溶液制膜装置及方法与流程

本发明涉及溶液制膜装置及方法。

背景技术：

在智能手机或平板终端等中搭载的中小型显示器的市场中，要求进一步的高精细化。因此，对于这些显示器中使用的膜，要求比以往进一步提高膜面中的平滑度。此外，对于这些显示器中使用的膜，还一并要求使厚度更薄、具体而言制成40μm以下。

通常，膜被制造成长条，切割成目标大小后，供于使用。作为长条的膜的制造方法，大致分类有溶液制膜方法和熔融制膜方法。其中，溶液制膜方法在能够制造膜面更平滑的膜的方面比熔融制膜方法更有优势。溶液制膜方法是通过将聚合物溶解于溶剂中而得到的胶浆从流延模流出到移动的支撑体上而形成流延膜，并通过将该流延膜从流延支撑体上剥离来制造膜的方法。支撑体上的流延膜在朝向从支撑体上被剥取的剥取位置移送的期间通过送入干燥风等而溶剂挥发(蒸发)，被干燥至剥取后能够搬送的程度。

另一方面，流延膜、特别是刚流延后的流延膜由于表面不稳定，所以若急剧地使溶剂挥发(蒸发)，则存在产生厚度不均的问题。因此，在日本特开2013-156488号公报中，通过对流延膜吹喷包含溶剂的溶剂气体来防止厚度不均。此外，在日本特开2005-096182号公报中，通过同时进行溶剂气体的抽吸和溶剂气体的供给、抑制溶剂的急剧的挥发(蒸发)来防止厚度不均。

但是，如日本特开2013-156488号公报那样仅对流延膜吹喷溶剂气体时，存在流延膜的干燥没有进展、剥取之前的时间变长、生产效率差的问题。与此相对，在日本特开2005-096182号公报中，由于在规定的区域内不仅供给溶剂气体还进行抽吸，所以通过将该区域内的溶剂的浓度控制为流延膜的干燥适度地进展的程度，还能够抑制生产效率的降低。

然而，在日本特开2005-096182号公报中，存在以下问题：区域内的各位置处的溶剂气体的浓度不同，起因于此而使得流延膜的各位置处的干燥的程度不同，产生厚度不均。

技术实现要素：

本发明的目的是提供能够抑制生产效率的降低、并且防止厚度不均的溶液制膜装置及方法。

本发明的溶液制膜装置具备一对遮风板、溶剂气体抽吸机构和溶剂气体供给机构，通过将聚合物溶解于溶剂中而得到的聚合物溶液流延到移动的支撑体上而形成流延膜。一对遮风板沿着流延膜的侧缘而设置，将支撑体的上方的空间分隔成流延膜所流延的内侧区域、和流延膜的外侧的外侧区域。溶剂气体抽吸机构从配置在内侧区域内的吸气口进行吸气，对包含从流延膜挥发的溶剂的溶剂气体进行抽吸。溶剂气体供给机构将包含使聚合物溶解的溶剂的溶剂气体供给到支撑体与遮风板之间的间隙。

在将流延膜中的溶剂的质量设为ms，将流延膜的质量设为mf时，优选在以{ms/(mf-ms)}×100表示的溶剂含有率为200％以上的区域中，进行利用溶剂气体抽吸机构的抽吸、和利用溶剂气体供给机构的供给。

优选设置将一个遮风板的上端部与另一个遮风板的上端部连接的盖部件，并通过盖部件将内侧区域从上方覆盖。

也可以在内侧区域中设置红外线照射机，红外线照射机通过对流延膜照射红外线，从而促进流延膜中包含的溶剂的挥发。

溶剂气体供给机构也可以是从设置在遮风板的下端部的侧面的供给口进行供给的机构。

溶剂气体供给机构也可以是从供给口朝向下方的支撑体垂直地供给包含使聚合物溶解的溶剂的溶剂气体的机构。

在将溶剂气体抽吸机构所抽吸的溶剂气体即抽吸气体的浓度设为a，将溶剂气体供给机构所供给的溶剂气体即供给气体的浓度设为b时，优选满足a/5≤b。

在将溶剂气体抽吸机构所抽吸的溶剂气体即抽吸气体的浓度设为a，将溶剂气体供给机构所供给的溶剂气体即供给气体的浓度设为b时，优选满足b≤a。

优选具备测定溶剂气体抽吸机构所抽吸的溶剂气体的浓度的传感器、和基于传感器的测定结果而控制从溶剂气体供给机构供给的溶剂气体的浓度的供给气体浓度控制机构。

也可以从溶剂气体供给机构供给溶剂气体抽吸机构所抽吸的溶剂气体。

通过将流延膜从支撑体上剥取而制造的膜的厚度也可以为40μm以下。

本发明的溶液制膜方法具有流延膜形成步骤、移送步骤和剥取步骤。流延膜形成步骤是将聚合物溶解于溶剂中而得到的聚合物溶液流延到移动的支撑体上而形成流延膜。移送步骤是将流延膜移送至从支撑体上剥取的剥取位置。剥取步骤是在剥取位置将流延膜从支撑体上剥取。在移送步骤中，通过沿着流延膜的侧缘而设置的一对遮风板，将支撑体的上方的空间分隔成流延膜所流延的内侧区域和流延膜的外侧的外侧区域，从配置在内侧区域内的吸气口进行吸气，对包含从流延膜挥发的溶剂的溶剂气体进行抽吸，从支撑体与遮风板之间的间隙供给包含使聚合物溶解的溶剂的溶剂气体。

根据本发明，通过从流延膜的上方的区域(内侧区域)抽吸溶剂气体，促进流延膜的干燥，能够抑制生产效率的降低。此外，根据本发明，通过从伴随溶剂气体的抽吸而新的空气流入的部位、即遮风板与支撑体的间隙供给溶剂气体，能够使流延膜的表面附近的各位置处的溶剂浓度匀称化(能够防止流延膜的侧缘部附近的溶剂浓度相对于流延膜的中央部附近的溶剂浓度降低)，还能够防止厚度不均。

附图说明

上述目的、优点通过参照所附的附图，并阅读优选的实施例的详细的说明，本领域技术人员可以容易地理解。

图1是溶液制膜装置的概略图。

图2是表示溶剂气体抽吸机构的构成的说明图。

图3是表示溶剂气体供给机构的构成的说明图。

具体实施方式

如图1中所示的那样，本发明的溶液制膜装置10是用于通过将胶浆12流延到支撑体上而形成流延膜14，使流延膜14干燥后从支撑体上剥取来制造膜16的装置。溶液制膜装置10从上游侧起依次设置有流延装置20、拉幅机22、辊干燥装置24、切条机26、卷取装置28。另外，本实施方式中，通过溶液制膜装置10，制造厚度为10μm以上且40μm以下的膜16。

胶浆12是聚合物溶解于溶剂中而得到的聚合物溶液，本实施方式中，作为聚合物，使用三醋酸纤维素(tac，triacetylcellulose)。在聚合物溶液中，作为成为膜16的固体成分，也可以包含除聚合物以外的固体成分。作为除聚合物以外的固体成分，例如有增塑剂、紫外线吸收剂、延迟控制剂、微粒等，本实施方式中包含增塑剂。微粒是为了对膜16赋予滑动性和/或耐擦伤性、或者抑制重叠膜16时的粘附等目的而使用的所谓的消光剂。在将固体成分的质量设为mp，将溶剂的质量设为ms时，胶浆12中的固体成分以mp/(mp+ms)×100所表示的百分率计，设定为10％以上且23％以下的范围内，本实施方式中设定为19％。

作为溶剂，本实施方式中，使用二氯甲烷与甲醇的混合物。溶液制膜中使用的溶剂通常使用在气体状态下比气氛(例如空气)重的溶剂，本实施方式的溶剂也在气体状态下比气氛(例如空气)重。溶剂并不限于本实施方式的例子，例如可以使用丁醇、乙醇、丙醇等，它们也可以作为混合物而将2种以上并用。

另外，本说明书中，膜16(或流延膜14)的溶剂含有率(单位：％)为干量基准的值。具体而言，在将区域a中的溶剂的质量设为ms，将区域a中的膜16(或流延膜14)的质量设为mf时，任意的区域a中的膜16(或流延膜14)的溶剂含有率(单位：％)为以{ms/(mf-ms)}×100表示的百分率。

流延装置20具备形成为环状的无接头的流延支撑体即带30、和沿周向旋转的第1辊32及第2辊34。带30被卷挂到第1辊32和第2辊34的周面上。第1、第2辊32、34中的至少一个为接受来自驱动机构的驱动力的供给而旋转的驱动辊，本实施方式中，第1辊32和第2辊34这两者被设为驱动辊。通过该驱动辊沿周向进行旋转，从而与周面相接的带30沿长度方向进行移动、并循环。

在带30的上方，设置有将胶浆12流出的流延模36。通过使胶浆12从流延模36连续地流出到移动的带30上，从而胶浆12在带30上被流延，由此形成流延膜14。另外，以下将胶浆12开始与带30接触的位置称为流延位置pc。

本实施方式中，将流延模36设置在第1辊32上的带30的上方，流延位置pc成为第1辊32上。但是，流延模36的位置并不限定于此。例如，也可以在第1辊32与第2辊34之间的带30的上方设置流延模36。这种情况下，优选在通过配置在第1辊32与第2辊34之间的带30的下方的辊38而被支撑的带30的上方配置流延模36。

第1辊32和第2辊34分别具备控制周面温度的温度控制器(未图示)。例如，第1辊32通过温度控制器按照周面温度成为规定的范围的方式被冷却。通过将第1辊32冷却，从而带30在每1周被冷却。由此，即使连续移动并通过后述的吸气干燥单元40和送风干燥单元42被持续加热，也可以抑制带30、特别是两侧部的温度上升。此外，第2辊34通过温度控制器按照周面温度成为规定的范围的方式被加热。通过将第2辊34加热，从而流延膜14更有效地进行干燥。

另外，第1辊32的周面温度优选设定为3℃以上且30℃以下的范围，更优选设定为5℃以上且25℃以下的范围，进一步优选设定为8℃以上且20℃以下的范围。此外，第2辊34的周面温度优选设定为20℃以上且50℃以下的范围，更优选设定为25℃以上且45℃以下的范围，进一步优选设定为30℃以上且40℃以下的范围。

关于从流延模36至带30的胶浆12、即所谓的流延珠，在带30的移动方向的上游侧，设置有减压腔室(未图示)。减压腔室将流延珠的上游侧区域(图1中为流延珠的右侧的区域)的气氛进行抽吸，由此将该区域减压。由此，由于流延珠被上游侧牵引，所以即使流延膜14向下游侧移动，流延位置pc也不会发生变化而变得恒定(流延位置pc稳定)。

带30上的流延膜14经由后述的吸气干燥单元40和送风干燥单元42，被凝固(凝胶化)至能够向拉幅机22搬送的程度为止，然后以包含溶剂的状态从带30上剥取，通过该剥取而成为膜16。剥取优选在溶剂含有率成为70％以下后进行，更优选在10％以上且70％以下的范围内、进一步优选在20％以上且50％以下的范围内进行。

在剥取时，以剥取辊44将膜16进行支撑，将流延膜14从带30上被剥离的剥取位置pp保持恒定。剥取辊44也可以是具备驱动机构而沿周向旋转的驱动辊。另外，剥取在第1辊32上的带30上进行。若带30循环而从剥取位置pp返回至流延位置pc，则在流延位置pc处，新的胶浆12再次被流延。

在流延位置pc与剥取位置pp之间，设置有吸气干燥单元40和送风干燥单元42。吸气干燥单元40被配置在从流延位置pc朝向第2辊34的带30的上方，通过将包含从流延膜14挥发(蒸发)的溶剂的溶剂气体进行抽吸而促进流延膜14的干燥。吸气干燥单元40优选设置在流延膜14的溶剂含有率成为200％以上的区域的上方，本实施方式中，通过吸气干燥单元40，使流延膜14干燥至溶剂含有率成为300％为止。即，本实施方式中，在溶剂含有率成为300％以上的区域的上方配置有吸气干燥单元40。另外，吸气干燥单元40的详细情况利用别的附图在后面叙述。

送风干燥单元42被设置在吸气干燥单元40的下游侧，从上游侧起以沿着带30的移动方向排列的状态依次配置有第1送风部46、排气部48、第2送风部50。第1送风部46被配置在从第1辊32朝向第2辊34的带30的移动路径附近，排气部48和第2送风部50被配置在从第2辊34朝向第1辊32的带30的移动路径附近。

第1送风部46和第2送风部50将干燥后的气体流出，排气部48将气体进行抽吸、排气。送风干燥单元42具备控制器52，控制器52对第1送风部46和第2送风部50输送干燥后的气体(以下，称为干燥气体)例如空气，并独立地调节该气体的温度、湿度、来自第1送风部46和第2送风部50的流量、排气部48中的气体的抽吸力。本实施方式中，来自第1送风部46和第2送风部50的干燥气体通过控制器52被加热至大概100℃。通过将这样加热后的气体作为温风流动到流延膜14上，从而将流延膜14进行加热，促进干燥。干燥气体的温度优选为50℃以上且140℃以下的范围内。

第1送风部46按照流出干燥气体的流出口46a朝向带30的移动方向的方式配置，由此，对搬送的流延膜14以顺风供给干燥气体。该干燥气体成为相对于流延膜14的膜面平行的流体。第2送风部50按照流出干燥气体的流出口50a朝向与带30的移动方向相反一侧的方式配置，由此，对搬送的流延膜14以逆风供给干燥气体。该干燥气体也成为相对于流延膜14的膜面平行的流体。排气部48按照抽吸气体的吸气口48a朝向所通过的流延膜14的方式配置，在第1送风部46与第2送风部50之间抽吸气体。流出口46a、流出口50a、吸气口48a为沿带30的宽度方向(图1的纸面深度方向)延长的狭缝状的开口。

另外，本实施方式中，通过控制器52分别独立地控制第1送风部46和排气部48和第2送风部50，但并不限于该方式。例如，也可以在第1送风部46和排气部48和第2送风部50上分别设置控制器(无图示)，通过各控制器来控制第1送风部46和排气部48和第2送风部50。

这样，通过吸气干燥单元40和送风干燥单元42而干燥的流延膜14通过剥取辊44从带30上剥取而成为膜16，并被引导至拉幅机22中。也可以在流延装置20与拉幅机22之间的搬送路径中配置送风装置(无图示)。通过来自该送风装置的送风，膜16的干燥得到促进。

拉幅机22是一边将膜16搬送一边促进干燥的第1膜干燥装置。本实施方式的拉幅机22还进行拉伸处理，即，通过一边将膜16的各侧部以作为保持部件的夹子22a保持而沿长度方向进行搬送，一边赋予宽度方向上的张力，从而将膜16沿宽度方向进行拉伸。在拉幅机22中，从上游侧起依次形成有预热区域、拉伸区域、及松弛区域。另外，也可以没有松弛区域。

拉幅机22具备1对轨道(无图示)及链条(无图示)。轨道被设置在膜16的搬送路径的两侧，1对轨道以规定的间隔配置成分离的状态。该轨道间隔在预热区域中恒定，在拉伸区域中随着朝向下游而逐渐变宽，在松弛区域中恒定。另外，松弛区域的轨道间隔也可以随着朝向下游而逐渐变窄。

链条被架设在原动链轮(无图示)及从动链轮(无图示)上，沿着轨道而移动自如地安装。多个夹子22a以规定的间隔安装于链条上。通过原动链轮的旋转，夹子22a沿着轨道而循环移动。夹子22a在拉幅机22的入口附近，开始进行对被引导来的膜16的保持，朝向出口移动，在出口附近解除保持。解除保持后的夹子22a再次移动至入口附近，重新保持被引导来的膜16。

此外，拉幅机22具备送风机22b。送风机22b被设置在膜16的搬送路径的上方。送风机22b具有将干燥气体(例如干燥后的空气)送出的狭缝(无图示)，干燥气体由送风部(无图示)供给。送风部将调整为规定的温度和/或湿度的干燥风送至送风机22b中。送风机22b以狭缝与膜16的搬送路径相对的状态配置。各狭缝为沿膜16的宽度方向伸长的形状，在搬送方向上彼此空出规定的间隔而形成。另外，也可以将具有同样的结构的送风机设置在膜16的搬送路径的下方，也可以设置在膜16的搬送路径的上方和下方这两者上。

辊干燥装置24为用于使膜16进一步干燥的第2干燥装置。辊干燥装置24的内部的气氛的温度和/或湿度等通过空调机(无图示)而调节。在辊干燥装置24中，膜16被卷挂在许多的辊24a上而被搬送。

切条机26是用于将膜16的两侧部切除而制成目标宽度的设备。在该切除中，将膜16的包含由夹子22a产生的保持痕的两侧部切除。卷取装置28将膜16卷到卷芯上而制成卷状。

以下，对吸气干燥单元40，参照图2和图3更详细地进行说明。如图2中所示的那样，吸气干燥单元40具备一对曲径密封垫片60、62和干燥箱64，它们被配置在流延位置pc的下游侧。一对曲径密封垫片60、62被配置在流延膜14的长度方向(搬送方向)上游侧和下游侧。干燥箱64被配置在夹在曲径密封垫片60与曲径密封垫片62之间的位置，将流延膜14从上方覆盖。

曲径密封垫片60、62沿流延膜14的宽度方向延长，具备以相对于带30垂直的立起姿态配置的多个密封板66，这些多个密封板66是沿着流延膜14的长度方向(搬送方向)排列的密封板。通过这些曲径密封垫片60、62，可以防止外界空气从流延膜14的长度方向(搬送方向)上游侧及下游侧流入至干燥箱64内。

如图3中所示的那样，干燥箱64由在流延膜14的宽度方向上相对的一对遮风板68、70、和以将遮风板68、70的上端部连接的状态设置的盖板(盖部件)72构成。遮风板68、70沿着流延膜14的侧缘在流延膜14的长度方向(搬送方向)上延长(延伸的方式)地形成，以相对于带30垂直的立起姿态配置。通过该遮风板68、70，带30的上方的空间被分隔成流延膜14所流延的内侧区域74和流延膜14的外侧的外侧区域76(参照图3)。此外，通过盖板72，内侧区域74的上端部被闭端。这样，通过干燥箱64，流延膜14的上方的空间(内侧区域74)被覆盖。

此外，在吸气干燥单元40中，设置有溶剂气体抽吸机构80(参照图2)。溶剂气体抽吸机构80具备红外线加热器(红外线照射机)82、吸气管道84、吸气风扇86、吸气控制器88和冷凝器90。红外线加热器82例如在干燥箱64的盖板72的内侧部分以矩阵状配置，通过朝向流延膜14照射红外线，将流延膜14进行加热，从而促进流延膜14的干燥。

吸气管道84以贯通盖板72的状态形成，设置在一端部的吸气口84a配置在内侧区域74内，另一端部与冷凝器90连接。本实施方式中，将吸气口84a形成为沿流延膜14的宽度方向延长的狭缝状，配置在干燥箱64的盖板72中的流延膜14的长度方向(搬送方向)中央部。另外，由于吸气口84a的配置位置和形状能够自由地设定，所以例如也可以将沿流延膜14的搬送方向延长的狭缝状的开口设置在盖板72中的流延膜14的宽度方向中央部。

吸气风扇86配置在吸气管道84的内部，基于吸气控制器88的控制而旋转。通过该旋转，内侧区域74的气氛(即包含从流延膜14挥发(蒸发)的溶剂的溶剂气体)从吸气口84a被抽吸，介由吸气管道84送向冷凝器90。吸气控制器88通过控制对吸气风扇86供给的驱动力(电力等)，来控制溶剂气体的抽吸力(每单位时间的抽吸量)。冷凝器90例如通过将溶剂气体冷却，从而将溶剂气体中的溶剂液化。液化后的溶剂被回收，作为胶浆12再利用、或送向后述的溶剂气体生成装置102，用于溶剂气体的生成。

这样，通过从内侧区域74抽吸溶剂气体，能够高效地促进流延膜14的干燥。另一方面，当仅抽吸溶剂气体时，与内部区域74相比溶剂气体的浓度较低的(例如溶剂气体的浓度大致为0％)外界空气(新鲜风)从外侧区域76流入通过抽吸而被减压的内侧区域74中。在本实施方式的情况下，仅抽吸溶剂气体时，新鲜风从遮风板68、70与带30之间的间隙、即流延膜14的两侧部流入内侧区域74中。

于是，存在以下问题：在像这样流入内侧区域74中的新鲜风的影响下，内侧区域74内的溶剂气体的浓度产生不均，流延膜14的各位置处的干燥的进行程度不同，在流延膜14和/或膜16中产生厚度不均。在本实施方式的情况下，当仅抽吸溶剂气体时，起因于在新鲜风所流入的流延膜14的两侧部与新鲜风没有流入的中央部的溶剂气体的浓度不同，从而在流延膜14(膜16)中产生厚度不均。

为了防止由这样的新鲜风的影响而引起的厚度不均，在吸气干燥单元40中设置有溶剂气体供给机构100。溶剂气体供给机构100具备溶剂气体生成装置102、溶剂气体供给管道104、送气风扇106和供给气体控制器(供给气体浓度控制机构)108。

溶剂气体生成装置102例如通过将溶剂喷雾、或者通过将溶剂加热而使其挥发(蒸发)等，生成包含溶剂的溶剂气体。另外，溶剂气体生成装置102中使用的溶剂可以为与胶浆12的溶剂同一组成的溶剂，也可以为组成与胶浆12的溶剂不同的溶剂。此外，也可以将通过上述的冷凝器90回收的溶剂在溶剂气体生成装置102中使用。

溶剂气体供给管道104的一端与溶剂气体生成装置102连接，另一端与一对供给箱110、112连接。供给箱110、112在流延膜14的长度方向(搬送方向)上延长(延长的方式)地形成，配置在遮风板68、70的外侧。在供给箱110的下表面的遮风板68侧，形成有沿流延膜14的长度方向(搬送方向)延长的狭缝状的供给口110a。同样地，在供给箱112的下表面的遮风板70侧，形成有沿流延膜14的长度方向(搬送方向)延长的狭缝状的供给口112a。在溶剂气体供给管道104的内部，设置有送气风扇106，通过溶剂气体生成装置102生成的溶剂气体通过送气风扇106被送至供给箱110、112，从供给口110a、112a朝向下方的带30垂直地供给。

另外，供给口110a、112a也可以制成由多个微细的孔的集合构成的多孔质状的开口。此外，以从供给口110a、112a向下方垂直地供给溶剂气体的例子进行了说明，但也可以制成从供给口110a、112a朝向内侧(内侧区域74)和/或外侧(外侧区域76)供给溶剂气体的构成。

通过像这样供给溶剂气体，从而所供给的溶剂气体作为覆盖遮风板68、70与带30之间的间隙的空气幕发挥功能，能够防止新鲜风向内侧区域74流入。此外，通过溶剂气体抽吸机构80而内侧区域74的溶剂气体被抽吸，即使通过该抽吸而使得内侧区域74被减压，从遮风板68、70与带30之间的间隙流入至内侧区域74的也不是新鲜风，而是从供给口110a、112a供给的溶剂气体。由此，能够防止上述的厚度不均。

供给气体控制器108是为了控制从供给口110a、112a供给的溶剂气体的量和浓度、更可靠地防止厚度不均而设置的。在供给气体控制器108上，连接有上述的送气风扇106，供给气体控制器108通过控制对送气风扇106供给的驱动力(电力等)，来控制溶剂气体的供给量(每单位时间的供给量)。另外，溶剂气体的供给量优选为溶剂气体抽吸机构80所抽吸的溶剂气体的抽吸量以上。

此外，在供给气体控制器108上，除了上述的溶剂气体生成装置102以外，还连接有传感器114。传感器114配置在内侧区域74内，检测内侧区域74内的溶剂浓度、即通过溶剂气体抽吸机构80而抽吸的溶剂气体的浓度。本实施方式中，在干燥箱64的上游侧端部且流延膜14的宽度方向中央部，在距离带30为约2cm的位置(带30的约2cm上方)配置有传感器114。另外，传感器114的配置位置并不限定于此，只要是内侧区域74内，则可以自由地设定，但优选尽量配置在上游侧。此外，优选配置在流延膜14的宽度方向中央部。

供给气体控制器108基于利用传感器114检测的溶剂气体浓度、以及通过送气风扇106供给的溶剂气体的供给量，控制溶剂气体生成装置102(控制溶剂的喷雾量和/或加热温度(挥发(蒸发)量)等)，并控制从供给口110a、112a供给的溶剂气体的浓度。

另外，从供给口110a、112a供给的溶剂气体的浓度越稀，防止厚度不均的效果越降低。因此，在将溶剂气体抽吸机构80所抽吸的溶剂气体(以下，有时称为抽吸气体)的浓度设为“a”，将从供给口110a、112a供给的溶剂气体(以下，有时称为供给气体)的浓度设为“b”时，优选满足“a/5≤b”，即，将供给气体的浓度b设定为抽吸气体的浓度a的1/5以上。另外，上述的浓度a和浓度b均为体积浓度。

此外，从供给口110a、112a供给的溶剂气体的浓度越浓，流延膜14的干燥越难以促进。因此，优选满足“b≤a”，即，将供给气体的浓度b设定为抽吸气体的浓度a以下。

如以上那样，在溶液制膜装置10中，经由以下步骤来制造膜16：通过将胶浆12从流延模36流延到带30上，形成流延膜14的步骤(流延膜形成步骤)；通过使流延膜14经由吸气干燥单元40和送风干燥单元42而一边干燥一边搬送(移送)至剥取位置pp的步骤(移送步骤)；在剥取位置pp处将流延膜14从带30上剥取的步骤(剥取步骤)。

并且，在移送步骤中，一边从被干燥箱64覆盖的内侧区域74抽吸溶剂气体而促进流延膜14的干燥，一边对干燥箱64(遮风板68、70)与带30的间隙供给溶剂气体来阻止新鲜风流入内侧区域74中。这样操作来防止厚度不均的发生。

另外，在上述实施方式中，以独立设置溶剂气体抽吸机构80和溶剂气体供给机构100、且独立地进行溶剂气体的抽吸和供给的构成为例进行了说明，但也可以制成将溶剂气体抽吸机构80和溶剂气体供给机构100中的至少一部分连结、并连动地进行溶剂气体的抽吸和供给的构成。

具体而言，也可以制成以下构成：将吸气管道84(参照图2)和溶剂气体供给管道104(参照图3)连接，此外，使吸气管道84分支，将分支的管道中的至少1个与溶剂气体供给管道104连接，从溶剂气体供给管道104供给吸气管道84中所抽吸的溶剂气体。这种情况下，优选设置调整吸气管道84中所抽吸的溶剂气体的浓度的浓度调整机构。浓度调整机构在减小溶剂气体的浓度的情况下，例如，将溶剂气体冷却而将溶剂的一部分液化，此外，使溶剂浓度比吸气管道84中所抽吸的溶剂气体低的气体(例如新鲜风)与吸气管道84中所抽吸的溶剂气体合流。此外，浓度调整机构在增大溶剂气体的浓度的情况下，例如，通过将溶剂喷雾或加热而生成浓度比吸气管道84中所抽吸的溶剂气体高的溶剂气体，与吸气管道84中所抽吸的溶剂气体合流。

这样，由于通过将溶剂气体抽吸机构80和溶剂气体供给机构100中的至少一部分连结，例如能够使吸气风扇86(参照图2)和/或送气风扇106(参照图3)一体化(废除其中一个)、或者将冷凝器90和/或溶剂气体生成装置102作为上述的浓度调整机构而一体化，所以能够实现溶液制膜装置的小型化和/或成本降低。

此外，在上述实施方式中，作为胶浆12的聚合物，使用了三醋酸纤维素(tac)，但也可以使用其他的纤维素酰化物来代替tac。纤维素酰化物的酰基可以仅为1种，或者也可以具有2种以上的酰基。在酰基为2种以上时，优选其中一个为乙酰基。优选将纤维素的羟基被羧酸酯化的比例、即酰基的取代度满足下述式(i)～(iii)的全部。另外，在以下的式(i)～(iii)中，a及b表示酰基的取代度，a为乙酰基的取代度，此外b为碳原子数为3～22的酰基的取代度。

(i)2.0≤a+b≤3.0

(ii)1.0≤a≤3.0

(iii)0≤b≤2.0

酰基的全取代度a+b更优选为2.20以上且2.90以下，特别优选为2.40以上且2.88以下。此外，碳原子数为3～22的酰基的取代度b更优选为0.30以上，特别优选为0.5以上。

此外，胶浆12的聚合物并不限于纤维素酰化物。例如，也可以是丙烯酸树脂、环状烯烃树脂(例如jsr(株)制的arton(注册商标))等。

以下，对本发明的实施例、及用于与实施例比较的比较例进行说明。

在全部的实施例及比较例中，将成为膜16的固体成分溶解到作为溶剂的第1成分的二氯甲烷92质量份与作为溶剂的第2成分的甲醇8质量份的混合物中，制作固体成分为19.0质量％的胶浆12。固体成分为以下的tac和第1增塑剂和第2增塑剂。第1增塑剂为磷酸三苯酯，第2增塑剂为联苯基二苯基磷酸酯。制作的胶浆12在静置脱泡后，通过送液泵经由过滤器而除去异物，将异物除去后的胶浆12供于流延。

tac100质量份

第1增塑剂7质量份

第2增塑剂5质量份

使用该胶浆12，制造厚度为40μm的膜16。在膜16的制造中，使用溶液制膜装置10(参照图1)，带30的移动速度设定为50m/分钟。

并且，在实施例中，使溶剂气体供给机构100(参照图3)工作而制造膜16。即，在实施例中，以即使通过利用溶剂气体抽吸机构80(参照图2)的抽吸而干燥箱64内被减压、新鲜风也不会从遮风板68、70与带30的间隙流入干燥箱64内的构成来制造膜16。

另一方面，在比较例中，使溶剂气体供给机构100停止来制造膜16。即，在比较例中，以在通过利用溶剂气体抽吸机构80的抽吸而干燥箱64内被减压的情况下、新鲜风从遮风板68、70与带30的间隙流入至干燥箱64内的构成来制造膜16。

各实施例及各比较例是变更抽吸气体浓度a(为抽吸气体中的溶剂气体的浓度，由传感器114测定的浓度)、供给气体浓度b(供给气体中的溶剂气体的浓度)、膜上风速(为膜上的气体的风速，基于抽吸气体的抽吸量而发生变化)来进行膜16的制造的例子。各实施例及各比较例各自的抽吸气体浓度a、供给气体浓度b、气体浓度比率(a/b)、膜上风速如表1、表2中所示的那样。

[表1]

[表2]

评价了以表1、表2中所示的各条件制造的各实施例及各比较例的膜16的厚度不均。评价结果同样示于表1、表2中。评价设为“a”、“b”、“c”的3个等级。评价a为最高的评价，评价c为最低的评价。评价以以往的构成、即使溶剂气体供给机构100停止而制造膜16的比较例1-4作为基准而设为评价c，与以往相比厚度不均得到改善的情况设为评价b，改善更加推进而得到基本没有厚度不均的平滑的膜16的情况设为评价a。

具体而言，通过从膜的背面侧照射光，并以目视观察透射光的浓淡差来进行评价。另外，浓淡差是作为微小的差异而被确认(观察)的，如上述那样，以比较例1-4中见到的浓淡差作为基准而设为评价c。此外，在与比较例1-4相比浓淡差变小的情况下，设为评价b。进而，在通过目视没有见到浓淡差的情况下，作为没有厚度不均的膜而设为评价a。

如表1、表2中所示的那样，能够确认使溶剂气体供给机构100工作的各实施例与没有使溶剂气体供给机构100工作的比较例相比，能够防止厚度不均。此外，由实施例1a～1d、2a～2e、3a～3e、4a、4b与除它们以外的实施例的比较，能够确认通过满足“a/5≤b”、即将供给气体的浓度b设定为抽吸气体的浓度a的1/5以上，更加能够防止厚度不均。

另外，将制造的膜16的厚度由上述的40μm变更为25μm，进行同样的验证。该情况下结果也与上述的40μm的情况同样(参照表1、表2)。由此，能够确认即使是膜16的厚度为25μm的情况下，本发明也是有效的。