形的制造方法制造的基板。通过这样的制造方法制造的基板虽然与传送带的接触面平滑地形成，但是上表面因流延不均、干燥风的影响而产生大的凹凸。本发明由于即使是大的凹凸也能够适宜地包埋，所以可以更加适宜地适用于这样的橡胶片材。
[0053]此外，本发明可以适宜地适用于厚度为400 μπι?6000 μm的范围的基板16。
[0054]此外，本发明可以更加适宜地适用于弹性模量为0.5N/mm2?5.0N/mm 2的橡胶片材。
[0055]另外，本说明书中使用“?”表示的数值范围是指包含“?”的前后记载的数值作为下限值及上限值的范围。
[0056]此外，本发明中使用的树脂片材也没有特别限定，可列举出例如硅酮树脂、氟系树脂、PET膜、PP膜等。此外，作为基板16，可以利用通过各种公知的方法制造的树脂片材。例如，树脂片材可以通过专利文献3?5中记载的公知的方法来制造。
[0057]此外，基板16并不限定于由I层构成的基板，也可以是将多个膜层叠而成的片材。
[0058]以下，通过对层压装置20的各部进行说明，对本发明的层压方法进行说明。
[0059]基板搬运部22是将从基板辊34开卷的长条的基板16以规定的搬运路径沿基板16的长度方向进行搬运的部位。
[0060]基板搬运部22具有安装基板辊34的旋转轴32、和将基板16以规定的搬运路径进行引导的多个导辊。
[0061]基板辊34若安装于旋转轴32上，则基板16被多个导辊引导，并贯通(插通)依次经过粘合剂涂布部24、夹持部28、光照射部30的规定的路径。基板16通过驱动用辊(未图示)等搬运单元在规定的路径上进行搬运。
[0062]其中，如图3中所示的那样，在层压装置20中，在基板16的搬运路径上，自上游侧起依次配置有粘合剂涂布部24、夹持部28、光照射部30。
[0063]在层压装置20中，将基板16从基板辊34送出，边将长条的基板16以规定的搬运路径沿长度方向进行搬运，边利用配置于基板16的搬运路径上的各部在基板16上层压支撑体。
[0064]另外，基板16优选利用驱动用辊等搬运单元来控制速度，以一定速度进行搬运。
[0065](涂布工序S200)
[0066]粘合剂涂布部24是进行涂布工序S200的部位。具体而言，粘合剂涂布部24在基板16的主表面(支撑体14侧的面)上涂布规定厚度的粘合剂。
[0067]其中，粘合剂涂布部24优选以凹版涂布方式涂布粘合剂。通过以凹版涂布方式涂布粘合剂，能够将粘合剂更均匀地、即按照粘合剂的表面变得平滑的方式进行涂布。特别是在基板16的宽度方向上，能够均匀地涂布粘合剂。
[0068]作为进行凹版涂布方式的涂敷机，可列举出例如直接凹版涂布机、腔室刮刀涂布机、胶版凹版涂布机、使用凹版辊的吻合涂布机、由多根辊构成的逆转辊涂布机等。除此以夕卜，只要在具有圆筒状的刮板且边向涂布部供给粘合剂并以刮板刮落边进行涂布的逗号涂布机、应用缝口模头等直接供给粘合剂的模涂机、制作集液槽并边以刮刀刮落多余的溶液边进行涂布的刮刀涂布机(knife coater)等各种涂敷机中考虑支撑体的种类、涂布量、涂布速度等条件来决定涂布手段即可。
[0069]此外，对使用的粘合剂没有特别限定，可例示出光固化性粘合剂、热固化性粘合剂、厌氧性粘合剂等。它们中，从固化反应的控制的容易性出发，优选为光固化性粘合剂，作为光固化型粘合剂，优选紫外线固化型粘合剂。
[0070]作为粘合剂，可以使用例如1.Skeist编、“Handbook of Adhesives”、第2版(1977)中记载的粘合剂。
[0071]图4是概念性地表示在基板16的主表面上涂布粘合剂而贴附支撑体14之前的状态的层叠体的截面图。
[0072]在贴附支撑体14之前的层叠体中，涂布于基板16上的粘合剂层18的表面优选表面粗糙度指标的最大高度Rmax为200 μπι以下。通过使粘合剂层18的表面的最大高度Rmax为200 μ m以下，在后述的夹持部28中贴附支撑体14时，能够使表面平滑化，能够提高膜厚精度。
[0073]其中，本申请中，最大高度Rmax是JIS B0601:2001中规定的最大高度Rz。另外，本实施例中，认为基板16的另一个主表面(与粘合剂层18相反侧的面)实质上平滑，定义为Rmax =(粘合剂层18与基板16的层叠体的最大膜厚)_(粘合剂层18与基板16的层叠体的最小膜厚)。
[0074]具体而言，利用激光位移仪或超声波位移仪等非接触式位移仪测定前述的(最大膜厚)_(最小膜厚)而求出Rmax。
[0075]此外，粘合剂的粘度优选为0.0OlPa.s?10Pa.S，更优选为0.0lPa.s?1Pa.S，进一步优选为0.05Pa.s?5Pa.S。通过使粘合剂的粘度为上述范围，在赋予粘合剂时可抑制溶液流挂，此外，在基板16上涂布粘合剂时表面被弄平整，能够使粘合剂层18的表面的最大高度Rmax为200 μπι以下。进而，通过使粘合剂的粘度为上述范围，在利用后述的夹持部28进行夹持时能够使表面平滑化，能够提高膜厚精度。
[0076]其中，本申请中，粘度利用毛细管粘度计、落球粘度计、旋转粘度计、振动粘度计、平行平板粘度计、气泡粘度计等公知的粘度计进行测定。
[0077]作为粘合剂，使用光固化性粘合剂时，粘合剂在室温(25°C )下可以为液状，也可以为固体状。在室温下为液状的情况下，优选25°C下的粘度达到上述范围。
[0078]此外，粘合剂在室温下为固体状的情况下，优选加热至光固化性粘合剂发生软化的温度。即，优选加热至粘度达到上述范围的温度。
[0079]此外，也可以使用将粘合剂溶解于溶剂中而得到的溶液进行涂布后，将溶剂干燥除去。或者，也可以将无溶剂型的热熔光固化性粘合剂在加热的状态下进行涂布。
[0080]此外，贴附支撑体14之前的涂布于基板16上的粘合剂层18的厚度只要根据基板16的厚度或基板16表面的凹凸的大小、对层叠体10所要求的膜厚精度等适当决定即可，但优选为50 μ m?300 μ m。
[0081]通过使粘合剂层18的厚度为50 μ m以上，能够更加适宜地抑制粘合剂的损失并确保粘合强度，同时将基板16主表面的凹凸包埋，使表面变得平滑。此外，通过使粘合剂层18的厚度为300 μπι以下，能够抑制起因于粘合剂固化时的固化收缩的应变，同时使表面变得平滑。
[0082]涂布有粘合剂的基板16被供给至夹持部28的第I夹持部中。
[0083]支撑体搬运部26是将从支撑体辊38开卷的长条的支撑体14以规定的搬运路径沿支撑体14的长度方向进行搬运的部位。
[0084]支撑体搬运部26具有安装支撑体辊38的旋转轴36、和将支撑体14以规定的搬运路径进行引导的多个导辊。
[0085]支撑体辊38若安装于旋转轴36上，则支撑体14被多个导辊引导，并贯通经过夹持部28的规定的路径。支撑体14利用驱动用辊(未图示)等搬运手段在规定的路径进行搬运。
[0086]支撑体14被供给至夹持部28的第I夹持部40中。
[0087]其中，作为支撑体14，没有特别限定，优选使用尺寸稳定性高的支撑体。可列举出例如钢、不锈钢、铝等金属、热塑性树脂(例如环烯烃系树脂、结晶性聚烯烃系树脂、聚酯系树脂、聚碳酸酯系树脂、丙烯酸系树脂、三乙酰纤维素系树脂)、苯乙烯-丁二烯橡胶等合成橡胶、以玻璃纤维增强的塑料树脂(环氧树脂、酚醛树脂等)。进而，作为支撑体14，更优选使用PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)膜、钢基板。
[0088]此外，支撑体14优选为透明，更优选为PET膜。
[0089]若支撑体为透明，则作为粘合剂使用光固化性粘合剂时，可以从支撑体14侧照射光，能够以少的照射量进行固化反应。
[0090]此外，支撑体14的厚度优选设为50 μπι?350 μπι，进一步优选设为75 μπι?250 μ mD
[0091 ](夹持工序 S202 ?S206)
[0092]夹持部28是将分别以规定的搬运路径搬运的基板16和支撑体14夹入并进行挤压(即进行夹持)而贴合，同时修正层叠体10的膜厚精度的部位。夹持部28具有进行第I夹持工序S202的第I夹持部40、进行第2夹持工序的第2夹持部42和进行第3夹持工序的第3夹持部44。
[0093]另外，第I夹持部40、第2夹持部42及第3夹持部44由于除了夹持辊对的间隔(夹持间隔)分别不同以外，基本上具有相同构成，所以代表性地对第I夹持部40进行说明。关于第2夹持部42及第3夹持部44，仅说明不同点。
[0094]图5是概念性地表示第I夹持部40的构成的图。
[0095]其中，第I夹持部40具有能够调整夹持间隔的机构。
[0096]如图5中所示的那样，第I夹持部40具有由下夹持辊50a和上夹持辊50b构成的I对夹持辊对50、楔型制动器(stopper) 52a、52b、调整螺丝54a、54b、导轨56、轴承部57和汽缸(air cylinder) 58。
[0097]下夹持辊50a及上夹持辊50b以与基板16的搬运方向正交的方向为轴进行旋转。
[0098]下夹持辊50a在规定的位置能够旋转地被保持。另一方面，配置于下夹持辊的上方的上夹持辊50b能够在轴承部57上旋转地被保持。
[0099]轴承部57在侧面具有狭缝，通过与该狭缝嵌合的导轨56，沿上下方向引导。
[0100]此外，在轴承部57的下面，在上下方向上重叠地配置有一对楔型制动器52a、52b。楔型制动器52a、52b分别通过调整螺丝54a、54b变更水平方向的位置，能够调整楔型制动器52b的高度地构成。
[0101]进而，轴承部57将上表面通过汽缸58向下方挤压。因此，轴承部57其下表面与楔型制动器52b的上表面抵接地被保持。
[0102]通过这样的构成，第I夹持部40通过利用调整螺丝54a、54b调