专利名称：清除排气管的清洁装置与方法
技术领域：
本发明是关于一种清除排气管的装置与方法，尤指一种适用于清除排气管壁上的生成物的装置与方法。
背景技术：
一般的制造厂房，不管是生产半导体元件、显示面板、或是任何的化学药品，都需架设排气管路，以排出各种反应废气或副产物，甚至某些需要气体反应物的生产机台本身，例如化学汽相沈积机台或蚀刻机台，亦需架构一套将反应废气或废物排除至厂务端的管路，以便生产机台可正常运作。举例来说，当蚀刻机台对产品进行蚀刻制程时，会产生大量的有毒气体，因此必须以帮浦将这些有毒气体经由管路导入洗涤槽，再排至厂务端做后续处理。
目前于生产过程中时常发现，这些反应废气或废物在管路输送途中，常会凝结或淤积于管壁上，且而且之，含使管路阻塞，导致机台或厂房无法正常运转。目前解决的大法为每隔一段时间将管路打开，如图3所示，将管路IOO上端的封盖110打开，然后以人工将清洁用具伸入管路中，清除内壁上的生成物。但此种需将管路打开才可清洁管路的方式相当不方便，且清洁完毕后，还需将封盖110安装好，相当耗费人力及时间，故无法经常执行，且使机台的可生产时间减少。
发明内容
本发明的主要目的是在提供一种清除排气管的装置，以便能简易地清除排气管内壁的生成物，避免排气管阻塞，降低人力成本，提高机台的可生产时间。
本发明的另一目的是在提供一种清除排气管的方法，以便能简易地清除排气管内壁的生成物，避免排气管阻塞，降低人力成本，提高机台的可生产时间。
为达成上述目的，本发明排气管的清洁装置，是配合一排气管，包括一把手；一具有一中空壳体，一轴承以及至少一密封元件的转动单元，其中该轴承及该密封元件位于该中空壳体内部，该中空壳体位于该排气管的一端，以将该转动单元固设于该排气管上，该密封元件位于该中空壳体与该轴承之间，以维持该排气管的密闭性，且该轴承位于该把手外侧，以利于该把手的旋转；一固定架，位于该转动单元的一侧，具有至少一固定槽及一锁合孔，以将该把手锁合于该固定架上；以及一具有一拴孔的刮除单元，位于该排气管内且位于该固定架的一侧，是用以刮除清洁该排气管内壁，其中该刮除单元并以该拴孔及该固定槽连结。
所述的装置，其更包含复数个结合单元，以结合该锁合孔，该把手及该固定架而将该把手锁合于该固定架。
所述的装置，其中该结合单元并结合该刮除单元的该拴孔及该固定槽，以将该刮除单元固定于该排气管内壁内。
所述的装置，其中该把手更包含一旋转部及一位于该轴承内部的枢轴部，其中旋转部是用以承接一旋转动力，核枢轴部是连接该固定架并带动该固定架及该刮除单元旋转。
所述的装量，其中该中空壳体包含可互相紧密结合的上盖及下盖，以将该轴承及该密封元件紧密限制于空壳体内部。
所述的装置，其中该轴承为一滚珠轴承。
所述的装置，其中该密封元件为O型环。
所述的装置，其中该结合单元为螺丝。
所述的装置，其中该刮除单元的长度短于该排气管的长度。
所述的装置，其中该刮除单元为一刮刀。
所述的装置，其中该结合单元结合于该固定槽上的位置为可调整，以适用于不同内径的排气管。
本发明清除排气管的方法，系配合一排气管，包括以下步骤提供一把手；提供一具有一中空壳体，一轴承以及至少一密封元件的转动单元，并将该把手套入该转动单元中，其中该轴承及该密封元件位于该中空壳体内部，该中空壳体位于该排气管的一端，以将该转动单元固设于该排气管上，该密封元件位于该中空壳体与该轴承之间，以维持该排气管的密闭性，且该轴承位于该把手外侧，以利于该把手的旋转；提供一具有至少一固定槽及一锁合孔的固定架；将该把手插入该锁合孔，同时将该锁合孔与该把手锁合于该固定架的一侧；提供一具有一拴孔的刮除单元，同时将该拴孔及该固定槽结合，以将该刮除单元固定于该固定架的另一侧；将该转动单元的该中空壳体固定于该排气管上；以及旋转该把手使该刮除单元沿着该排气管内壁移动，以将该排气管内壁上的生成物刮除。
所述的方法，其更包含提供复数个结合单元，以于该把手插入该锁合孔时，结合该锁合孔与该把手，将该把手锁合于该固定架的一侧。
所述的方法，其更包含提供复数个结合单元，以于该拴孔及该固定槽结合时，结合该刮除单元与该固定架，将固定于该固定架的另一侧。
所述的方法，其中该把手更包含一旋转部及一位于该轴承内部的枢轴部，其中旋转部系用以承接一旋转动力，该枢轴部是连接该固定架并带动该固定架及该刮除单元旋转。
所述的方法，其中该中空壳体包含可互相紧密结合的上盖及下盖，以将该轴承及该密封元件紧密限制于空壳体内部。
所述的方法，其中该轴承为一滚珠轴承。
所述的方法，其中该密封元件为O型环。
所述的方法，其中该结合单元为螺丝。
所述的方法，其中该刮除单元为一刮刀。
所述的方法，其中该结合单元结合于该固定槽上的位置为可调整，以适用于不同内径的排气管。
本发明清除排气管的装置的把手结构无限制，较佳为包含一手动的旋转部及一位于轴承内部的枢轴部。本发明清除排气管的装置中，中空壳体的结构无限制，较佳为包含可互相紧密结合的上盖及下盖，以将轴承及密封元件紧密旋紧于其内部。本发明清除排气管的装置的轴承较佳为一规格轴承。本发明清除排气管的装置的密封元件无限制，较佳为O型环(O-rjng)。本发明清除排气管的装置的结合单元无限制，较佳为螺丝。本发明清除排气管的装置的刮除单元的长度无限制，只要较排气管的长度短即可。本发明清除排气管的装置的刮除单元无限制，较佳为一刮刀。本发明清除排气管的装置中，结合单元结合于固定槽上各位置较佳为可调整，以适用于不同内径的排气管。
为能更了解本发明的技术内容，特举一较佳具体实施例说明如下。
图1是本发明一较佳实施例的清除排气管装置的立体图；图2是本发明一较佳实施例的清除排气管装置的组合立体图；图3是现有清除排气管装置的立体图。
具体实施例方式
请参照图1本发明清除排气管装置的立体图，其包含把手10、转动单元20、复数个结合单元30、固定架40以及刮除单元50。把手IO包含旋转部11及枢轴部12，转动单元20包含中空壳体2I及位于中空壳体内部的轴承22及密封元件23，其中中空壳体21包含可互相紧密结合的上盖21I及下盖212，以便将轴承22及密封元件23紧密旋紧于中空壳体21内部。将中空壳体1置于排气管60的上端原封口处，并使转动单元20固设于排气管60上。密封元件23为O型环(O-ring)，位于中空壳体21与轴承22之间，可确保中空壳体21与轴承22之间无缝隙存在，维持排气管60原封口端的密闭性。轴承22为一规格轴承，其尺寸可配合枢轴部12的尺寸来选择，使枢轴部12恰可穿入其中空处。固定架40位于转动单元20下侧的排气管60内部，其具有固定槽41及锁合孔42，其中锁合孔42可与结合单元30，如螺丝结合，以将把手10的枢轴部12锁合固定于固定架40上。刮除单元50为一端具有拴孔51的刮刀，其长度较该排气管60的长度短，以安装于排气管60内部。
可先将刮除单元50的拴孔51对准固定槽41，再将结合单元30锁入拴孔51与固定槽41，并调整固定槽41对应拴孔51的位置，以使刮除单元50位于靠近排气管60内壁61处、可刮除内壁生成物的适当位置。
本发明的装置可先将把手10的枢轴部12套入转动单元20的轴承22中间，再将枢轴部12锁入固定架40中，接着将刮除单元60固定于固定架40的固定槽41，然后将组合完成装置的转动单元20固定于排气管60上即可运作，请参照图2所示本装置的组合立体图。当欲清洁排气管内壁时，只要转动把手10的旋转部11，其枢轴部12便会带动固定架40上的刮除单元60沿着排气管60内壁61移动，而将其上残留的生成物刮除。
本发明清除排气管的装置及方法可轻易地将排气管内壁的生成物刮除，使排气管维持畅通。其清洁时间短且可于任何时间进行，不需再大费周章地将管路上的封盖打开。此外，本装置搭配有可密闭结构的设计，可使管路内部不受外界影响，以及可调整刮除单元的设计，可因应不同管径的管路系统而作调整，使得本装量的适用范图更为广泛。另外，由于清洁时间缩短，不必停机打开管路封盖，机台的可生产时间因而提高，且清洁所需的人力成本亦人为降低。
上述实施例仅为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范图自应以申请专利范图所述为准，而非仅限于上述实施例。
权利要求
1.一种排气管的清洁装置，其特征在于，是配合一排气管，包括一把手；一具有一中空壳体，一轴承以及至少一密封元件的转动单元，其中该轴承及该密封元件位于该中空壳体内部，该中空壳体位于该排气管的一端，以将该转动单元固设于该排气管上，该密封元件位于该中空壳体与该轴承之间，以维持该排气管的密闭性，又该轴承位于该把手外侧，以利于该把手的旋转；一固定架，位于该转动单元的一侧，具有至少一固定槽.及一锁合孔，以将该把手锁合于该固定架上；以及一具有一拴孔的刮除单元，位于该排气管内且位于该固定架的一侧，是用以刮除清洁该排气管内壁，其中该刮除单元并以该拴孔及该固定槽连结。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，其更包含复数个结合单元，以结合该锁合孔，该把手及该固定架而将该把手锁合于该固定架。
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，其中该结合单元并结合该刮除单元的该拴孔及该固定槽，以将该刮除单元固定于该排气管内壁内。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，其中该把手更包含一旋转部及一位于该轴承内部的枢轴部，其中旋转部是用以承接一旋转动力，核枢轴部是连接该固定架并带动该固定架及该刮除单元旋转。
5.如权利要求1所述的装量，其特征在于，其中该中空壳体包含可互相紧密结合的上盖及下盖，以将该轴承及该密封元件紧密限制于空壳体内部。
6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，其中该轴承为一滚珠轴承。
7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，其中该密封元件为O型环。
8.如权利要求2所述的装置，其特征在于，其中该结合单元为螺丝。
9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，其中该刮除单元的长度短于该排气管的长度。
10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，其中该刮除单元为一刮刀。
11.如权利要求1所述的装置，其特征在于，其中该结合单元结合于该固定槽上的位置为可调整，以适用于不同内径的排气管。
12.一种清除排气管的方法，其特征在于，是配合一排气管，包括以下步骤提供一把手；提供一具有一中空壳体，一轴承以及至少一密封元件的转动单元，并将该把手套入该转动单元中，其中该轴承及该密封元件位于该中空壳体内部，该中空壳体位于该排气管的一端，以将该转动单元固设于该排气管上，该密封元件位于该中空壳体与该轴承之间，以维持该排气管的密闭性，及该轴承位于该把手外侧，以利于该把手的旋转；提供一具有至少一固定槽及一锁合孔的固定架；将该把手插入该锁合孔，同时将该锁合孔与该把手锁合于该固定架的一侧；提供一具有一拴孔的刮除单元，同时将该该拴孔及该固定槽结合，以将该刮除单元固定于该固定架的另一侧；将该转动单元的该中空壳体固定于该排气管上；以及旋转该把手使该刮除单元沿着该排气管内壁移动，以将该排气管内壁上的生成物刮除。
13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，其更包含提供复数个结合单元，以于该把手插入该锁合孔时，结合该锁合孔与该把手，将该把手锁合于该固定架的一侧。
14.如权利要求12所述的方法，其特征在于，其更包含提供复数个结合单元，以于该拴孔及该固定槽结合时，结合该刮除单元与该固定架，将固定于该固定架的另一侧。
15.如权利要求12所述的方法，其特征在于，其中该把手更包含一旋转部及一位于该轴承内部的枢轴部，其中旋转部系用以承接一旋转动力，该枢轴部是连接该固定架并带动该固定架及该刮除单元旋转。
16.如权利要求12所述的方法，其特征在于，其中该中空壳体包含可互相紧密结合的上盖及下盖，以将该轴承及该密封元件紧密限制于空壳体内部。
17.如权利要求12所述的方法，其特征在于，其中该轴承为一滚珠轴承。
18.如权利要求12所述的方法，其特征在于，其中该密封元件为O型环。
19.如权利要求13所述的方法，其特征在于，其中该结合单元为螺丝。
20.如权利要求12所述的方法，其特征在于，其中该刮除单元为一刮刀。
21.如权利要求12所述的方法，其特征在于，其中该结合单元结合于该固定槽上的位置为可调整，以适用于不同内径的排气管。
全文摘要
本发明是有关于一种简易地清除排气管内壁的生成物的方法及装置，以避免排气管阻塞。该排气管的清洁装置，是配合一排气管，包括一把手；一具有一中空壳体，一轴承以及至少一密封元件的转动单元，其中该轴承及该密封元件位于该中空壳体内部，该密封元件位于该中空壳体与该轴承之间，以维持该排气管的密闭性，且该轴承位于该把手外侧；一固定架，位于该转动单元的一侧，具有至少一固定槽及一锁合孔，以将该把手锁合于该固定架上；以及一具有一拴孔的刮除单元，位于该排气管内且位于该固定架的一侧，是用以刮除清洁该排气管内壁。
文档编号F28G3/00GK1566893SQ0314829
公开日2005年1月19日 申请日期2003年7月2日 优先权日2003年7月2日
发明者洪健雄, 蒋明堂, 高永昌, 郑胜, 林政德, 张昭升, 黄明夷 申请人:友达光电股份有限公司