一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置的制作方法

文档序号:26001457发布日期:2021-07-23 21:18阅读:72来源:国知局
一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置的制作方法

本发明涉及薄膜制备技术领域,具体为一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置。



背景技术:

薄膜是一种薄而软的透明薄片。用塑料、胶粘剂、橡胶或其他材料制成。薄膜科学上的解释为:由原子,分子或离子沉积在基片表面形成的2维材料。例:光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜等等。薄膜被广泛用于电子电器、机械和印刷等行业,薄膜材料是指厚度介于单原子到几毫米间的薄金属或有机物层,电子半导体功能器件和光学镀膜是薄膜技术的主要应用。

氮化镓,化学式gan,是氮和镓的化合物,是一种直接能隙(directbandgap)的半导体,自1990年起常用在发光二极管中,此化合物结构类似纤锌矿,硬度很高。氮化镓的能隙很宽,为3.4电子伏特,可以用在高功率、高速的光电元件中,例如氮化镓可以用在紫光的激光二极管,可以在不使用非线性半导体泵浦固体激光器的条件下,产生紫光(405nm)激光。

现有的薄膜生产设备在薄膜成型后需要卷收,但制备设备一般是在箱体内部,在引出薄膜时需要打开箱体再牵引出,较为麻烦,且现有的薄膜在成型过程中需要烘干或自动冷却成型,效率较低,而使用热风吹,虽然效率更高,但很容易使薄膜变形,难以控制。



技术实现要素:

针对现有技术的不足,本发明提供了一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,解决了现有的薄膜生产设备在薄膜成型后引出薄膜时需要打开箱体再牵引出,较为麻烦,且现有的薄膜在成型过程中需要烘干或自动冷却成型,效率较低,而使用热风吹很容易使薄膜变形,难以控制的问题。

为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,包括箱体,所述箱体的底部固定连接有底座,所述箱体内腔的右下角固定连接有溶液箱,所述箱体内壁的前后两侧之间且位于溶液箱的顶部转动连接有滚筒,所述滚筒的底部贯穿溶液箱的顶部并延伸至溶液箱的内部,所述箱体的前后两侧之间且位于溶液箱的左侧贯穿滑动连接有引导辊,且箱体的前后两侧均开设有与引导辊相适配的滑槽,所述箱体的前后两侧之间且位于滑槽左端的底部转动连接有传动辊,所述箱体内壁的前后两侧之间且位于传动辊的下方固定连接有向左上方斜向吹风的第一吹气筒,所述箱体的左壁且位于传动辊的左侧开设有出料口。

优选的,所述箱体的右上角转动连接有加热烘干箱,所述加热烘干箱的左侧呈与滚筒表面平行的弧面,所述加热烘干箱的左侧固定连接有弧形丝网,且弧形丝网的右侧缝合有纱布。

优选的,所述加热烘干箱内表面的顶部固定连接有加热座,且加热座的底部固定连接有螺旋加热丝,所述加热烘干箱的下方固定连接有镂空板。

优选的,所述箱体内腔的左上角固定连接有机箱,且机箱内腔的底部固定连接有鼓风机,所述鼓风机的出风口连通有四通管,所述四通管的三面分别连通有第一吹风管、第二吹风管和第三吹风管,所述第一吹风管的右端与加热烘干箱的左侧连通,所述第二吹风管的一端贯穿箱体的后壁并与第一吹气筒的右侧连通。

优选的,所述箱体内壁的前后两侧之间且位于溶液箱的左上角转动连接有刮板,且刮板的右侧与滚筒的表面贴合,所述刮板底部的右侧与溶液箱的顶部之间固定连接有弹簧。

优选的,所述箱体内壁的前后两侧之间且位于刮板的上方固定连接有第二吹气筒,且第二吹气筒的顶部与第三吹风管的一端连通。

优选的,所述滚筒的表面滑动套设有分隔圈,且分隔圈的外表面开设有凹槽,所述加热烘干箱左侧的底部卡接有方轴,且加热烘干箱左侧的底部开设有多个定位方孔,所述方轴的左端固定连接有刮膜块,且刮膜块的左侧与凹槽的内表面贴合。

优选的,所述箱体内壁的前后两侧之间且位于鼓风机的左侧固定连接有圆筒,且圆筒的内部滑动连接有过滤芯,所述箱体内壁的后侧且位于过滤芯内表面的后端固定连接有定位环,所述箱体的后壁且位于过滤芯内腔的后侧固定连接有滤网,所述过滤芯的前侧延伸至箱体的正面,所述鼓风机的进气口与圆筒之间通过抽气管连通。

优选的,所述箱体的右侧与溶液箱的顶部之间贯穿有注液管,所述箱体的右侧固定连接有与注液管右端连通的注液斗,且注液斗的顶部磁吸有密封盖,箱体的背面且位于滑槽的外部固定连接有保护罩,所述箱体的正面滑槽的上方固定连接有防护帘。

优选的,所述底座的顶部从左到右依次固定连接有第一电机和第二电机,所述第一电机输出轴的前端通过第一皮带轮机构与传动辊的前端传动连接,所述第二电机输出轴的前端通过第二皮带轮机构与滚筒的前端传动连接,所述箱体左侧的顶部贯穿连接有控制面板。

有益效果

本发明提供了一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置。与现有技术相比具备以下有益效果:

(1)、该用于快速制备氮化镓薄膜的装置,通过在箱体的前后两侧之间且位于溶液箱的左侧贯穿滑动连接有引导辊,且箱体的前后两侧均开设有与引导辊相适配的滑槽,箱体的前后两侧之间且位于滑槽左端的底部转动连接有传动辊,箱体内壁的前后两侧之间且位于传动辊的下方固定连接有向左上方斜向吹风的第一吹气筒,箱体的左壁且位于传动辊的左侧开设有出料口,通过设置引导辊,可将薄膜牵引至传动辊上,使薄膜贴合传动辊表面,便于后续传输,然后利用第一吹气筒向左上方吹风,可将薄膜的一端吹出装置,便于在外部卷收,操作简单,不同打开箱体进行牵引,大大提高了工作效率。

(2)、该用于快速制备氮化镓薄膜的装置,通过在箱体的右上角转动连接有加热烘干箱,加热烘干箱的左侧呈与滚筒表面平行的弧面,加热烘干箱的左侧固定连接有弧形丝网,且弧形丝网的右侧缝合有纱布,加热烘干箱内表面的顶部固定连接有加热座,且加热座的底部固定连接有螺旋加热丝,加热烘干箱的内表面且位于螺旋加热丝的下方固定连接有镂空板,通过在滚筒右侧设置加热烘干箱,可对滚筒表面的薄膜溶液快速烘干成型,且通过在螺旋加热丝下方设置镂空板,使空气得到充分的加热,保证温度,而设置弧形丝网配合纱布,可使吹出的热风均匀细密的分散,可避免将薄膜吹变形,烘干成型效果好。

(3)、该用于快速制备氮化镓薄膜的装置,通过在箱体内壁的前后两侧之间且位于溶液箱的左上角转动连接有刮板,且刮板的右侧与滚筒的表面贴合,刮板底部的右侧与溶液箱的顶部之间固定连接有弹簧,箱体内壁的前后两侧之间且位于刮板的上方固定连接有第二吹气筒,且第二吹气筒的顶部与第三吹风管的一端连通,利用弹簧试压,使刮板贴合在滚筒的表面,而刮板边缘锋锐,可有效的将滚筒表面薄膜刮下,而设置第二吹气筒向下吹风,既可将薄膜吹到引导辊表面,也可避免薄膜被刮下后堆叠,提高了薄膜纸制备的效率。

(4)、该用于快速制备氮化镓薄膜的装置,通过在滚筒的表面滑动套设有分隔圈,且分隔圈的外表面开设有凹槽,加热烘干箱左侧的底部卡接有方轴,且加热烘干箱左侧的底部开设有多个定位方孔,方轴的左端固定连接有刮膜块,且刮膜块的左侧与凹槽的内表面贴合,在滚筒表面设置分隔圈,可将滚筒的宽度分为两部分,进而可同时加工出两种薄膜,还可对宽度进行调节,提高了生产效率以及设备的通用性,而设置刮膜块可避免两侧的膜相互连接,配合凹槽还可限制分隔圈的位置,结构简单实用。

(5)、该用于快速制备氮化镓薄膜的装置,通过在箱体内壁的前后两侧之间且位于鼓风机的左侧固定连接有圆筒,且圆筒的内部滑动连接有过滤芯,箱体内壁的后侧且位于过滤芯内表面的后端固定连接有定位环,箱体的后壁且位于过滤芯内腔的后侧固定连接有滤网,过滤芯的前侧延伸至箱体的正面,鼓风机的进气口与圆筒之间通过抽气管连通,通过在鼓风机的进气口之前设置过滤芯和滤网,可对吸入的空气进行两重过滤净化,可避免吸入外界灰尘而影响薄膜的质量,且过滤芯可快速拆卸安装进行清洗或更换,保持过滤的高效。

附图说明

图1为本发明结构的主视图;

图2为本发明箱体的剖视图;

图3为本发明结构的后视图;

图4为本发明加热烘干箱的左视图;

图5为本发明滚筒的左视图;

图6为本发明图2中a处的局部放大图。

图中:1-箱体、2-底座、3-溶液箱、4-滚筒、5-引导辊、6-滑槽、7-传动辊、8-第一吹气筒、9-加热烘干箱、10-弧形丝网、11-纱布、12-加热座、13-螺旋加热丝、14-镂空板、15-机箱、16-鼓风机、17-四通管、18-第一吹风管、19-第二吹风管、20-第三吹风管、21-刮板、22-弹簧、23-第二吹气筒、24-分隔圈、25-方轴、26-定位方孔、27-刮膜块、28-圆筒、29-过滤芯、30-定位环、31-滤网、32-抽气管、33-注液管、34-注液斗、35-密封盖、36-保护罩、37-防护帘、38-第一电机、39-第二电机、40-第一皮带轮机构、41-第二皮带轮机构、42-控制面板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-6,本发明提供三种技术方案:

实施例一

一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,包括箱体1,箱体1的底部固定连接有底座2,箱体1内腔的右下角固定连接有溶液箱3,箱体1内壁的前后两侧之间且位于溶液箱3的顶部转动连接有滚筒4,滚筒4的底部贯穿溶液箱3的顶部并延伸至溶液箱3的内部,箱体1的左壁且位于传动辊7的左侧开设有出料口,通过设置引导辊5,可将薄膜牵引至传动辊7上,使薄膜贴合传动辊7表面,便于后续传输,然后利用第一吹气筒8向左上方吹风,可将薄膜的一端吹出装置,便于在外部卷收,操作简单,不同打开箱体1进行牵引,大大提高了工作效率,箱体1内腔的左上角固定连接有机箱15,且机箱15内腔的底部固定连接有鼓风机16,箱体1的右侧与溶液箱3的顶部之间贯穿有注液管33,箱体1的右侧固定连接有与注液管33右端连通的注液斗34,且注液斗34的顶部磁吸有密封盖35,密封盖35带有磁性,注液斗34为铁质,将密封盖35吸附在注液斗34上可屏蔽灰尘,底座2的顶部从左到右依次固定连接有第一电机38和第二电机39,第一电机38输出轴的前端通过第一皮带轮机构40与传动辊7的前端传动连接,第二电机39输出轴的前端通过第二皮带轮机构41与滚筒4的前端传动连接,箱体1左侧的顶部贯穿连接有控制面板42,控制面板42通过导线与鼓风机16、加热座12、第一电机38和第二电机39电性连接。

箱体1的右上角转动连接有加热烘干箱9,加热烘干箱9的左侧呈与滚筒4表面平行的弧面,加热烘干箱9的左侧固定连接有弧形丝网10,且弧形丝网10的右侧缝合有纱布11,加热烘干箱9内表面的顶部固定连接有加热座12,且加热座12的底部固定连接有螺旋加热丝13,加热烘干箱9的内表面且位于螺旋加热丝13的下方固定连接有镂空板14,通过在滚筒4右侧设置加热烘干箱9,可对滚筒4表面的薄膜溶液快速烘干成型,且通过在螺旋加热丝13下方设置镂空板14,使空气得到充分的加热,保证温度,而设置弧形丝网10配合纱布11,可使吹出的热风均匀细密的分散,可避免将薄膜吹变形,烘干成型效果好。

实施例二

一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,包括箱体1,箱体1的底部固定连接有底座2,箱体1内腔的右下角固定连接有溶液箱3,箱体1内壁的前后两侧之间且位于溶液箱3的顶部转动连接有滚筒4,滚筒4的底部贯穿溶液箱3的顶部并延伸至溶液箱3的内部,箱体1的前后两侧之间且位于溶液箱3的左侧贯穿滑动连接有引导辊5,且箱体1的前后两侧均开设有与引导辊5相适配的滑槽6,箱体1的前后两侧之间且位于滑槽6左端的底部转动连接有传动辊7,箱体1内壁的前后两侧之间且位于传动辊7的下方固定连接有向左上方斜向吹风的第一吹气筒8,箱体1的左壁且位于传动辊7的左侧开设有出料口,箱体1内腔的左上角固定连接有机箱15,且机箱15内腔的底部固定连接有鼓风机16,箱体1的右侧与溶液箱3的顶部之间贯穿有注液管33,箱体1的右侧固定连接有与注液管33右端连通的注液斗34,且注液斗34的顶部磁吸有密封盖35,箱体1的背面且位于滑槽6的外部固定连接有保护罩36,箱体1的正面滑槽6的上方固定连接有防护帘37,防护帘37用于盖住前侧滑槽6,降低灰尘进入的概率,底座2的顶部从左到右依次固定连接有第一电机38和第二电机39,第一电机38输出轴的前端通过第一皮带轮机构40与传动辊7的前端传动连接,第二电机39输出轴的前端通过第二皮带轮机构41与滚筒4的前端传动连接,箱体1左侧的顶部贯穿连接有控制面板42。

鼓风机16的出风口连通有四通管17,四通管17的三面分别连通有第一吹风管18、第二吹风管19和第三吹风管20,第一吹风管18的右端与加热烘干箱9的左侧连通,第二吹风管19的一端贯穿箱体1的后壁并与第一吹气筒8的右侧连通,箱体1内壁的前后两侧之间且位于溶液箱3的左上角转动连接有刮板21,且刮板21的右侧与滚筒4的表面贴合,刮板21底部的右侧与溶液箱3的顶部之间固定连接有弹簧22,箱体1内壁的前后两侧之间且位于刮板21的上方固定连接有第二吹气筒23,且第二吹气筒23的顶部与第三吹风管20的一端连通,利用弹簧22试压,使刮板21贴合在滚筒4的表面,而刮板21边缘锋锐,可有效的将滚筒4表面薄膜刮下,而设置第二吹气筒23向下吹风,既可将薄膜吹到引导辊5表面,也可避免薄膜被刮下后堆叠,提高了薄膜纸制备的效率。

实施例三

一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,包括箱体1,箱体1的底部固定连接有底座2,箱体1内腔的右下角固定连接有溶液箱3,箱体1内壁的前后两侧之间且位于溶液箱3的顶部转动连接有滚筒4,滚筒4的底部贯穿溶液箱3的顶部并延伸至溶液箱3的内部,箱体1的左壁且位于传动辊7的左侧开设有出料口,箱体1内腔的左上角固定连接有机箱15,且机箱15内腔的底部固定连接有鼓风机16,箱体1的右侧与溶液箱3的顶部之间贯穿有注液管33,箱体1的右侧固定连接有与注液管33右端连通的注液斗34,且注液斗34的顶部磁吸有密封盖35,底座2的顶部从左到右依次固定连接有第一电机38和第二电机39,第一电机38输出轴的前端通过第一皮带轮机构40与传动辊7的前端传动连接,第二电机39输出轴的前端通过第二皮带轮机构41与滚筒4的前端传动连接,箱体1左侧的顶部贯穿连接有控制面板42。

滚筒4的表面滑动套设有分隔圈24,且分隔圈24的外表面开设有凹槽,加热烘干箱9左侧的底部卡接有方轴25,且加热烘干箱9左侧的底部开设有多个定位方孔26,方轴25的左端固定连接有刮膜块27,且刮膜块27的左侧与凹槽的内表面贴合,在滚筒4表面设置分隔圈24,可将滚筒4的宽度分为两部分,进而可同时加工出两种薄膜,还可对宽度进行调节,提高了生产效率以及设备的通用性,而设置刮膜块27可避免两侧的膜相互连接,配合凹槽还可限制分隔圈24的位置,结构简单实用。

实施例四

一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,包括箱体1,箱体1的底部固定连接有底座2,箱体1内腔的右下角固定连接有溶液箱3,箱体1内壁的前后两侧之间且位于溶液箱3的顶部转动连接有滚筒4,滚筒4的底部贯穿溶液箱3的顶部并延伸至溶液箱3的内部,箱体1的左壁且位于传动辊7的左侧开设有出料口,箱体1内腔的左上角固定连接有机箱15,且机箱15内腔的底部固定连接有鼓风机16,箱体1的右侧与溶液箱3的顶部之间贯穿有注液管33,箱体1的右侧固定连接有与注液管33右端连通的注液斗34,且注液斗34的顶部磁吸有密封盖35,底座2的顶部从左到右依次固定连接有第一电机38和第二电机39,第一电机38输出轴的前端通过第一皮带轮机构40与传动辊7的前端传动连接,第二电机39输出轴的前端通过第二皮带轮机构41与滚筒4的前端传动连接,箱体1左侧的顶部贯穿连接有控制面板42。

箱体1内壁的前后两侧之间且位于鼓风机16的左侧固定连接有圆筒28,且圆筒28的内部滑动连接有过滤芯29,箱体1内壁的后侧且位于过滤芯29内表面的后端固定连接有定位环30,箱体1的后壁且位于过滤芯29内腔的后侧固定连接有滤网31,过滤芯29的前侧延伸至箱体1的正面,鼓风机16的进气口与圆筒28之间通过抽气管32连通,通过在鼓风机16的进气口之前设置过滤芯29和滤网31,可对吸入的空气进行两重过滤净化,可避免吸入外界灰尘而影响薄膜的质量,且过滤芯29可快速拆卸安装进行清洗或更换,保持过滤的高效。

同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。

使用时,将薄膜原液从注液斗34倒入,原液通注液管33流进溶液箱3内,注好后将密封盖35盖在注液斗34上,然后将控制面板42连接电源,控制鼓风机16、加热座12、第一电机38和第二电机39按照程序启动,在加热座12为螺旋加热丝13供电使其发热,第二电机39通过第二皮带轮机构41带动滚筒4缓慢的逆时针转动,滚筒4转动过程中原液附着在其表面形成薄膜,同时鼓风机16通过抽气管32抽取圆筒28内空气,间接从外界吸入空气,外界空气经过滤网31和过滤芯29双重过滤后被鼓风机16抽取,然后分成三股排出,三股气流分别通过三根吹风管吹进第一吹气筒8、第二吹气筒23和加热烘干箱9内,该股气流被螺旋加热丝13加热,然后穿过镂空板14和纱布11,均匀吹向滚筒4表面的原液,对其进行烘干+风干,原液快速干燥成型,然后传输至左侧,当薄膜经过刮板21时被其刮下,并被第二吹气筒23乡下吹动的气流吹到引导辊5表面,然后员工手动将引导辊5向左推动,使其顺着滑槽6滑到其左端,同时引导辊5表面附着的薄膜牵引至传动辊7表面,同时第一电机38通过第一皮带轮机构40带动传动辊7缓慢的逆时针转动,将薄膜向左传送,然后员工将引导辊5顺时针转动,使薄膜脱离引导辊5,再从前侧抽出引导辊5,再从滑槽6右侧插回到箱体1内,薄膜牵引到传动辊7上后,第一吹气筒8向左上方吹风,将薄膜从出料口吹出,定期将滤网31外表面清理干净,并抽出过滤芯29进行清洗。

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