境状态中可能还会存在一定量的气体，本实用新型实施例对此不作限定。
[0050]相关技术中的转换传送设备，从大气环境状态转换至真空环境状态需要采用真空栗抽气15秒左右的时间，从真空环境状态转换至大气环境状态需要充气25秒左右的时间，转换传送设备传送一个待传送器件的转换时间为40秒左右，一台转换传送设备一年的转换时间大约为5000小时，因此，大气环境状态与真空环境状态之间的转换时间较长，导致转换传送设备的稼动率较低。本实用新型实施例提供的转换传送设备，通过改变待传送器件所在密闭空间的体积来实现待传送器件所在密闭空间中的环境状态的转换，且由于待传送器件所在密闭空间位于第一板件和第二板件之间，即使第一板件和第二板件的移动速度较大，也不会导致待传送器件偏移或破损，因此，可以通过提高第一板件和第二板件的移动速度来大幅缩短真空环境状态和大气环境状态的转换时间，提高转换传送设备的稼动率。本实用新型实施例提供的转换传送设备可以有效缩短50%以上的真空大气互换时间，一台转换传送设备一年的转换时间可以减少至2500小时。
[0051]还需要说明的是，在本实用新型实施例中，待传送器件可以为玻璃基板、形成有一定图形的显示基板等，在显示基板的制造过程中，一般需要采用真空蒸镀(英文= Sputter)设备、干刻(英文:Dry etch)设备和等离子体增强化学气相沉积(英文:Plasma EnhancedChemical Vapor Deposit1n;简称:PECVD)设备等对显示基板进行处理，且需要采用转换传送设备对显示基板在各个设备之间进行传送，其中，Sputter设备共有5套栗(英文:pump)机构，Dry etch设备及PECVD设备共有8套类似pump机构。干栗、低温栗及配套设备单套采购费用大致在100万元人民币以上，因此，设备投资费用很高。且由于栗体的特殊结构，在显示基板量产&设备闲置(英文:Idle)的过程中，pump持续处于运行(英文:running)状态，pump的累计能耗费用也较高。本实用新型实施例提供的转换传送设备，由于无需采用真空栗对传送腔体进行抽真空，因此，可以节省真空栗(干栗、低温栗)及相关配套设备的高额购买费用以及高能耗费用，降低设备的投资费用。
[0052]综上所述，本实用新型实施例提供的转换传送设备，由于第一连杆能够带动第一板件在传送腔体内移动，通过改变待传送器件所在密闭空间中的气体的体积，使待传送器件所在密闭空间中的环境状态在真空环境状态和大气环境状态之间转换。因此，无需采用氮气罐对传送腔体进行充气以及无需采用真空栗对传送腔体进行抽真空，解决了转换传送设备的稼动率较低的问题，达到了提高转换传送设备的稼动率的效果。
[0053]相关技术在采用氮气罐对传送腔体进行充气以及采用真空栗对传送腔体进行抽真空时，可以通过增大充气的气流速度以及增大抽真空的气流速度来提高转换传送设备的稼动率，但是由于抽气孔和充气孔都位于承载机构的承载面的下方，气流速度太大会造成待传送器件偏移或破损，转换传送设备出现破片(待传送器件破碎)down机(转换传送设备停止运行)的问题，本实用新型实施例提供的转换传送设备，由于是通过改变待传送器件所在密闭空间的体积来实现待传送器件所在密闭空间中的环境状态的转换的，且由于待传送器件所在密闭空间位于第一板件和第二板件之间，即使第一板件和第二板件的移动速度较大，也不会导致待传送器件偏移或破损，因此可以避免转换传送设备出现破片down机。
[0054]请参考图3和图4，其分别示出了本实用新型实施例提供的转换传送设备01的两种使用场景图，参见图3和图4，其中，设备本体011上第一出入口A所在的一端处于大气环境中，第二出入口B所在的一端处于真空环境中，在将待传送器件从大气环境向真空环境传送时，如图3所;大气机械手(大气环境中的机械手)操作第一传动机构021，使得第一传动机构021驱动第一阀门012开启，外界气体从第一出入口 A进入传送腔体Q内，使得传送腔体Q内的环境状态变为大气环境状态，然后大气机械手通过第一出入口 A将待传送器件03送入传送腔体Q的密闭空间Q2后放置在承载机构015的承载面上，大气机械手操作第一传动机构021，使得第一传动机构021驱动第一阀门012关闭，然后分别操作第一驱动机构018和第二驱动机构019，使得第一驱动机构018驱动第一连杆014沿第一连杆014的长度方向yl移动，带动第一板件013向远离待传送器件03的方向移动，第二驱动机构019驱动第二连杆017沿第二连杆017的长度方向y2移动，带动第二板件016向远离待传送器件03的方向移动，在第一板件013和第二板件016移动的过程中，待传送器件03所在密闭空间Q2中的气体的体积不断增大，而由于密闭空间Q1、密闭空间Q2和密闭空间Q3中的气体不能相互流通，因此，待传送器件03所在密闭空间Q2中的气体量不会发生变化，在气体的体积不断增大而气体量不变的情况下，待传送器件03所在密闭空间Q2中的环境状态从大气环境状态向真空环境状态转换。当第一板件013和第二板件016移动至如图4所示的位置时，待传送器件03所在密闭空间Q2中的环境状态转换至真空环境状态，之后真空机械手(真空环境中的机械手)操作第二传动机构022，使得第二传动机构022驱动第二阀门020开启，真空机械手通过第二出入口B将待传送器件03从传送腔体Q内取出并送入其他真空腔体(比如真空蒸镀腔、真空刻蚀腔等)内对待传送器件03进行工艺处理，取出待传送器件03后，真空机械手操作第二传动机构022，使得第二传动机构022驱动第二阀门020关闭。
[0055]在对待传送器件03进行工艺处理后，如图4所示，真空机械手操作第二传动机构022，使得第二传动机构022驱动第二阀门022开启，然后真空机械手通过第二出入口B将待传送器件03送入传送腔体Q的密闭空间Q2后放置在承载机构015的承载面上，真空机械手操作第二传动机构022，使得第二传动机构022驱动第二阀门022关闭，然后分别操作第一驱动机构018和第二驱动机构019，使得第一驱动机构018驱动第一连杆014沿第一连杆014的长度方向yl移动，带动第一板件013向靠近待传送器件03的方向移动，第二驱动机构019驱动第二连杆017沿第二连杆017的长度方向y2移动，带动第二板件016向靠近待传送器件03的方向移动，在第一板件013和第二板件016移动的过程中，待传送器件03所在密闭空间Q2中的气体的体积不断减小，而由于各个密闭空间中的气体不能相互流通，因此，待传送器件03所在密闭空间Q2中的气体量不会发生变化，在气体的体积不断减小而气体量不变的情况下，待传送器件03所在密闭空间Q2中的环境状态从真空环境状态向大气环境状态转换。当第一板件013和第二板件016移动至如图3所示的位置时，待传送器件03所在密闭空间Q2中的环境状态转换至大气环境状态，之后大气机械手操作第一传动机构021，使得第一传动机构021驱动第一阀门012开启，大气机械手通过第一出入口 A将待传送器件03从传送腔体Q内取出，大气机械手操作第一传动机构021，使得第一传动机构021驱动第一阀门012关闭。
[0056]综上所述，本实用新型实施例提供的转换传送设备，由于第一连杆能够带动第一板件在传送腔体内移动，通过改变待传送器件所在密闭空间中的气体的体积，使待传送器件所在密闭空间中的环境状态在真空环境状态和大气环境状态之间转换。因此，无需采用氮气罐对传送腔体进行充气以及无需采用真空栗对传送腔体进行抽真空，解决了转换传送设备的稼动率较低的问题，达到了提高转换传送设备的稼动率的效果。
[0057]下面结合图2对本实用新型实施例提供的转换传送设备01的制造过程进行简单说明。其中，设备本体011、第一阀门012、第一板件013、第一连杆014、承载机构015、第二板件016、第二连杆017、第一驱动机构018、第二驱动机构019、第一阀门020、第一传动机构021和第二传动机构022都是预先形成的结构。
[0058]该转换传送设备OI在制造时，通过第一出入口A或者第二出入口 B将第一板件013和第二板件016分别设置在传送腔体Q内，使第一板件013上的第二承载插入孔与设备本体011上的第一承载插入孔对准，第一板件013和第二板件016将传送腔体Q分隔成3个密闭空间，然后将第一连杆014的一端通过第一连杆插入孔插入传送腔体Q内后，将第一连杆014的一端与第一板件013的板面固定连接，将第一驱动机构018与第一连杆014的另一端固定连接，将第二连杆017的一端通过第二连杆插入孔插入传送腔体Q内后，将第二连杆017的一端与第二板件016的板面固定连接，将第二驱动机构019与第二连杆017的另一端固定连接，之后将承载机构015的承载爪0151依次通过第一承载插入孔和第二承载插入孔部分插入传送腔体Q内，将第一阀门012设置在设备本体011上使第一阀门012位于第一出入口A所在位置，将第一传动机构021与第一阀门012连接，将第二阀门020设置在设备本体011上使第二阀门020位于第二出入口 B所在位置，将第二传动机构022与第二阀门020连接，此时即可得到如图2所示的转换传送设备01。
[0059]需要说明的是，在本实用新型实施例中，第一连杆插入孔、第二连杆插入孔以及第一承载插入孔都设置有密封件以避免在第一连杆014和第二连杆017移动的过程中，传送腔体Q中的气体与外界气体相互流通。上述步骤中的部分步骤的先后顺序可以颠倒，本实用新型实施例对此不作限定。
[0060]综上所述，本实用新型实施例提供的转换传送设备，由于第一连杆能够带动第一板件在传送腔体内移动，通过改变待传送器件所在密闭空间中的气体的体积，使待传送器件所在密闭空间中的环境状态在真空环境状态和大气环境状态之间转换。因此，无需采用氮气罐对传送腔体进行充气以及无需采用真空栗对传送腔体进行抽真空，解决了转换传送设备的稼动率较低的问题，达到了提高转换传送设备的稼动率的效果。
[0061]本实用新型中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如4和/或F，可以表示:单独存在E，同时存在E和F，单独存在F这三种情况。另夕卜，本文中字符，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0062]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种转换传送设备，其特征在于，所述转换传送设备包括:设备本体、第一阀门、第一板件、第一连杆和承载机构， 所述设备本体设置有传送腔体、第一连杆插入孔和供待传送器件出入所述传送腔体的第一出入口，所述第一阀门设置在所述设备本体上且位于所述第一出入口所在位置，所述第一板件设置在所述传送腔体内，且所述第一板件将所述传送腔体分隔成两个密闭空间，所述第一连杆的一端通过所述第一连杆插入孔插入所述传送腔体内，并与所述第一板件的板面固定连接，所述承载机构用于承载位于所述传送腔体内的待传送器件，且所述承载机构的承载面与所述第一板件的板面平行； 其中，所述第一连杆能够沿所述第一连杆的长度方向移动，带动所述第一板件在所述传送腔体内移动，通过改变待传送器件所在密闭空间中的气体的体积，使所述待传送器件所在密闭空间中的环境状态在真空环境状态和大气环境状态之间转换。2.根据权利要求1所述的转换传送设备，其特征在于，所述转换传送设备还包括:第二板件和第二连杆， 所述第二板件设置在所述传送腔体内，且所述第一板件和所述第二板件将所述传送腔体分隔成三个密闭空间，所述设备本体还设置有第二连杆插入孔，所述第二连杆的一端通过所述第二连杆插入孔插入所述传送腔体内，并与所述第二板件的板面固定连接； 其中，所述待传送器件所在密闭空间为所述三个密闭空间中位于所述第一板件和所述第二板件之间的密闭空间，所述第二连杆能够沿所述第二连杆的长度方向移动，带动所述第二板件在所述传送腔体内移动。3.根据权利要求2所述的转换传送设备，其特征在于， 所述设备本体设置有第一承载插入孔，所述第一板件设置有第二承载插入孔，所述承载机构依次通过所述第一承载插入孔和所述第二承载插入孔部分插入所述传送腔体内。4.根据权利要求1所述的转换传送设备，其特征在于，所述转换传送设备还包括:第一驱动机构， 所述第一连杆的另一端位于所述传送腔体外，所述第一驱动机构与所述第一连杆的另一端连接，用于驱动所述第一连杆沿所述第一连杆的长度方向移动。5.根据权利要求2所述的转换传送设备，其特征在于，所述转换传送设备还包括:第二驱动机构， 所述第二连杆的另一端位于所述传送腔体外，所述第二驱动机构与所述第二连杆的另一端连接，用于驱动所述第二连杆沿所述第二连杆的长度方向移动。6.根据权利要求1至5任一所述的转换传送设备，其特征在于，所述转换传送设备还包括:第二阀门， 所述设备本体还设置有供待传送器件出入所述传送腔体的第二出入口，所述第二阀门设置在所述设备本体上且位于所述第二出入口所在位置。7.根据权利要求6所述的转换传送设备，其特征在于，所述转换传送设备还包括:第一传动机构和第二传动机构， 所述第一传动机构与所述第一阀门连接，用于驱动所述第一阀门开启和关闭； 所述第二传动机构与所述第二阀门连接，用于驱动所述第二阀门开启和关闭。8.根据权利要求3所述的转换传送设备，其特征在于， 所述设备本体为柱状结构，所述第一连杆插入孔、所述第二连杆插入孔和所述第一承载插入孔都设置在所述设备本体的侧面，且所述第一连杆插入孔和所述第二连杆插入孔设置在所述设备本体的指定纵轴截面的两侧。9.根据权利要求8所述的转换传送设备，其特征在于， 所述第一连杆插入孔与所述第二连杆插入孔关于所述设备本体的指定纵轴截面对称，所述第一板件的板面、所述第二板件的板面以及所述承载机构的承载面相互平行。10.根据权利要求9所述的转换传送设备，其特征在于， 所述设备本体为四棱柱状结构，所述第一连杆插入孔和所述第二连杆插入孔位于所述设备本体的侧面中相对的两个侧面上，且所述第一连杆插入孔与所述第一承载插入孔位于同一个面上。11.根据权利要求6所述的转换传送设备，其特征在于，所述设备本体为柱状结构，所述第一出入口和所述第二出入口分别设置在所述设备本体的两端。
【文档编号】B65G49/00GK205526654SQ201620307408
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年4月13日
【发明人】何茂盛, 陈巍, 陈柏宇, 范鹏飞, 刘庆, 李浩宇
【申请人】成都京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司