专利名称：透镜阵列的制造方法以及透镜阵列的制作方法
技术领域：
本发明涉及透镜阵列的制造方法以及透镜阵列。
背景技术：
近年来，在便携式电话、PDA (Personal Digital Assitant)等的电子机器的便携式终端搭载有小型且薄型的摄像单元。这种摄像单元，通常具备CXD (Charge Coupled Device)图像传感器、CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor)图像传感器等的固体摄像元件，以及在固体摄像元件上对被拍摄体像进行成像的一个以上的透镜。由于便携式终端的小型化/薄型化，即使在便携式终端上搭载的摄像单元也需要进一步的小型化/薄型化。另外，也需要制造时的生产性。对于所涉及的需要，周知的有如下方法即在排列有多个的固体摄像元件的传感器阵列，层叠(積層)排列多个的透镜的一以上的透镜阵列，并以分别包含固体摄像元件以及透镜的方式对所得到的层叠体进行切断从而对摄像单元进行批量化生产。作为用于上述的用途的透镜阵列的制造方法，周知的有以在一对的模具构件之间夹着紫外线硬化(硬化)性、热硬化性的树脂而成形的状态，使该树脂硬化，而得到透镜阵列的方法(例如，参照专利文献1、2)。所得到的透镜阵列，具备配置为二维的多个透镜部；将所述多个透镜部之间填埋而将这些的透镜部相互连结的大致圆形的基板(基板)部， 这些的透镜部和基板部由树脂一体形成。专利文献1国际公开第08/153102号专利文献2国际公开第08/102582号通常，树脂在硬化的过程中收缩，但是针对透镜阵列的树脂向基板部的径(径)方向的硬化收缩，模具构件成为限制而限制树脂的向该方向的硬化收缩。为此，在形成的透镜阵列的内部残留有应力。有时，由该残余应力引起从模具构件取出的透镜阵列中产生收缩，多个透镜部的排列(並& )中产生错位，并在间距(C 7 f )方面产生离散(仏。爸)。并且，在一对的模具构件之间夹着树脂时，剩余的树脂从一对的模具构件之间溢出。在包含溢出的树脂而使树脂全体硬化的情况下，由于溢出的树脂，透镜阵列的基板部的外形不再成为圆形，而且径向(径方向)的收缩不均勻。由此，多个透镜部的排列(並的错位(f Λ )、间距的离散进一步显著。本发明鉴于上述的情形而提出，目的在于在由能量硬化性树脂形成的透镜阵列中，降低多个透镜部的排列的错位、间距的离散。
发明内容
本发明涉及一种利用能量硬化性的树脂一体地形成透镜阵列的透镜阵列的制造方法，所述透镜阵列具备一维或二维状排列的多个透镜部、以及将所述多个透镜部之间填埋而使这些的透镜部相互连结的基板部，其中，具备以在一对的模具构件之间夹着所述树脂而使之变形的状态，对该树脂赋予能量而使该树脂硬化的硬化工艺，所述硬化工艺中，针对位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，使预先设定的多个区域的每个以不同的时序硬化。根据本发明，能够将在透镜阵列的内部残留的应力，分割到与硬化时的区域相对应的部分的每个，并能够抑制由残余应力引起的透镜阵列的收缩。藉此，能够降低多个透镜部的排列的错位、间距的离散。
图1是表示用于说明本发明的实施方式的摄像单元的一例的图。图2是表示用于说明本发明的实施方式的透镜阵列的一例的图。图3是用III-III线剖面表示图2的透镜阵列的图。图4是对图2的透镜阵列的制造中所使用的成形装置的一例进行表示的图。图5A 图5C是表示使用图4的成形装置的透镜阵列的制造方法的一例的图。图6是对树脂的扩展(広力5 >9 )示意性地进行表示的图。图7A 图7D是对与图5相接续的透镜阵列的制造方法的一例进行表示的图。图8A 图8D是对图7的透镜阵列的制造方法的变形例进行表示的图。图9A 图9C是表示图7的透镜阵列的制造方法的其他变形例的图。图10是表示图2的透镜阵列的制造中所使用的成形装置的其他例的图。图IlA 图IlD是表示使用图10的成形装置的透镜阵列的制造方法的一例的图。图12A 图12D是表示图11的透镜阵列的制造方法的变形例的图。图13是表示图10的成形装置的变形例的图。图14A 图14C是表示使用图13的成形装置的透镜阵列的制造方法的一例的图。图15A 图15B是表示图1的摄像单元的制造方法的一例的图。图16A 图16C是表示图15的摄像单元的制造方法的变形例的图。图17是表示图1的摄像单元的制造方法的其他例的图。图中1 摄像单元2传感器模块3透镜模块4传感器阵列5透镜阵列6透镜阵列层叠体7透镜模块层叠体8元件阵列层叠体9 隔离体(7 乂一寸)阵列20晶圆(々工八)21晶圆片22固体摄像元件30基板部
31基板片
32透镜部
33光学面
35隔离体
50成形装置
51上模具构件
52下模具构件
53分配器(fM 7 O寸)
54硬化机构
55除去构件
61成形面
61a透镜成形部
62成形面
62a透镜成形部
63线源
64掩膜
66外周面
Ca区域
Cb区域
Cc区域
M树脂
具体实施例方式图1表示摄像单元的一例。图1所示的摄像单元1，具备传感器模块2和透镜模块3。传感器模块2具有晶圆片21。晶圆片21，例如由硅等的半导体形成，并以平面视大致形成为矩形状。晶圆片21的大致中央部设置固体摄像元件22。固体摄像元件22，例如是CXD图像传感器、CMOS图像传感器等，对晶圆片21重复实施周知的成膜工艺、光平版印刷(7才卜U y ^，7 4 )工艺、蚀刻工艺、杂物添加工艺等，在晶圆片21上形成受光区域、电极，绝缘膜、布线等而构成。透镜模块3具有基板片31、透镜部32。基板片31围绕透镜部32而配置于透镜部 32的外侧。基板片31，形成为与传感器模块2的晶圆片21大致相同的平面视大致矩形状。 在透镜部32的光轴方向的两端分别形成的光学面33，在图示的例中均为凸形状的球面，但是能够根据用途，采用凸形状的球面、凹形状的球面、非球面或平面的各种组合。透镜模块3，在其基板片31和传感器模块2的晶圆片21之间夹着隔离体35而层叠在传感器模块2。透镜部32，在固体摄像元件22的受光区域成像被拍摄体像。另外，在图示的例中，传感器模块2上层叠的透镜模块3为一个，但是也具有在传感器模块2上层叠多个的透镜模块3的情况。关于隔离体35，只要在传感器模块2上透镜模块3稳定，其形状不特别被限定，优选为，成为包围固体摄像元件22的框状(枠状)。若使隔离体35为框状，则能够通过将传感器模块2和透镜模块3之间的空间从外部隔绝。藉此，能够阻止灰尘等异物向传感器模块2和透镜模块3之间的空间的进入，并能够防止异物附着于固体摄像元件22、透镜部32。 此外，在该情况下，如果使隔离体35为遮光性的器件，则能够遮断成像不需要的光从传感器模块2和透镜模块3之间入射到固体摄像元件22。如以上那样构成的摄像单元1，典型地来说，回流('J y π—)安装于便携式终端的电路基板。也即，在电路基板，在安装摄像单元1的位置预先印刷糊(X — 7卜)状的焊锡(半田)，并在此处搭载摄像单元1。并且，在包含该摄像单元1的电路基板上实施红外线的照射、热风的吹附的加热处理，藉此将焊锡熔化而将摄像单元1安装于电路基板。图2以及图3表示透镜阵列的一例。图2以及图3所示的透镜阵列5，具备基板部30、多个透镜部32。多个透镜部32，配置为行列状。基板部30，将排列的多个透镜部32之间填埋，并将多个透镜部32相互连结。基板部30和多个透镜部32由树脂一体地形成。基板部30的外形，呈晶圆状(圆形状)，其直径，典型地来说，为6英寸、8英寸、或12英寸。并且，相对于所涉及尺寸的基板部30，典型地来说排列数千个的透镜部32。另外，多个透镜部32的排列，不限于行列(行列)状，也可以例如是放射状、同心的圆环状，也可以是其他的2维的排列，并且，也可以是1维的排列。作为形成透镜阵列5的树脂，能够使用能量硬化性的树脂组成物。能量硬化性的树脂组成物，例如能够例示出通过热而硬化的树脂组成物，或通过紫外线而硬化的树脂组成物等。形成透镜阵列5的树脂组成物，从铸型( 一& F )形状的转印适应性等成形性的观点出发，优选为硬化前具有适当的流动性。具体来说，优选为，在常温下为液体，粘度为 1000 50000mPa · s 左右。并且，形成透镜阵列5的树脂组成物，优选为，具有在硬化后即使通过回流(1J ” 口一)工艺也不热变形的程度的耐热性。从该观点出发，优选为，硬化物的玻璃转移温度为200°C以上，更优选为250°C以上，特别优选为300°C以上。为了对树脂组成物附加这种高耐热性，需要在分子水平(XA)对运动性进行束缚，作为有效的手段，(1)提高每单位体积的架桥(架橋)密度的手段，( 利用具有刚直(剛直& )的环构造的树脂的手段 (例如具有以下构造的树脂环己烷(〉夕口 矢寸 > )、降冰片烯(^ ^Of > )、四环癸烷(歹卜，*夕口 F r力 > )等的脂环构造，苯(O七 > )、奈(少7夕k > )等的芳香环构造，9，9，-己二烯芴(匕‘7工二 A 7 A才l· > )等的阳基环(力A F Cardo)构造， 螺二茚满(7 C 口 m >夕‘ > )等的螺旋(7 if 口)构造的树脂，具体来说，例如，特开平 9-137043号公报，同(同)10-67970号公报，特开2003-55316号公报，同2007-334018号公报，同2007-238883号公报等中记载的树脂)，(3)将无机微粒子等高Tg的物质均一地分散的手段(例如特开平5-209027号公报，同10498265号公报等中记载)等。这些的手段可以多个并用，优选为在不损失流动性、收缩率、折射率特性等其他的特性的范围中进行调離
iF. ο并且，关于形成透镜阵列5的树脂组成物，从形状转印精度的观点出发，优选为基于硬化反应的体积收缩率较小的树脂组成物。作为树脂组成物的硬化收缩率，优选为10%以下，更优选为5%以下，特别优选为3%以下。作为硬化收缩率低的树脂组成物，优选为， 例如(1)包含高分子量的硬化剂(预聚合物(1 >《U 7 _)等)的树脂组成物(例如特开2001-19740号公报、同2004-302293号公报、同2007-211247号公报等中记载，高分子量硬化剂的数平均分子量优选为200 100000的范围，更优选为500 50，000的范围，特别优选为1，000 20，000的情况。并且由该硬化剂的数平均分子量/硬化反应性基的数计算的值位于50 10，000的范围，更优选为位于100 5，000的范围，特别优选为200 3，000的范围)，( 包括非反应性物质(有机/无机微粒子、非反应性树脂等)的树脂组成物(例如特开平6498883号公报，同2001-247793号公报，同2006-225434号公报等中记载)，(3)包含低收缩架桥反应性基的树脂组成物(例如开环聚合(重合)性基(例如环氧 (工水。* * )基(例如，特开2004-210932号公报等中记载)、氧杂环丁烷(才*七夕二 A ) 基(例如，特开平8-134405号公报等中记载)、环硫化物(工ζ > 7 4 K )基(例如，特开2002-105110号公报等中记载)、环状碳酸酯(力一 # +—卜)基(例如，特开平7-62065 号公报等中记载)等)、胺/硫醇(- > / ★才一> )硬化基(例如，特开2003-20334号公报等中记载)、氢化甲硅烷基(卜·' σ V ^ )化硬化基(例如，特开2005-15666号公报等中记载)等)，(4)包含刚直骨格树脂(芴(7 >才 > > )、金刚烷(τ·夕·· 7 >夕 > )、异佛尔酮(^ / * 口 > )等)的树脂组成物(例如，特开平9-137043号公报等中记载)，(5)聚合性基不同的2种的单体( 7 7 —)，并形成相互贯入(貫入)网眼(網目)构造(所谓 IPN构造)的树脂组成物(例如，特开2006-131868号公报等中记载)，(6)包含膨胀性物质的树脂组成物(例如，特开2004-2719号公报，特开2008-238417号公报等中记载)等， 在本发明中能够适当地利用。并且，并用上述多个硬化收缩降低手段(例如，包含包含开环聚合性基的预聚合物(1 >《'J 7—)和包含的微粒子形树脂组成物等)，从物性最适当化的观点出发较为优选。并且，形成透镜阵列5的树脂组成物，优选为高-低2种以上的阿贝数的不同的树脂的混合物。高阿贝数侧的树脂优选为阿贝数(vd)为50以上，更优选为55以上，特别优选为60以上。优选为，折射率(nd)是1. 52以上，更优选为1. 55以上，特别优选为1. 57 以上。作为这种树脂，优选为脂肪族的树脂，特别优选为具有脂环构造的树脂(例如，环己烷夕口 寸 >)、降冰片烯()A Hfy )、金刚烷(7夕·· >夕 > )、三环癸烷 (卜丨J *夕口 f-力 > )、四环癸烷(歹卜，*夕α K〒·力 > )等的环构造的树脂，具体来说，例如，特开平10-152551号公报、特开2002-212500号公报、同2003-20334号公报、同 2004-210932 号公报、同 2006-199790 号公报、同 2007-2144 号公报、同 2007-284650 号公报、同2008-105999号公报等中记载的树脂)。低阿贝数侧的树脂，优选为是阿贝数(vd) 为30以下，更优选为25以下，特别优选为20以下。优选为折射率(nd)是1. 60以上，更优选为是1. 63以上，特别优选为1. 65以上。作为这种树脂，优选为具有芳香族构造的树脂， 例如包含9，9，-己二烯芴(夕7丨J 一> 7义才l· > )、萘(f 7夕l· > )、苯硫茚基(^ > ”千r V^Ji )、苯三唑(乂 >、/卜J 7 y-^ji )等的构造的树脂(具体来说，例如特开昭 60-38411号公报，特开平10-67977号公报，特开2002-47335号公报，同2003-238884号公报，同2004-83855号公报，同2005-325331号公报，同2007-238883号公报，国际公开第 2006/095610号小册子(> 7 “卜)，专利第2537540号公报等中记载的树脂。并且，在形成阵列5的树脂组成物，为了提高折射率，调整阿贝数，优选为在母体(7卜U 7々7 )中分散无机微粒子。作为无机微粒子，例如，可以列举出氧化物微粒子、 硫化物微粒子、硒(力 > > )化物微粒子、碲(f >> )化物微粒。更具体来说，例如，氧化锆、氧化钛urn、氧化锌(亜鉛)、氧化锡(χ <)、氧化铌(二力y)、氧化铈(力ν ,a )、氧化铝、氧化镧m > )、氧化钇(4 7卜彡々A )、硫化锌等的微粒子。特别是，对于上述高阿贝数的树脂，优选为，使氧化镧、氧化铝、氧化锆等的微粒子分散。对于低阿贝数的树脂，优选为使氧化钛、氧化锡、氧化锆等的微粒子分散。无机微粒子可以单独使用，也可以将2种以上并用。并且，也可以是基于多个的成分的复合物。并且，在无机微粒子，出于光触媒活性降低、吸水率降低等的各种的目的，掺杂异种金属，利用二氧化硅(〉 'J力)、氧化铝(7 > $少)等异种金属氧化物覆盖表面层，硅烷耦合(*，>力^ / > 夕')剂，利用钛酸酯(★夕才、一卜)耦合剂、有机酸(羧酸(力> # > )酸类、磺化(卞^ '于、 > )酸类、磷(U > )酸类、膦(* ^ * > )酸类等)或具有有机酸基的分散剂等进行表面修饰。无机微粒子的数平均粒子尺寸通常可以为Inm IOOOnm左右，如果过小，则存在物质的特性变化的情况，如果过大，则瑞利(X U—)散乱的影响显著，因此优选为Inm 15nm,更优选为2nm lOnm，特别优选为3nm 7nm。并且，无机微粒子的粒子尺寸分布越狭窄，约优选。这种单分散粒子的定义的方法各种各样，例如，特开2006-160992号中记载那样的数值规定范围优选的粒径分布范围较为合适。这里，所谓上述的数平均1次粒子尺寸，能够由例如X线衍射(XRD)装置或透过型电子显微鏡(TEM)等测定。作为无机微粒子的折射率，优选为在22°C、589nm的波长中，优选为1. 90 3. 00，更优选为1. 90 2. 70，特别是2. 00 2. 70。无机微粒子相对于树脂的含有量，从透明性和高折射率化的观点出发， 优选为5质量％以上，更优选为10 70质量％，特别优选为30 60质量％。为了将微粒子均一地分散于树脂组成物，例如在包含具有形成矩阵的树脂单体的反应性的官能基的分散剂(例如特开2007-238884号公报实施例等中记载)，疏水性区段 (七夕‘j >卜)以及亲水性区段(七夕‘ > > 卜)构成的体(7 α 7夕)共聚体(共重合体) (例如特开2007-211164号公报中记载)，或高分子末端或侧锁中能够与无机微粒子形成任意的化学结合的官能基团(官能基)的树脂(例如特开2007-238929号公报，适宜使用特开2007-238930号公报等中记载)等而分散微粒子。并且，在形成透镜阵列5的树脂组成物中，也可以适当配合硅(力'J -一 >)系、 氟(7 7 )系、长链(長鎖)烷(7 > # > )基含有化合物等的公知的脱模(離型)剂、受阻酚(t >夕‘一 K 7工7 —> )等的氧化防止剂等的添加剂。并且，在形成透镜阵列5的树脂组成物中，根据需要能够配合硬化触媒或开始剂。 具体来说，能够列举出例如特开2005-92099号公报(段落编号〔0063〕 〔0070〕)等记载的能够利用热或活性能量线的作用而促进硬化反应(游离(自由)基(，7力 > )聚合或离子(4力 > )聚合)的化合物。这些的硬化反应促进剂的添加量，因触媒、开始剂的种类， 或硬化反应性部位的不同等而不同，不能够一概地规定，通常，相对于硬化反应性树脂组成物的全固形量(固形分)，优选为0. 1 15质量％左右，更优选为0. 5 5质量％左右。能够适当配合上述成分对形成透镜阵列5的树脂组成物进行制造。此时，能够在液状的低分子单体(反应性稀释剂)等溶解其他的成分的情况下，不需要添加其他用途的溶剂，但是在该情况(* 一 7 )不合适的情况下能够通过使用溶剂而溶解各构成成分，从而制造硬化性树脂组成物。作为能够用于该硬化性树脂组成物的溶剂，只要组成物不沉淀，而是均一地溶解或分散物质则能够不做特别限制而适当地选择，具体来说，例如，能够列举出酮(夕卜 > )类(例如，丙酮(7七卜 > )、甲基乙基酮(乂 f A工f A夕卜 > )、甲基乙丁基酮(乂 f X m 卜 > )等)、酯(工^歹 > )类(例如，醋酸乙基，醋酸丁基(义f > )等)、醚(工一歹 > )类(例如，四氢呋喃(歹卜，t卜“口 7，> )、1，4_ 二噁烧(夕才矢寸 > )等)醇(7 > - —> )类(例如，甲醇(乂夕7 —>)、乙醇(工夕7 — ^ )、异丙基醇(4 乂 7° 口 O 7 A - — A )、丁醇(歹夕7 — A )、甘醇(工子 > > 夕’'J 二一等)，芳香族碳化氢类(例如甲苯(卜 >工>)、二甲苯(*〉>>)等)，水等。优选为，在硬化性组成物包含溶剂的情况下，使溶剂干燥后进行模塑(* 一> F )形状转印操作。上述的透镜模块3 (参照图1)，将基板部30切断，并以分别包含透镜部32的方式对透镜阵列5进行分割而得到。换言之，透镜阵列5是上述的透镜模块3的集合体。以下，对图2的透镜阵列的制造方法进行说明。图4表示用于图2的透镜阵列的制造的成形装置的一例。图4所示的成形装置50，具备上模具构件51、下模具构件52、供给形成透镜阵列 5的能量硬化性树脂的分配器53、使树脂硬化的硬化机构Μ。上模具构件51以及下模具构件52，在他们之间夹着树脂，并在该树脂成形为透镜阵列5的形状。上模具构件51以及下模具构件52被做成与透镜阵列5的基板部30相同的径的圆盘状。并在与下模具构件52相面对的上模具构件51的成形面61上，设置多个的透镜成形部61a。透镜成形部61a，被做成使透镜部32的一方的光学面33反转(反転)的形状，并以与透镜阵列5中的多个透镜部32相同的排列在成形面61上排列。并且，在与上模具构件51相面对的下模具构件52的成形面62，设置多个的透镜成形部62a。透镜成形部62a，被做成将透镜部32的他方的光学面33反转的形状，并以与透镜阵列5中的多个透镜部32相同的排列被排列。分配器53，进入上模具构件51和下模具构件52之间，在下模具构件52的成形面 62上，供给用于形成透镜阵列5所需要的量，或比形成透镜阵列5所需要的量多的量的树脂。另外，在树脂的供给结束后，分配器53被未图示的驱动机构移动，而从上模具构件51 和下模具构件52之间退离。根据形成透镜阵列5的能量硬化性的树脂而适当选择上模具构件51、下模具构件 52的材料。也即，作为树脂在使用热硬化性的材料的情况下，模具的材料使用例如镍(二 , ^ ^ )等的热传导率优良的金属材料。并且，作为树脂组成物使用紫外线硬化性的材料的情况下，模具的材料使用例如玻璃等的透过紫外线的材料。本例中，作为树脂使用紫外线硬化性的材料。硬化机构M具有射出紫外线UV的线源63和掩膜64。线源63在图示的例中被配置于下模具构件52之下，并向下模具构件52射出紫外线。因此，下模具构件52，由透过紫外线的材料形成。掩膜64被配置于线源63和下模具构件52之间，并使上模具构件51的成形面61和下模具构件52的成形面62之间的规定的区域露出(露呈)。从线源63射出的紫外线UV，被照射到位于从掩膜64露出的上述的规定的区域的树脂。图5表示使用图4的成形装置的透镜阵列的制造方法的一例。如图5A所示的那样，从分配器53向下模具构件52的成形面62上供给必要量的树脂M。接下来，如图5B所示的那样，使上模具构件51下降。与上模具构件51的下降相伴，树脂M在上模具构件51的成形面61和下模具构件52的成形面62之间被加压，并在成形面61和成形面62之间以放射状扩展的同时，模仿(倣。工)成形面61以及成形面62 而变形。接下来，如图5C所示的那样，在上模具构件51以规定量下降的状态中，成形面61 和成形面62之间被树脂M所填充。剩余的树脂M,从成形面61和成形面62之间流出，并在下模具构件52的外周面66顺延(伝0 )，并附着于此。图6示意性地表示树脂的扩展。图6表示将附着于下模具构件52的外周面66的树脂M在与位于下模具构件52 的成形面62上的树脂M在相同的面上展开的状态。来自成形面61和成形面62之间的剩余的树脂M的流出，在圆周上(周上)不一样，因此，附着于下模具构件52的外周面66的树脂M的量，在圆周上的各部位不同。为此，如图6所示的那样，关于树脂M的扩展，其外形不成为圆形。图7表示与图5相接续的透镜阵列的制造方法的一例。图7所示的例，上模具构件51的成形面61和下模具构件52的成形面62之间，同心的多个的圆状或圆环状的区域，从内侧的区域向外侧的区域将位于各区域的树脂M顺次硬化。在图示的例中，在成形面61和成形面62之间，设定从中心到半径Ra的圆状的区域 Ca、从半径Ra到半径Rb ( > Ra)的圆环状的区域Cb、并且从半径Rb到边缘(縁)(半径Re) 的圆环状的区域Cc这3个的区域。如图7A所示的那样，在线源63和下模具构件52之间配置掩膜64a。掩膜64a，覆盖成形面61和成形面62之间的区域Ca以外的区域，并使区域Ca露出。并且，驱动线源 63，从线源63射出紫外线。从线源63射出的紫外线，被照射到位于从掩膜64露出的区域 Ca的树脂M。藉此，使位于区域Ca的树脂M硬化。此时，树脂M与硬化的进行相伴而产生收缩，但是位于区域Ca的外周侧的区域的未硬化的树脂M流入，以对该收缩量进行填补。藉此，在区域Ca中，能够维持成形面61以及成形面62和树脂M的接触。接下来，如图7B所示的那样，在线源63和下模具构件52之间配置掩膜64b。掩膜64b，覆盖成形面61和成形面62之间的区域Cb以外的区域，并使区域Cb露出。并且驱动线源63，向位于从掩膜64b露出的区域Cb的树脂M照射紫外线。藉此，使位于区域Cb的树脂M硬化。针对位于区域Cb的树脂M的硬化收缩，使得位于区域Cb的外周侧的区域的未硬化的树脂M流入以对其收缩量进行。藉此，在区域Cb中，维持了成形面61以及成形面 62和树脂M的接触。另外，位于在掩膜6 露出的区域Ca的树脂M,已经硬化结束，并在位于区域Ca的树脂M进一步照射紫外线也无妨。因此，掩膜64b也可以构成为，在成形面61 和成形面62之间使从其中心到半径Rb的区域露出，也即，包含由掩膜6 露出的硬化结束的区域Ca地进行露出。接下来，如图7C所示的那样，在线源63和下模具构件52之间配置掩膜64c。掩膜 64c，对成形面61和成形面62之间的区域Cc以外的区域进行覆盖，而使区域Cc露出。并且，对线源63进行驱动，对位于从掩膜Mc露出的区域Cc的树脂M照射紫外线。藉此，使位于区域Cc的树脂M硬化。相对于位于区域Cc的树脂M的硬化收缩，位于区域Cc的外周侧的区域未硬化的树脂M也即附着于下模具构件52的外周面66的未硬化的树脂M流入， 以对其收缩量进行填补。藉此，区域Cc中，维持成形面61以及成形面62和树脂M的接触。 另外，掩膜64c，也可以构成为，在成形面61和成形面62之间使从中心到半径Rc的区域露出，也即包括由掩膜6 露出的硬化结束的区域Ca以及由掩膜64b露出的硬化结束的区域 Cb地进行露出。接下来，如图7D所示的那样，使刮刀( ，)等的除去构件55与下模具构件52 的外周面66接触，并跨度外周面66的全周地使除去构件55滑动(摺動)。藉此，将附着于外周面66的树脂M除去。藉此，使所得到的透镜阵列5的外形为圆形。另外，也可以，在附着于外周面66的树脂M照射紫外线，并使之硬化后除去。如此，在成形面61和成形面62之间，设定同心的多个的圆状或圆环状的区域Ca、 Cb、Ce，并使从内侧的区域Ca向外侧的区域Cc位于各区域的树脂M顺次硬化，而将在透镜阵列5的内部残留的应力，在每个与硬化时的区域相对应的部分分割(分割)，从而能够抑制由残余应力引起的透镜阵列5的收缩。藉此，能够降低多个透镜部32的排列的错位、间距的离散。并且，能够维持成形面61以及成形面62和树脂M的接触，并能够将包含透镜成形部61a的成形面61，以及包含透镜成形部6 的成形面62的形状，正确地转印到树脂M。藉此，能够进一步提高基板部30以及透镜部32的形状精度。此外，通过除去从成形面61和成形面62之间流出的剩余的树脂M，并使透镜阵列 5的外形为圆形，能够使得透镜阵列5的径向的收缩均勻。藉此，能够将多个透镜部32的排列的错位、间距的离散进一步降低。图8表示图7的制造方法的变形例。图8所示的例中，在上模具构件51的成形面61和下模具构件52的成形面62之间，设定同心的多个的圆状或圆环状的区域，并从外侧的区域向内侧的区域使位于各区域的树脂M顺次硬化。图示的例中，在成形面61和成形面62之间，设定从中心到半径RO的中央部的圆状的区域CO、从半径RO到半径Ra( > R0)的圆环状的区域Ca、从半径Ra到半径Rb(>Ra)的圆环状的区域Cb、以及从半径Rb到边缘(半径Re)的圆环状的区域Cc这 4个的区域。另外，在成形面61和成形面62之间填充树脂M的工艺与图5所示的工艺相同，因此省略说明。在下模具构件52的成形面62的中央部(从中心到半径RO的区域)，设置积存(溜办石)树脂M的凹部67。另外，也可以，在上模具构件51的成形面61的中央部设置树脂积存的凹部，也可以在成形面61的中央部以及成形面62的中央部的双方设置树脂积存的凹部。如图8A所示的那样，在线源63和下模具构件52之间配置掩膜64c。掩膜6 使成形面61和成形面62之间的区域Cc露出。并且，对线源63进行驱动，将紫外线照射到位于从掩膜Mc露出的区域Cc的树脂M。藉此，使位于区域Cc的树脂M硬化。相对于位于区域Cc的树脂M的硬化收缩，位于区域Cc的内周侧的区域未硬化的树脂M流入，以对其收缩量进行填补。藉此，区域Cc中，维持成形面61、以及成形面62和树脂M的接触。接下来，如图8B所示的那样，在线源63和下模具构件52之间配置掩膜64b。掩膜 64b使成形面61和成形面62之间的区域Cb露出。并且，对线源63驱动，将紫外线照射到
12位于从掩膜64b露出的区域Cb的树脂M。藉此，使位于区域Cb的树脂M硬化。相对于位于区域Cb的树脂M的硬化收缩，位于区域Cb的内周侧的区域未硬化的树脂M流入，以对其收缩量进行填补。藉此，区域Cb中，维持成形面61以及成形面62和树脂M的接触。另外，掩膜64b，也可以构成为，在成形面61和成形面62之间，使从其边缘到半径Ra的区域露出， 也即包含由掩膜6 露出的区域Cc地进行露出。接下来，如图8C所示的那样，在线源63和下模具构件52之间配置掩膜64a。掩膜 64a,使成形面61和成形面62之间的区域Ca露出。并且，对线源63进行驱动，并对位于从掩膜6 露出的区域Ca的树脂M照射紫外线。藉此，使位于区域Ca的树脂M硬化。相对于位于区域Ca的树脂M的硬化收缩，位于区域Ca的内周侧的区域的未硬化的树脂M,也即作为树脂积存的位于凹部67的未硬化的树脂M流入，以对其收缩量进行填补。藉此，在区域 Ca中，对成形面61、以及成形面62和树脂M的接触进行维持。另外，掩膜64a，也可以构成为，在成形面61和成形面62之间，使从其边缘到半径RO的区域露出，也即包含由掩膜6 露出的区域Cc以及由掩膜64b露出的区域Cb地进行露出。位于区域Ca的树脂M的硬化结束后，使掩膜6 从线源63和下模具构件52之间退离，并在位于凹部67的未硬化的树脂M上照射紫外线，使其硬化。接下来，如图8D所示的那样，利用除去构件55，将附着于外周面66的树脂M除去， 并使透镜阵列5的外形为圆形。图9是表示图7的制造方法的其他的变形例。图9所示的例，在上模具构件51的成形面61和下模具构件52的成形面62之间， 设定形成阵列5的多个透镜部32的区域Cd和形成透镜阵列5的基板部30的区域Ce，并使位于区域Cd的树脂M先硬化。另外，在成形面61和成形面62之间填充树脂M的工艺，与图5所示的工艺相同，省略说明。如图9A所示的那样，在线源63和下模具构件52之间配置掩膜64d。掩膜64d使成形面61和成形面62之间的区域Cd露出。并且，对线源63进行驱动，在位于从掩膜64d 露出的区域Cd的树脂M照射紫外线。藉此，使位于区域Cd的树脂M硬化，而形成多个透镜部32。相对于形成各透镜部32的树脂M的硬化收缩，位于各透镜部32的周围的未硬化的树脂M流入，以对其收缩量进行填补。藉此，对形成各透镜部32的树脂M与成形面61的透镜成形部61a以及成形面62的透镜成形部62a的接触进行维持。接下来，如图9B所示的那样，在线源63和下模具构件52之间配置掩膜64e。掩膜64e，使成形面61和成形面62之间的区域Ce露出。并且，对线源63进行驱动，将紫外线照射到位于从掩膜6 露出的区域Ce的树脂M。藉此，使位于区域Ce的树脂M硬化，而形成基板部30。相对于形成基板部30的树脂M的硬化收缩，位于基板部30的外周侧的区域的未硬化的树脂M，也即附着于下模具构件52的外周面66的未硬化的树脂M流入，以对其收缩量进行填补。藉此，维持形成基板部30的树脂M和成形面61及成形面62的接触。另外，掩膜Me也可以构成为，包含形成多个透镜部32的区域Cd地进行露出。接下来，如图9C所示的那样，利用除去构件55，将附着于外周面66的树脂M除去， 并使透镜阵列5的外形为圆形。图10表示用于图2的透镜阵列的制造的成形装置的其他的例。图10所示的成形装置150，具备上模具构件151、下模具构件152、供给形成透镜阵列5的能量硬化性的树脂的分配器153、以及使树脂硬化的硬化机构154。上模具构件151以及下模具构件152，在它们之间夹着树脂，并将该树脂成形为透镜阵列5的形状。上模具构件151以及下模具构件152，被做成与透镜阵列5的基板部30相同的直径(径)的圆盘状。在上模具构件151的成形面161，设置多个的透镜成形部161a。 并且，在下模具构件152的成形面162，设置多个的透镜成形部16加。分配器153，进入上模具构件151和下模具构件152之间，并在下模具构件152的成形面162上，供给形成透镜阵列5所需要的量的树脂。本例中，作为树脂使用热硬化性的树脂。硬化机构154，具有作为热源的多个的加热器163a、163b、163c。加热器163a、 163b、163c，均为圆环状，并以加热器163116313、163(3的顺序直径(径)变大。并且，加热器163a、163b、163c同心地被配置，并被附着(添λ付It 3 )在下模具构件152的表面(与成形面162相反侧的面)。因此，下模具构件152，由热传导率优良的金属材料形成。由加热器163a、163b、163c所产生的热，经由下模具构件152而被传达到位于成形面161和成形面162之间的树脂。另外，由加热器163a、163b、163c产生的热，在下模具构件152在径向也扩散，但是，主要被传递到位于重叠在各加热器上的区域的树脂。图11表示使用图10的成形装置的透镜阵列的制造方法的一例。图11所示的例在上模具构件151的成形面161和下模具构件152的成形面162 之间，设定同心的多个的圆状或圆环状的区域，从内侧的区域向外侧的区域而使位于各区域的树脂M顺次硬化。在图示的例中，在成形面161和成形面162之间，设定从中心到半径 Ra的圆状的区域Ca、从半径Ra到半径Rb ( > Ra)的圆环状的区域Cb、以及从半径Rb到边缘(縁)(半径Re)的圆环状的区域Cc这3个的区域。另外，在成形面161和成形面162 之间填充树脂M的工艺，与图5所示的工艺同样，因此省略说明。成形装置150的加热器163a、163b、163c的中，最小径的加热器163a的半径比半径Ra小，重叠在在成形面161和成形面162之间的区域Ca。加热器16 的半径，比半径Ra 大，并且比半径Rb小，重叠在成形面161和成形面162之间的区域Cb。并且，加热器163c 的半径，比半径Rb大，且比半径Rc小，重叠在成形面161和成形面162之间的区域Ce。如图IlA所示的那样，利用树脂M对成形面161和成形面162之间进行填充后，使加热器163a动作，并使加热器163a升温。由加热器163a产生的热H，被传递到位于重叠于其上的成形面161和成形面162之间的区域Ca的树脂M0藉此，使位于区域Ca的树脂M 硬化。此时，相对于位于区域Ca的树脂M的硬化收缩，位于区域Ca的外周侧的区域的未硬化的树脂M流入，以对其收缩量进行填补。藉此，在区域Ca中，维持成形面161以及成形面 162与树脂M的接触。接下来，如图IlB所示的那样，使加热器16 动作，并使加热器16 升温。由加热器16 产生的热H，被传递到位于在其上重叠的成形面161和成形面162之间的区域Cb 的树脂M。藉此，使位于区域Cb的树脂M硬化。此时，相对于位于区域Cb的树脂M的硬化收缩，位于区域Cb的外周侧的区域的未硬化的树脂M流入，以对其收缩量进行填补。藉此， 区域Cb中，维持成形面161以及成形面162和树脂M的接触。另外，位于区域Ca的树脂 M，已经被硬化完了，因此，可以使重叠于区域Ca的加热器16 依然动作，也可以使之停止。接下来，如图IlC所示的那样，使加热器163c动作，使加热器163c升温。由加热器163c产生的热H，被传递到位于在其上重叠的成形面161和成形面162之间的区域Cc的树脂M。藉此，使位于区域Cc的树脂M硬化。此时，相对于位于区域Cc的树脂M的硬化收缩， 位于区域Cc的外周侧的区域的未硬化的树脂M，也即附着于下模具构件152的外周面166 的未硬化的树脂M流入，以对其收缩量进行填补。藉此，在区域Cc中，维持成形面161以及成形面162和树脂M的接触。另外，位于区域Ca的树脂M以及位于区域Cb的树脂M，已经硬化结束，因此，可以使重叠于区域Ca的加热器163a以及重叠于区域Cb的加热器16 仍然动作，也可以使之停止动作。接下来，如图IlD所示的那样，使除去构件15与下模具构件152的外周面166接触，并跨度外周面166的全周使除去构件155滑动(摺動)。藉此，将附着于外周面166的树脂M除去。如此，在成形面161和成形面162之间，设定同心的多个的圆状或圆环状的区域 Ca、Cb、Cc，并从内侧的区域Ca向外侧的区域Cc使位于各区域的树脂M顺次硬化，将在透镜阵列5的内部残留的应力，在与硬化时的区域相对应的每个部分分割，从而能够抑制由残余应力引起的透镜阵列5的收缩。藉此，能够降低多个透镜部32的排列的错位、间距的离散。并且，能够维持成形面161以及成形面162和树脂M的接触，能够将包含透镜成形部161a的成形面161以及包含透镜成形部16 的成形面162的形状正确地转印到树脂M。 藉此，能够提高基板部30以及透镜部32的形状精度。此外，将从成形面161和成形面162之间流出的剩余的树脂M除去，而使透镜阵列 5的外形为圆形，从而使得透镜阵列5的径向的收缩均勻化。藉此，能够将多个透镜部32的排列的错位、间距的离散进一步降低。图12表示图11的制造方法的变形例。图12所示的例是在上模具构件151的成形面161和下模具构件152的成形面162 之间，设定同心的多个的圆状或圆环状的区域，从外侧的区域向内侧的区域使位于各区域的树脂M顺次硬化。在图示的例中，在成形面161和成形面162之间，设定从中心到半径RO 的中央部的圆状的区域CO、从半径RO到半径Ra( > R0)的圆环状的区域Ca、从半径Ra到半径Rb (> Ra)的圆环状的区域Cb、以及从半径Rb到边缘(縁)(半径Re)的圆环状的区域Cc这4个的区域。另外，在成形面161和成形面162之间填充树脂M的工艺与图5所示的工艺同样，因此省略说明。在下模具构件152的成形面162的中央部(从中心到半径RO的区域)，设置积存树脂M的凹部167。另外，也可以在上模具构件151的成形面161的中央部设置树脂积存的凹部，也可以在成形面161的中央部以及成形面162的中央部的双方设置树脂积存的凹部。成形装置150的加热器163a、163b、163c中，最小径的加热器163a的半径，比半径 RO大且比半径Ra小，并且与成形面161和成形面162之间的区域Ca重叠。加热器16 的半径，比半径Ra大且比半径Rb小，并与成形面161和成形面162之间的区域Cb重叠。并且，加热器163c的半径比半径Rb大比半径Rc小，并与成形面161和成形面162之间的区
域Cc重叠。如图12A所示的那样，用树脂M填充成形面161和成形面162之间后，使加热器163c动作，并使加热器163c升温。由加热器163c产生的热H，被传递到位于重叠于其上的成形面161和成形面162之间的区域Cc的树脂M。藉此，使位于区域Cc的树脂M硬化。此时，相对于位于区域Cc的树脂M的硬化收缩，位于区域Cc的内周侧的区域的未硬化的树脂 M流入，以对其收缩量进行填补。藉此，区域Cc中，维持成形面161以及成形面162与树脂 M的接触。接下来，如图12B所示的那样，使加热器16 动作，使加热器16 升温。由加热器16 产生的热H，被传递到位于重叠于其上的成形面161和成形面162之间的区域Cb的树脂M。藉此，能够使位于区域Cb的树脂M硬化。此时，相对于位于区域Cb的树脂M的硬化收缩，位于区域Cb的内周侧的区域的未硬化的树脂M流入，以对其收缩量进行填补。藉此，在区域Cb中，维持成形面161以及成形面162与树脂M的接触。接下来，如图12C所示的那样，使加热器163a动作，并使加热器163a升温。由加热器163a所产生的热H，被传递到位于重叠于其上的成形面161和成形面162之间的区域 Ca的树脂M。藉此，使位于区域Ca的树脂M硬化。此时，相对于位于区域Ca的树脂M的硬化收缩，位于区域Ca的内周侧的区域的未硬化的树脂M，也即作为树脂积存的位于凹部167 的未硬化的树脂M流入，以对其收缩量进行填补。藉此，区域Ca中，维持成形面161以及成形面162与树脂M的接触。并且在使位于区域Ca的树脂M的硬化后，继续使加热器163a 动作，并利用在下模具构件152中沿径向扩散的热，使位于凹部167的树脂M硬化。接下来，如图12D所示的那样，利用除去构件155，将附着于下模具构件152的外周面166的树脂M除去，并使透镜阵列5的外形为圆形。图13表示图10的成形装置的变形例。图13所示的成形装置250中，在与上模具构件151的成形面相反侧的表面164，设置多个的收容孔165。多个的收容孔165，以与透镜阵列5中的多个透镜部32相同的排列在表面164排列，各收容孔165从表面164，延伸到成形面162的透镜成形部16 的近旁。硬化机构154，具有作为热源的一个加热器163和传热构件170。加热器163，被做成足够覆盖(覆々(二足D 3 )上模具构件151的表面164的直径(径)的圆盘状。传热构件170，被夹在加热器163和上模具构件151之间，并将由加热器163所产生的热传递到上模具构件151。传热构件170，由与加热器163大致相同的直径的圆盘状的基底171和设置于基底171的一方的表面的多个的大致圆柱状的凸起172所构成。凸起172，以与上模具构件151的表面164中的多个的收容孔165相同的排列在基底171的表面排列。各凸起 172，具有比收容孔165小的直径，且比收容孔165的深度长地形成。传热构件170使多个的凸起172的前端面(先端面)与上模具构件151的收容孔 165的底面接触而重叠在上模具构件151上。在凸起172的外周面和收容孔165的内周面之间设置间隙，并且，在设置凸起172的基底171的表面和上模具构件151的表面164之间设置间隙。由在这些的间隙夹杂的空气而形成绝热，从传热构件170向上模具构件151的传热，主要经由各凸起172的前端面和与此接触的上模具构件151的收容孔165的底面而进行。另外，也可以在上述的间隙填充绝热材。图14是表示使用图13的成形装置的透镜阵列的制造方法的一例。图14所示的例，在上模具构件151的成形面161和下模具构件152的成形面162 之间，设定形成透镜阵列5的多个透镜部32的区域Cd，以及形成透镜阵列5的基板部30的区域Ce，并使得将位于区域Cd的树脂先硬化。另外，在成形面161和成形面162之间，填充树脂M的工艺与图5所示的关于同样，因此省略说明。如图14A所示的那样，在加热器163和上模具构件151之间夹着(挟&行)传热构件170的状态使加热器163动作，而使加热器163升温。由加热器163产生的热，经由传热构件170的多个的凸起172的前端面，与这些前端面接触的上模具构件151的多个的收容孔165的底面，而被传热到上模具构件151。各收容孔165的底面，位于成形面162的透镜成形部16 的近旁，因此，被传递到上模具构件151的热H的较多地被传递到位于形成多个透镜部32的区域的树脂M。藉此，使位于区域Cd的树脂M硬化，而形成多个透镜部 32。相对于形成各透镜部32的树脂M的硬化收缩，位于各透镜部32的周围的未硬化的树脂M流入，以对其收缩量进行填补。藉此，维持形成各透镜部32的树脂M和，成形面161的透镜成形部161a以及成形面162的透镜成形部16 的接触。接下来，如图14B所示的那样，从加热器163和上模具构件151之间去掉(取0除 < )传热构件170，并将加热器163直接重叠于上模具构件151的表面164。由加热器163 所产生的热，同样地被传递到与上模具构件151的全体，也被传递到位于区域Ce的树脂M。 藉此，使位于区域Ce的树脂M硬化，而形成基板部30。相对于形成基板部30的树脂M的硬化收缩，位于基板部30的外周侧的区域未硬化的树脂M，也即附着于下模具构件152的外周面166的未硬化的树脂M流入，以对其收缩量进行填补。藉此，维持形成基板部30的树脂 M和成形面161以及成形面162的接触。接下来，图14C所示的那样，利用除去构件155除去附着于外周面166的树脂M，使透镜阵列5的外形为圆形。如以上那样而制造的透镜阵列5，由利用切刀(力”夕一)等将基板部30切断，而分割为分别包含透镜部32的多个的透镜模块3 (参照图1)。透镜模块3，如上述那样，在与传感器模块2的组合中构成摄像单元1。图15表示图1的摄像单元的制造方法的一例。如图15A所示的那样，将沿着在排列为行列状的多个透镜部32的行间、列间延伸的切断线(’ ^ > )L对基板部30进行切断。藉此，透镜阵列5，被分割为分别包含透镜部 32的多个透镜模块3。并且，如图15B所示的那样，将每个透镜模块3，隔着隔离体35而层叠于传感器模块2。通过以上，得到摄像单元1(参照图1)。图16表示图15的摄像单元的制造方法的变形例。在图16所示的例中，在传感器模块2层叠2个的透镜模块3。如图16A所示的那样，以与透镜阵列5中的透镜部32相同的排列，隔着排列有多个的隔离体35的相互连结的隔离体阵列9，而层叠二枚的透镜阵列5，构成透镜阵列层叠体 6。并且，沿切断线L将在层叠体6上包含的二枚的透镜阵列5的基板部30以及隔离体阵列9 一并(一括)切断。藉此，如图16B所示的那样，透镜阵列层叠体6，被分割为分别层叠有二个的透镜模块3而成的多个的透镜模块层叠体7。并且，如图16C所示的那样，将各个的透镜模块层叠体7隔着隔离体35而层叠于传感器模块2。通过以上，得到摄像单元1。如此，如果将预先层叠有多个的透镜模块3的透镜模块层叠体7层叠于传感器模块2，则与将这些透镜模块3在传感器模块2上顺次层叠的情况相比，能够提高摄像单元1 的生产性。
17
图17表示图1的摄像单元的制造方法的其他例。图17所示的例中，将透镜阵列5在传感器阵列4上层叠而构成作为多个的摄像单元1的集合体的元件阵列层叠体8，并在此后将元件阵列层叠体8分割为多个的摄像单元 1。传感器阵列4具有由硅等的半导体材料形成晶圆20，在晶圆20，以与透镜阵列5 中的透镜部32相同的排列形成多个的固体摄像元件22。典型地来说，晶圆20的直径，被做成6英寸、8英寸、或12英寸，并在此排列数千个的固体摄像元件22。隔着隔离体阵列9而将透镜阵列5层叠于传感器阵列4，构成元件阵列层叠体8。 并且，沿切断线L将元件阵列层叠体8所包含的传感器阵列4的晶圆20、透镜阵列5的基板部30、以及隔离体阵列9 一并切断。通过以上，元件阵列层叠体8，被分割为分别包含透镜部32以及固体摄像元件22的多个的摄像单元1。如此，在传感器阵列4上层叠一枚以上的透镜阵列5，其后将传感器阵列4的晶圆 20以及透镜阵列5的基板部30 —并切断而分割为多个的摄像单元1，如此的话，与将透镜模块3或它们的层叠体7组装于传感器模块2的情况相比，能够进一步提高摄像单元1的生产性。如以上说明的那样，本说明书所公开的透镜阵列的制造方法，是利用能量硬化性的树脂一体形成透镜阵列的透镜阵列的制造方法，其中所述透镜阵列具备一维或二维排列的多个透镜部；将所述多个透镜部之间填埋而将这些的透镜部相互连结的基板部，该透镜阵列的制造方法具备在一对的模具构件之间夹着所述树脂而变形的状态中在该树脂施加能量而使该树脂硬化的硬化工艺，所述硬化工艺中，使位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，针对预先设定的多个区域的每个，以不同的时序硬化。另外，本说明书所公开的透镜阵列的制造方法中，所述多个区域是同心的圆状或圆环状，所述硬化工艺，将位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，从内侧的区域向外侧的区域顺次硬化。另外，本说明书所公开的透镜阵列的制造方法中，所述多个区域是同心的圆状或圆环状，所述硬化工艺，使位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，从外侧的区域向内侧的区域而顺次硬化。另外，本说明书所公开的透镜阵列的制造方法中，所述多个区域，是形成所述多个透镜部的区域和形成所述基板部的区域，所述硬化工艺中，对于位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，使形成所述多个透镜部的区域先硬化，接着使形成所述基板部的区域硬化。另外，本说明书所公开的透镜阵列的制造方法中，所述树脂是紫外线硬化性的树脂，所述硬化工艺中，所述多个区域中，对于未硬化区域、或未硬化区域和硬化结束区域， 通过用掩膜覆盖其以外的区域，从而使之露出，并以该状态照射紫外线而使未硬化的树脂硬化。另外，本说明书所公开的透镜阵列的制造方法中，所述树脂是热硬化性的树脂，设置与所述多个区域的每个相对应的多个热源，所述硬化工艺根据所述多个区域的硬化顺序，而使所述多个热源顺次升温。另外，本说明书所公开的透镜阵列的制造方法中，所述是树脂是热硬化性的树脂，在至少一方的模具构件，设置从与树脂相接(接)的成形面相反侧的表面到达该成形面中形成各透镜部的部分的近旁的多个的孔，使形成所述多个透镜部的区域硬化时，在所述多个的孔的底面施加由热源产生的热，并使形成所述基板部的区域硬化时，将由所述热源产生的热施加于所述模具构件的所述表面。另外，本说明书所公开的透镜阵列的制造方法，在所述一对的模具构件之间，预先供给比用于形成透镜阵列所需要的量多的量的所述树脂，并在由所述一对的模具构件夹着所述树脂而变窄到规定的间隔时，使所述树脂从所述一对的模具构件之间溢出，并以所述溢出的未硬化的树脂和所述一对的模具构件之间所夹的树脂相连(繋C )的状态，进行所述硬化工艺。另外，本说明书所公开的透镜阵列的制造方法中，在所述一对的模具构件的至少一方的中央部，设置积存所述树脂的凹部，在所述一对的模具构件之间，预先供给比用于形成所述透镜阵列而需要的量多的量的所述树脂，并在供给所述树脂时或由所述一对的模具构件夹着所述树脂而变窄到规定的间隔时，使所述树脂流入到所述凹部，并以所述流入的未硬化的树脂和所述内侧的区域的树脂相连(繋C )的状态，进行所述硬化工艺。另外，本说明书所公开的透镜阵列，由上述任何一项记载的制造方法制造。另外，本说明书所公开的透镜阵列层叠体，具备多个上述的透镜阵列，并层叠这些的透镜阵列。另外，本说明书所公开的元件阵列层叠体，至少具备一个上述的透镜阵列，以及在晶圆上排列多个固体摄像元件的传感器阵列，所述透镜阵列被层叠于所述传感器阵列上。另外，本说明书所公开的透镜模块，从上述的透镜阵列，包含一个的所述透镜地被分割。另外，本说明书所公开的透镜模块层叠体，从上述的透镜阵列层叠体，包含在层叠方向排列的透镜地被分割。另外，本说明书所公开的摄像单元中，从上述的元件阵列层叠体，包含在层叠方向排列的固体摄像元件以及透镜地被分割。
权利要求
1.一种透镜阵列的制造方法，利用能量硬化性的树脂一体地形成透镜阵列，所述透镜阵列具备一维或二维状排列的多个透镜部、以及将所述多个透镜部之间填埋而将这些的透镜部相互连结的基板部，该透镜阵列的制造方法的特征在于，具备在用一对模具构件夹住所述树脂并使其变形的状态下，对该树脂赋予能量而使该树脂硬化的硬化工艺，所述硬化工艺中，对于位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，使预先设定的多个区域中的每个区域以不同的时序硬化。
2.根据权利要求1所述的透镜阵列的制造方法，其特征在于， 所述多个区域是同心的圆状或圆环状，所述硬化工艺中，使位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，从内侧的区域向外侧的区域顺次硬化。
3.根据权利要求1所述的透镜阵列的制造方法，其特征在于， 所述多个区域是同心的圆状或圆环状，所述硬化工艺中，使位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，从外侧的区域向内侧的区域顺次硬化。
4.根据权利要求1所述的透镜阵列的制造方法，其特征在于，所述多个区域是形成所述多个透镜部的区域和形成所述基板部的区域， 所述硬化工艺中，对于位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，使形成所述多个透镜部的区域先硬化，接着使形成所述基板部的区域硬化。
5.根据权利要求1 4中任一项所述的透镜阵列的制造方法，其特征在于， 所述树脂是紫外线硬化性的树脂，所述硬化工艺中，以使所述多个区域中的未硬化区域或者未硬化区域和硬化结束区域露出的方式用掩膜覆盖所述未硬化区域或者所述未硬化区域和硬化结束区域以外的区域， 并在该状态中照射紫外线而使未硬化的树脂硬化。
6.根据权利要求1 3中任一项所述的透镜阵列的制造方法，其特征在于， 所述树脂是热硬化性的树脂，设置与所述多个区域分别相对应的多个热源，所述硬化工艺中，按照所述多个区域的硬化顺序，使所述多个热源顺次升温。
7.根据权利要求6所述的透镜阵列的制造方法，其特征在于， 所述树脂是热硬化性的树脂，在至少一方的模具构件，设置从与树脂相接的成形面的相反侧的表面到达在该成形面中形成各透镜部的部分的附近的多个的孔，在使形成所述多个透镜部的区域硬化时，将由热源产生的热施加到所述多个孔的底面，使形成所述基板部的区域硬化时，将由所述热源产生的热施加于所述模具构件的所述表面。
8.根据权利要求1 4中任一项所述的透镜阵列的制造方法，其特征在于，在所述一对的模具构件之间，预先供给比用于形成所述透镜阵列所需要的量更多量的所述树脂，将夹着所述树脂的所述一对模具构件之间的间隔缩小到规定的间隔时，使所述树脂从所述一对的模具构件之间溢出，并保持所述溢出的未硬化的树脂和由所述一对的模具构件之间夹着的树脂相连的状态，进行所述硬化工艺。
9.根据权利要求3所述的透镜阵列的制造方法，其特征在于，在所述一对的模具构件的至少一方的中央部，设置积存所述树脂的凹部，在所述一对的模具构件之间，预先供给比用于形成所述透镜阵列所需要的量更多的量的所述树脂，在供给所述树脂时或将夹着所述树脂的所述一对模具构件之间的间隔缩小到规定的间隔时，使所述树脂流入到所述凹部，并保持所述流入的未硬化的树脂和所述内侧的区域的树脂相连的状态，进行所述硬化工艺。
10.一种透镜阵列，其特征在于，由权利要求1 9中任一项所记载的制造方法所制造。
11.一种透镜阵列层叠体，其特征在于，具备多个权利要求10所记载的透镜阵列，并将这些的透镜阵列层叠。
12.—种元件阵列层叠体，其特征在于，具备至少一个权利要求10所记载的透镜阵列，和在晶圆上排列有多个的固体摄像元件的传感器阵列，将所述透镜阵列层叠于所述传感器阵列上。
13.—种透镜模块，其特征在于，从权利要求10所记载的透镜阵列以包含一个所述透镜的方式分割而成。
14.一种透镜模块层叠体，其特征在于，从权利要求11所记载的透镜阵列层叠体，以包含在层叠方向排列的透镜的方式分割而成。
15.一种摄像单元，其特征在于，从权利要求12所记载的元件阵列层叠体，以包含沿层叠方向排列的固体摄像元件以及透镜的方式分割而成。
全文摘要
本发明公开一种透镜阵列的制造方法，能量硬化性的树脂一体地形成透镜阵列的透镜阵列，所述透镜阵列具备一维或二维状排列的多个透镜部、以及将所述多个透镜部之间填埋而使这些的透镜部相互连结的基板部，其中，具备以在一对的模具构件之间夹着所述树脂而使之变形的状态，对该树脂赋予能量而使该树脂硬化的硬化工艺，所述硬化工艺中，针对位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，使预先设定的多个区域的每个以不同的时序硬化。从而在由能量硬化性的树脂形成的透镜阵列中，降低多个透镜部的排列的错位、间距的离散。
文档编号B29D11/00GK102218834SQ201110068830
公开日2011年10月19日 申请日期2011年3月18日 优先权日2010年3月19日
发明者榊毅史 申请人:富士胶片株式会社