一种晶圆涂膜设备的制作方法

本发明涉及晶圆涂膜领域，尤其是涉及到一种晶圆涂膜设备。

背景技术：

晶圆是芯片的制作原料，在制作芯片时需要对晶圆进行加工才能使芯片达到标准，晶圆在加工时会通过晶圆涂膜设备对晶圆进行涂膜加工，使液体涂膜包裹覆盖在晶圆表面，使得晶圆的抗氧化能力及耐高温能力大大提高。

目前现有的一种晶圆涂膜设备，在对晶圆进行涂膜时由于涂膜材料为液体涂膜，液体涂膜在晶圆表面流动，使得在将涂膜进行推平时液体涂膜向晶圆边缘流动，致使部分液体涂膜流至晶圆支撑座内堆积，导致晶圆摆放不平稳影响晶圆表面涂膜的均匀程度。

技术实现要素：

针对现有的一种晶圆涂膜设备，在对晶圆进行涂膜时由于涂膜材料为液体涂膜，液体涂膜在晶圆表面流动，使得在将涂膜进行推平时液体涂膜向晶圆边缘流动，致使部分液体涂膜流至晶圆支撑座内堆积，导致晶圆摆放不平稳影响晶圆表面涂膜的均匀程度的不足，本发明提供一种晶圆涂膜设备来解决上述技术问题。

本发明是通过如下的技术方案来实现：其结构包括储存箱、按钮、显示器、输膜器，所述按钮安装在储存箱左侧，所述显示器嵌设于储存箱前侧，所述输膜器两端分别通过焊接连接于储存箱背面与储存箱顶部，所述储存箱包括储存腔、固定板、涂膜箱、通管，所述储存腔嵌设于储存箱内部，且储存腔与输膜器一端相接通，所述固定板通过水平焊接连接于储存腔内壁，所述涂膜箱底部嵌固于固定板上表面，所述通管垂直设于涂膜箱顶部，且通管顶部与输膜器另一端相连接，所述固定板呈网格状，并且涂膜箱顶端外表面由下往上向内倾斜。

更进一步的说，所述涂膜箱包括盖板、把手、涂膜槽、刮板、支撑台、固定块，所述盖板底部与涂膜箱上内壁相啮合，所述把手通过螺栓连接于盖板顶部外表面，所述涂膜槽嵌设于盖板与涂膜箱内部，所述刮板顶部嵌固于盖板内底部，所述支撑台安装在刮板正下方，且支撑台嵌固于涂膜箱内壁，所述固定块上表面与涂膜箱底部相焊接，且固定块安装在涂膜箱内底部，所述把手有两块，且刮板的位置能够上下调节，并且涂膜箱内底部镂空。

更进一步的说，所述支撑台包括支撑杆、支撑簧、夹板、空槽、支撑块，所述支撑杆嵌固于支撑台外表面，所述支撑簧一端通过焊接连接于支撑台内壁，所述夹板与支撑簧另一端相连接，所述空槽嵌设于支撑台内壁，且空槽位于夹板内侧，所述支撑块嵌固于空槽中心处，所述支撑簧具有向内推动夹板的推力，且夹板有四块，并且夹板呈弧形弯曲。

更进一步的说，所述支撑杆包括限位块、弹簧、移动板、移动杆，所述限位块嵌固于支撑杆内壁，所述弹簧顶部通过焊接连接于支撑杆上内壁，所述移动板上表面与弹簧末端相连接，且移动板左右两壁与限位块相贴，所述移动杆贯穿于支撑杆下壁，且移动杆顶部与移动板相连接，所述限位块为橡胶材质组成的弧形块，且弹簧的弹力大于移动板与移动杆的重力。

更进一步的说，所述移动杆包括顶块、顶槽、连接块、压板，所述顶块与移动杆为一体化结构，所述顶槽嵌设于顶块内底部，所述连接块通过螺栓连接于顶槽内壁，所述压板连接于两块连接块之间，所述顶块具有弹性，且顶槽内部镂空，并且压板呈弧形向下弯曲。

更进一步的说，所述夹板包括夹块、凹槽、拉簧、隔板，所述夹块嵌固于夹板右侧，所述凹槽嵌设于夹板内部，所述拉簧一端通过焊接连接于凹槽内部，所述隔板通过间隙贯穿于凹槽内壁，且隔板与拉簧相连接，所述凹槽有两个，且拉簧具有向夹板内拉动隔板的力，并且每个夹板有隔板有两根连接。

更进一步的说，所述夹块由导板、导管、定位板、支撑块、支撑柱、顶板组成，所述导管嵌设于导板内部，所述定位板左端嵌固于导板右内壁，所述支撑块与支撑柱底部均嵌固于定位板上表面，所述顶板底部通过焊接连接于支撑块顶端，所述导管左低右高呈倾斜状，且支撑块有两根，并且顶板上表面光滑。

有益效果

本发明一种晶圆涂膜设备与现有技术相比具有以下优点：

1.本发明的有益效果在于：将晶圆放置在支撑块上，在支撑簧的推力下使夹板将晶圆夹紧，避免晶圆在涂膜时掉落，同时移动杆受夹板的挤压使得顶块向外张开至压板紧贴于夹板表面，避免夹板在夹持晶圆时晃动导致涂膜不均。

2.本发明的有益效果在于：晶圆外表面向外挤压夹板，在拉簧的拉力下能够对不同大小的晶圆进行夹持涂膜，当刮板对晶圆表面的液体涂膜进行推平时多余的液体涂膜能够沿着导管排出至储存腔内部进行储存，避免液体涂膜堆积在空槽内导致晶圆摆放不平稳。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明一种晶圆涂膜设备的结构示意图。

图2为本发明储存箱的内部放大结构示意图。

图3为本发明涂膜箱的内部放大结构示意图。

图4为本发明支撑台的俯视放大结构示意图。

图5为本发明支撑杆的内部放大结构示意图。

图6为本发明移动杆的内部放大结构示意图。

图7为本发明夹板的内部放大结构示意图。

图8为本发明夹块的仰视放大结构示意图。

图中：储存箱1、按钮2、显示器3、输膜器4、储存腔11、固定板12、涂膜箱13、通管14、盖板131、把手132、涂膜槽133、刮板134、支撑台135、固定块136、支撑杆a、支撑簧b、夹板c、空槽d、支撑块e、限位块a1、弹簧a2、移动板a3、移动杆a4、顶块a41、顶槽a42、连接块a43、压板a44、夹块c1、凹槽c2、拉簧c3、隔板c4、导板c11、导管c12、定位板c13、支撑块c14、支撑柱c15、顶板c16。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式以及附图说明，进一步阐述本发明的优选实施方案。

请参阅图1-图8：

实施例1：

本发明提供一种晶圆涂膜设备，其结构包括储存箱1、按钮2、显示器3、输膜器4，所述按钮2安装在储存箱1左侧，所述显示器3嵌设于储存箱1前侧，所述输膜器4两端分别通过焊接连接于储存箱1背面与储存箱1顶部，所述储存箱1包括储存腔11、固定板12、涂膜箱13、通管14，所述储存腔11嵌设于储存箱1内部，且储存腔11与输膜器4一端相接通，所述固定板12通过水平焊接连接于储存腔11内壁，所述涂膜箱13底部嵌固于固定板12上表面，所述通管14垂直设于涂膜箱13顶部，且通管14顶部与输膜器4另一端相连接，所述固定板12呈网格状，并且涂膜箱13顶端外表面由下往上向内倾斜，利于将晶圆放置在涂膜箱13内进行涂膜处理，便于多余的液体涂膜流至储存腔11内进行储存再利用，避免造成液体涂膜浪费。

图中，所述涂膜箱13包括盖板131、把手132、涂膜槽133、刮板134、支撑台135、固定块136，所述盖板131底部与涂膜箱13上内壁相啮合，所述把手132通过螺栓连接于盖板131顶部外表面，所述涂膜槽133嵌设于盖板131与涂膜箱13内部，所述刮板134顶部嵌固于盖板131内底部，所述支撑台135安装在刮板134正下方，且支撑台135嵌固于涂膜箱13内壁，所述固定块136上表面与涂膜箱13底部相焊接，且固定块136安装在涂膜箱13内底部，所述把手132有两块，且刮板134的位置能够上下调节，并且涂膜箱13内底部镂空，利于将晶圆放置在支撑台135内通过刮板134对晶圆表面的液体涂膜进行压平，且多余的液体涂膜沿着涂膜箱13内底部排走。

图中，所述支撑台135包括支撑杆a、支撑簧b、夹板c、空槽d、支撑块e，所述支撑杆a嵌固于支撑台135外表面，所述支撑簧b一端通过焊接连接于支撑台135内壁，所述夹板c与支撑簧b另一端相连接，所述空槽d嵌设于支撑台135内壁，且空槽d位于夹板c内侧，所述支撑块e嵌固于空槽d中心处，所述支撑簧b具有向内推动夹板c的推力，且夹板c有四块，并且夹板c呈弧形弯曲，利于通过支撑簧b的推力使夹板c将晶圆夹紧，避免晶圆在涂膜时掉落。

图中，所述支撑杆a包括限位块a1、弹簧a2、移动板a3、移动杆a4，所述限位块a1嵌固于支撑杆a内壁，所述弹簧a2顶部通过焊接连接于支撑杆a上内壁，所述移动板a3上表面与弹簧a2末端相连接，且移动板a3左右两壁与限位块a1相贴，所述移动杆a4贯穿于支撑杆a下壁，且移动杆a4顶部与移动板a3相连接，所述限位块a1为橡胶材质组成的弧形块，且弹簧a2的弹力大于移动板a3与移动杆a4的重力，利于弹簧a2推动移动板a3使移动杆a4带动夹板c将晶圆夹紧。

图中，所述移动杆a4包括顶块a41、顶槽a42、连接块a43、压板a44，所述顶块a41与移动杆a4为一体化结构，所述顶槽a42嵌设于顶块a41内底部，所述连接块a43通过螺栓连接于顶槽a42内壁，所述压板a44连接于两块连接块a43之间，所述顶块a41具有弹性，且顶槽a42内部镂空，并且压板a44呈弧形向下弯曲，利于移动杆a4对夹板c进行挤压时压板a44紧贴于夹板c表面，从而提高移动杆a4与夹板c的接触面积，避免夹板c在夹持晶圆时晃动。

本实施例的具体原理：通过把手132转动盖板131使盖板131与涂膜箱13脱离，然后将晶圆放置在支撑台135内侧，使晶圆底部紧贴于支撑块e表面，此时晶圆外表面向外推开夹板c，在支撑簧b的推力下使夹板c将晶圆夹紧，避免晶圆在涂膜时掉落，同时移动杆a4受夹板c的挤压使得顶块a41向外张开至压板a44紧贴于夹板c表面，从而提高移动杆a4与夹板c的接触面积，避免夹板c在夹持晶圆时晃动，并在弹簧a2的弹力与限位块a1的夹持下使移动板a3向下推动移动杆a4进一步的使夹板c将晶圆进行夹持，避免晶圆在涂膜时晃动导致涂膜不均，然后盖回盖板131使刮板134位于晶圆上方对涂膜进行压平，使得多余的液体涂膜沿着涂膜箱13内底部排入储存腔11内储存再利用，避免造成液体涂膜浪费。

实施例2：

本发明提供一种晶圆涂膜设备，其结构包括储存箱1、按钮2、显示器3、输膜器4，所述按钮2安装在储存箱1左侧，所述显示器3嵌设于储存箱1前侧，所述输膜器4两端分别通过焊接连接于储存箱1背面与储存箱1顶部，所述储存箱1包括储存腔11、固定板12、涂膜箱13、通管14，所述储存腔11嵌设于储存箱1内部，且储存腔11与输膜器4一端相接通，所述固定板12通过水平焊接连接于储存腔11内壁，所述涂膜箱13底部嵌固于固定板12上表面，所述通管14垂直设于涂膜箱13顶部，且通管14顶部与输膜器4另一端相连接，所述固定板12呈网格状，并且涂膜箱13顶端外表面由下往上向内倾斜，利于将晶圆放置在涂膜箱13内进行涂膜处理，便于多余的液体涂膜流至储存腔11内进行储存再利用，避免造成液体涂膜浪费。

图中，所述涂膜箱13包括盖板131、把手132、涂膜槽133、刮板134、支撑台135、固定块136，所述盖板131底部与涂膜箱13上内壁相啮合，所述把手132通过螺栓连接于盖板131顶部外表面，所述涂膜槽133嵌设于盖板131与涂膜箱13内部，所述刮板134顶部嵌固于盖板131内底部，所述支撑台135安装在刮板134正下方，且支撑台135嵌固于涂膜箱13内壁，所述固定块136上表面与涂膜箱13底部相焊接，且固定块136安装在涂膜箱13内底部，所述把手132有两块，且刮板134的位置能够上下调节，并且涂膜箱13内底部镂空，利于将晶圆放置在支撑台135内通过刮板134对晶圆表面的液体涂膜进行压平，且多余的液体涂膜沿着涂膜箱13内底部排走。

图中，所述支撑台135包括支撑杆a、支撑簧b、夹板c、空槽d、支撑块e，所述支撑杆a嵌固于支撑台135外表面，所述支撑簧b一端通过焊接连接于支撑台135内壁，所述夹板c与支撑簧b另一端相连接，所述空槽d嵌设于支撑台135内壁，且空槽d位于夹板c内侧，所述支撑块e嵌固于空槽d中心处，所述支撑簧b具有向内推动夹板c的推力，且夹板c有四块，并且夹板c呈弧形弯曲，利于通过支撑簧b的推力使夹板c将晶圆夹紧，避免晶圆在涂膜时掉落。

图中，所述夹板c包括夹块c1、凹槽c2、拉簧c3、隔板c4，所述夹块c1嵌固于夹板c右侧，所述凹槽c2嵌设于夹板c内部，所述拉簧c3一端通过焊接连接于凹槽c2内部，所述隔板c4通过间隙贯穿于凹槽c2内壁，且隔板c4与拉簧c3相连接，所述凹槽c2有两个，且拉簧c3具有向夹板c内拉动隔板c4的力，并且每个夹板c有隔板c4有两根连接，利于在拉簧c3的拉力下将隔板c4向凹槽c2内拉动，使得相邻的两块夹板c之间的间隙变小，便于夹持不同大小的晶圆进行涂膜处理。

图中，所述夹块c1由导板c11、导管c12、定位板c13、支撑块c14、支撑柱c15、顶板c16组成，所述导管c12嵌设于导板c11内部，所述定位板c13左端嵌固于导板c11右内壁，所述支撑块c14与支撑柱c15底部均嵌固于定位板c13上表面，所述顶板c16底部通过焊接连接于支撑块c14顶端，所述导管c12左低右高呈倾斜状，且支撑块c14有两根，并且顶板c16上表面光滑，利于当刮板134对晶圆表面的液体涂膜进行推平时多余的液体涂膜能够沿着导管c12排出至储存腔11内部进行储存，避免液体涂膜堆积在空槽d内导致晶圆摆放不平稳。

本实施例的具体原理：将晶圆放置在支撑台135内侧时晶圆外表面向外挤压夹板c，使隔板c4向外拉动拉簧c3，使得凹槽c2内的拉簧c3具有向内拉动隔板c4的力，致使加大夹板c对晶圆的夹持力度，提高晶圆在涂膜过程中的稳定性，且能够对不同大小的晶圆进行夹持涂膜，与此同时晶圆底部向下推动顶板c16，使顶板c16向下挤压支撑块c14，在支撑块c14与支撑柱c15的支撑下使得顶板c16与晶圆保持水平状，当刮板134对晶圆表面的液体涂膜进行推平时多余的液体涂膜能够沿着导管c12排出至储存腔11内部进行储存，避免液体涂膜堆积在空槽d内导致晶圆摆放不平稳。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。