透镜构件的制造方法及透镜构件、曲面形状图案的制造方法以及曲面形状图案形成用树脂膜的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及透镜构件的制造方法、由此得到的透镜构件、曲面形状图案的制造方法、能够形成透镜等的曲面形状图案形成用树脂膜。
【背景技术】
[0002]在1C技术、LSI技术中，为了提高工作速度、集成度，进行了将电配线基板中的电配线的一部分替换为光纤、光波导等光配线，并且利用光信号代替电信号。
[0003]例如，专利文献1中公开了在表面上具备光学元件的1C芯片的上方设置光波导膜，在这些1C芯片与光波导膜之间进行光通信。然而，如专利文献1那样在具备光学元件这样的光通信单元的基板与光波导这样的光通信单元之间进行光通信时，存在如下问题:如果没有以高精度将这些光通信单元彼此进行位置对准而安装，则无法进行光通信；如果不聚光，则光损耗(信号强度)会减小。
[0004]为了解决该问题，进行了在基板表面上设置微透镜的操作。
[0005]例如，专利文献2中公开了在透明基板的表面上设置有微透镜的带透镜基板。为了制造该带透镜基板，在透明基板的表面上形成感光性树脂抗蚀剂并且在基板的背面形成具有开口部的遮光膜。接着，从遮光膜侧照射光，将感光性树脂抗蚀剂中存在于与遮光膜的开口部相对位置的部分曝光后进行显影，形成圆柱状的抗蚀剂结构物。然后，加热该抗蚀剂结构物，使抗蚀剂结构物的表面受热下垂(熱/?'扎)，从而制造微透镜。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本特开2006-11210号公报
[0009]专利文献2:日本特开2004-361858号公报
【发明内容】
[0010]发明所要解决的课题
[0011]如专利文献2那样在基板表面上形成透镜时，存在如下问题:由于基板表面的微细凹凸、基板表面与透镜构件形成材料的表面张力差异，透镜构件的形状会有差异，或者无法以窄间距形成透镜构件。该问题不仅存在于利用受热下垂的透镜中，在向基板上滴加液滴树脂来形成透镜构件的情况、在制作了透镜形状的抗蚀剂后通过各向异性蚀刻在基板本身上形成透镜构件的情况下也同样是问题。此外，作为其他透镜构件，还有通过注射成型使凸透镜从基座突出的微透镜，但在该情况下，基座越厚，透镜构件就越厚，存在如果将基板与透镜构件复合则厚度会变厚的问题。
[0012]本发明为了解决上述课题而进行，其目的在于，提供能够在任意基板上形成所希望的透镜形状的透镜构件的制造方法、由此得到的透镜构件、曲面形状图案的制造方法、能够形成透镜的曲面形状图案形成用树脂膜。
[0013]用于解决课题的方法
[0014]本发明人等进行了深入研究，结果发现，通过如下的透镜构件的制造方法，能够解决上述课题，由此完成了本发明，该透镜构件的制造方法具有:工序A，形成包含基板、配置于该基板上的曲面形状形成用树脂层和配置于该基板与该曲面形状形成用树脂层之间的柱状构件形成用树脂层的层叠体；工序B，对所述柱状构件形成用树脂层和所述曲面形状形成用树脂层进行蚀刻，在所述基板上形成包含柱状构件和曲面形状形成用构件的柱状层叠部；以及工序C，加热所述曲面形状形成用构件，以使其受热下垂而形成透镜。
[0015]SP，本发明提供以下的[1]?[11]。
[0016][1] 一种透镜构件的制造方法，具有:
[0017]工序A，形成包含基板、配置于该基板上的曲面形状形成用树脂层和配置于该基板与该曲面形状形成用树脂层之间的柱状构件形成用树脂层的层叠体；
[0018]工序B，对所述柱状构件形成用树脂层和所述曲面形状形成用树脂层进行蚀刻，在所述基板上形成包含柱状构件和曲面形状形成用构件的柱状层叠部；以及
[0019]工序C，加热所述曲面形状形成用构件，以使其受热下垂而形成透镜。
[0020][2]如[1]所述的透镜构件的制造方法，所述曲面形状形成用树脂层为感光性的树脂层。
[0021][3]如[1]或[2]所述的透镜构件的制造方法，所述柱状构件形成用树脂层为感光性的树脂层。
[0022][4]如[1]?[3]中任一项所述的透镜构件的制造方法，所述工序B中，通过曝光将所述曲面形状形成用树脂层光固化后，对所述柱状构件形成用树脂层和所述曲面形状形成用树脂层进行蚀刻。
[0023][5]如[1]?[4]中任一项所述的透镜构件的制造方法，所述工序B中，在所述曲面形状形成用树脂层曝光的同时将所述柱状构件形成用树脂层曝光，从而将所述柱状构件形成用树脂层光固化。
[0024][6]如[1]?[5]中任一项所述的透镜构件的制造方法，所述曲面形状形成用树脂层和/或所述柱状构件形成用树脂层为由干膜形成的树脂层。
[0025][7]如[1]?[6]中任一项所述的透镜构件的制造方法，所述基板为透明基板。
[0026][8] 一种透镜构件，通过上述[1]?[7]中任一项所述的制造方法得到。
[0027][9] 一种曲面形状图案的制造方法，具有上述[1]?[7]中任一项所述的透镜构件的制造方法中的所述工序A和所述工序B，并使通过所述工序B形成的所述曲面形状形成用构件受热下垂，在所述曲面形状形成用构件形成曲面形状。
[0028][10] 一种曲面形状图案形成用树脂膜，包含含有曲面形状形成用树脂层和柱状构件形成用树脂层的层叠体。
[0029][11]如[10]所述的曲面形状图案形成用树脂膜，在所述曲面形状形成用树脂层侧具有支撑膜，和/或在所述柱状构件形成用树脂层侧具有保护膜。
[0030]发明的效果
[0031]根据本发明的透镜构件的制造方法，能够在任意基板上形成所希望的透镜形状。此外，由此得到的透镜构件和曲面形状图案的曲面形状是所希望的良好形状。进而，根据本发明，可以得到能够形成所希望形状的透镜的曲面形状图案形成用树脂膜。
【附图说明】
[0032]图1为表示本发明的透镜构件的制造方法的一个实施方式的立体图。
[0033]图2为表示本发明的透镜构件的制造方法的一个实施方式的截面图。
【具体实施方式】
[0034][透镜构件]
[0035]本发明的一个实施方式中的透镜构件，在基板1上具有从基板1表面突出的柱状构件3，在该柱状构件3上具备具有弯曲凸面的透镜6a。
[0036]根据本发明的一个实施方式中的透镜构件的制造方法，在基板1与透镜6a之间设有柱状构件3，透镜6a没有直接设置在基板1上。由此，即使存在基板1表面的微细凹凸等表面状态、基板1表面与透镜形成材料的表面张力的差异，它们也不会影响透镜6a的形成。因此，能够形成固定形状、固定厚度的透镜。此外，由于在柱状构件3上形成透镜6a，因此还能够抑制透镜中心位置偏离。进而，通过适宜地调节柱状构件3的高度，能够在维持透镜形状的同时，任意地调节距离基板1表面的透镜高度(图1、图2的实施方式)。
[0037]如此构成的透镜构件，例如在与透镜6a相对的位置和与基板1相对的位置分别配置发光元件、受光元件、光波导等光学构件，供进行光通信。
[0038]例如，从存在于与该基板1相对位置的发光元件发出的光信号，在通过柱状构件3和透镜6a后，由凸透镜面聚光，照射至存在于与透镜6a相对位置的受光元件。由此，能够以少的光损耗来进行光通信。
[0039][曲面形状图案]
[0040]本发明的一个实施方式中的曲面形状图案7是指在基板1上形成的具有曲面的图案，包含柱状构件3和形成于柱状构件3上的具有曲面形状的构件(相当于透镜6a)。本发明的一个实施方式中的透镜构件的透镜和柱状构件也是曲面形状图案的一种(一部分)。
[0041]作为本发明的一个实施方式中的曲面形状图案的、透镜和柱状构件之外的例子，有光波导。如果将包含折射率低的包覆层(相当于柱状构件3)和折射率高的芯层(相当于透镜6a)的光波导形成为直线状，则光波导的光轴截面形状成为接近于圆的形状。由此，能够得到与例如截面为圆形的光纤、受发光部为圆形的光电二极管、激光二极管的耦合损耗低的光波导。作为另一光波导的