专利名称：加热方法、加热装置、以及图像显示装置的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种在减压气氛下对基板进行加热的加热方法和加热装置。进一步，本发明涉及一种使用了由该加热方法所加热了的基板的图像显示装置的制造方法。
背景技术：
历来，在制造构成规定装置的基板时，有时要对该基板进行加热处理。
在“特开2003-59788”号公报中，记载有为实行该加热处理的基板加热装置。
在“特开2003-59788”号公报中所记载的基板加热装置具有载置台，配置在该载置台上的热反射板，以及配置在该热反射板上的、并安置有基板的加热板。在该构成下，在载置台和加热板之间设置有热反射板，在基板和热反射板之间设置有加热板。
进一步，在该载置台上，形成有用于通过冷却水的通路；又，在加热板的周围设置有热反射环。
在“特开2003-59788”号公报中所记载的基板加热装置上，由于从加热板所散发出的热由热反射板所反射，并由该反射热也会对基板进行加热，所以可以加快基板的升温速度。
但是，在“特开2003-59788”号公报中所记载的基板加热装置上，在由位于基板下部的加热板对基板进行直接加热的同时，从加热板所散发出的热会由热反射板所反射，并再次面向基板。即，不可以对基板的与加热板不相接的面进行加热。
因此，产生如下问题不能均匀地加热基板，其结果使该基板翘曲、被破损。
发明内容
本发明的目的是，提供一种可以均匀地对基板进行加热、从而可以防止发生基板的翘曲和破损的加热方法、加热装置、以及使用了由该加热方法所加热处理了的基板的图像显示装置的制造方法。
为达到上述目的，本发明的加热方法使用具有下列构成的加热装置支持基板的支持部件；对向配置在该基板的两面的、加热上述基板的多个的热发生体；围绕着上述基板和多个的热发生体的热反射部件；收容有上述支持部件、热发生体、和上述热反射部件的真空容器，并且，在上述基板的周端面和上述热反射部件之间的区域上配置分隔部件，其中，在对上述真空容器进行排气所形成的减压气氛下，由上述热发生体和上述热反射部件对上述基板进行加热。
又，本发明的加热装置具有下列构成支持基板的支持部件；对向配置在上述基板的两面的、对上述基板进行加热的多个的热发生体；围绕着上述基板和多个的热发生体的热反射部件；以及收容有上述支持部件、热发生体、和热反射部件的真空容器，并且，在上述基板的周端面和上述热反射部件之间的区域上配置分隔部件。
在该加热装置上，上述分隔部件最好由与上述基板相同的材料所构成。又，上述分隔部件最好是具有与上述基板相同的放射率的部件，或具有与上述基板相同的热容量的部件。上述基板和上述分隔部件也可以由玻璃所构成。
而且，上述分隔部件的、与上述基板的周端面相对向的端面最好比上述基板的周端面要大。
又，本发明涉及一种图像显示装置的制造方法，该图像显示装置具有图像显示机构和内置有上述图像显示机构的容器，其中，具有对作为上述容器的构成部件的基板由上述的加热方法或加热装置进行加热处理的工序。
在具有上述构成的发明中，受到加热处理的基板由支持部件所支持着，并在该基板的表面和里面和多个的热发生体对向配置。而且，由热反射部件围绕着基板和多个的热发生体的。进一步，通过在基板的周端面和热反射部件之间的区域上设置分隔部件，就可以防止配置在基板的表面侧和里面侧上的热发生体的热从基板的单面侧向单面侧绕入的现象，使热均匀地传递到基板和分隔部件上。
依据上述的本发明，由于可以对基板的温度均匀地进行加热，所以可以在不发生基板的翘曲和破损的情况下进行加热处理。
图1为对本发明的加热方法的一实施形态、以及加热装置的构成进行模式显示的断面图。
图2为显示了图1中的加热装置的其它形态的断面图。
具体实施例方式
以下，参照图面对本发明的实施形态进行说明。但本发明不只限于这些实施形态。
图1为对本发明的加热方法的一实施形态、以及加热装置的构成进行模式显示的断面图。
在图1中，在形成有空间的腔室5的内部配置着热反射部件3。热反射部件3以多个的板形成一围套形；在本例中，通过连结顶板3a、左右的侧板3b、以及底板3c而构成热反射部件3.
在构成热反射部件3的一部分的底板3c上，竖立安置着多个的支持杆6。在这些支持杆6的顶端上，支持着受到加热处理的基板1。
在热反射部件3的内侧，以规定的间隔配置着热发生体2。热发生体2被对向配置在基板1的表面侧和里面侧上。由此，形成一种在基板1和热发生体2的周围配置着热反射部件(反射器)3的构成。
而且，在基板1的构成面的延长线上，在基板周端面1a和热反射部件3(的侧板3b)之间的区域上设置有分隔部件(分隔件)4。基板周端面1a和分隔部件4之间的间隔最好是5mm-20mm。
在腔室5内，设置有用于减压的真空泵(未图示)，通过其对腔室5内进行排气而形成减压气氛。在该状态下热发生体2产生发热，使基板1受到加热处理。
依据本实施形态，通过将分隔部件4设置在基板1的构成面的延长线上、位于基板周端面1a和热反射部件3之间的区域上，可以防止被配置在基板1的表面侧和里面侧上的热发生体2的热从基板1的单面侧向单面侧绕入的现象，使热均匀地传递到基板1和分隔部件4上。
因此，可以对基板1的温度均匀地进行加热，在不会发生基板1的翘曲和破损的情况下进行加热处理。
以下，对本发明的实施例进行详细的说明，但本发明不只限于这些实施例。又，对在实施例中所提到的构成部件的符号，使用与在图1和图2中所示的部件相同的符号。
(实施例1)在本实施例中，作为基板1的材料，使用600mm×900mm×厚度2.8mm的玻璃；作为热反射部件3，使用对铜的表面进行了砂纸加工的部件；由热反射部件3所包围的区域设定为宽度1000mm和深度700mm。作为设置在基板1的构成面的延长线上、位于基板1和热反射部件3之间的区域上的分隔部件4，使用与基板1相同的玻璃，且其厚度为2.8mm。在基板1的表面的一部分上，涂覆有一层铟(インジウム)膜(未图示)。作为对基板1进行加热的热发生体2，使用护套式(ミ-ス)加热器。
在图1中，基板1决定着位置，并被安置在支持杆6的上面。在安置基板1后，对腔室5内排气到2×10-6Pa。在使腔室5内得到减压后，用10分钟的时间将热发生体(护套式加热器)2加热到750℃。通过由热发生体(护套式加热器)2所产生的加热，基板1被加热到400℃；在该状态下保持30分钟，对基板1进行脱气处理。
在用以上的方法进行基板的加热处理时，由于基板1和分隔部件4不但厚度相同而且材质也一样，即放射率相同，所以加热工序中的温度变得相等，在基板1和分隔部件4之间不会发生热的授受。
又，通过设置分隔部件4，配置在基板1的上下的加热器2的热也不会相互绕入基板1的反对侧，可以在工序中对基板1的温度进行均匀的加热。由此，可以确认不会发生基板1的翘曲和破损。而且，由于不会发生基板1的翘曲，所以不会发生涂覆在基板1的一部分上的铟膜因熔化而流入到其它部位上的现象。
(实施例2)在本实施例中，其基本构造与实施例1相同。作为基板1，使用厚度为2.8mm、热容量为2.1×106J/m3℃的玻璃；作为设置在基板面的延长线上、位于基板1和热反射部件3之间的区域上的分隔部件4，使用厚度为1.5mm、热容量为4.0×106J/m3℃的不锈钢。其它的部件同在上述构成中，在进行与实施例1同样的加热处理时，由于图1中的基板1和分隔部件4每单位面积的热容量大致相等，基板1和分隔部件4的温度在工序中以同样的温度进行升温；所以在基板1和分隔部件4之间不会发生热的授受，可以对基板1温度均匀地进行加热处理。由此，可以确认具有与实施例1同样的效果。
(实施例3)图2为显示了图1中的加热装置的其它形态的断面图。
在本实施例中，其基本构造与实施例1相同。但作为分隔部件4的端面，如图2所示，形成一种比基板周端面1a的厚度要上下突出5mm的突缘形状(突出部4a)；而且，将基板周端面1a与分隔部件4的端部(突出部4a)之间的间隔设定为5mm。
在上述构成中，在进行与实施例1同样的加热处理时，可以防止加热器的热进入到基板1的端面，可以确认能够进一步降低温度分布。由此，可以确认不会发生基板1的翘曲和破损。
又，本发明不只限于上述的各实施例，而是显而易见可以有种种的变更。
例如，作为基板1，也可以使用用于构成内置有图像显示部的容器的基板。换句话说，在具有图像显示部和内置有该图像显示部的容器的图像显示装置的制造方法中，对构成内置有图像显示部的容器的基板，也可以用上述的方法进行加热处理。这时，可以均匀地对构成内置有图像显示部的容器的基板进行加热；而且，可以降低在加热时发生基板的翘曲和破损的可能性。
权利要求
1.一种加热基板的加热方法，该加热方法使用具有下列构成的加热装置支持基板的支持部件，对向配置在上述基板的两面的、对上述基板进行加热的多个的热发生体，围绕着上述基板和上述多个的热发生体的热反射部件，收容有上述支持部件、上述热发生体和上述热反射部件的真空容器，以及在上述基板的周端面和上述热反射部件之间的区域上配置分隔部件；其中在对上述真空容器进行排气所形成的减压气氛下，由上述热发生体和上述热反射部件对上述基板进行加热。
2.加热装置，该加热装置具有下列构成部件支持基板的支持部件，对向配置在上述基板的两面的、对上述基板进行加热的多个的热发生体，围绕着上述基板和上述多个的热发生体的热反射部件，以及收容有上述支持部件、上述热发生体和上述热反射部件的真空容器；上述基板的周端面和上述热反射部件之间的区域上配置分隔部件。
3.如权利要求2所述的加热装置，其特征在于上述分隔部件由与上述基板相同的材料所构成。
4.如同权利要求2所述的加热装置，其特征在于上述分隔部件为具有与上述基板相同的放射率的部件。
5.如权利要求2所述的加热装置，其特征在于上述分隔部件为具有与上述基板相同的热容量的部件。
6.如权利要求2所述的加热装置，其特征在于上述基板和上述分隔部件由玻璃所构成。
7.如权利要求2至6的任何一项中所述的加热装置，其特征在于上述分隔部件的、与上述基板的周端面相对向的端面比上述基板的周端面要大。
8.一种图像显示装置的制造方法，该图像显示装置具有图像显示机构和内置有上述图像显示机构的容器；其特征在于由权利要求1所述的方法加热处理作为上述容器的构成部件的基板。
9.一种图像显示装置的制造方法，该图像显示装置具有图像显示机构和内置有上述图像显示机构的容器；其特征在于由权利要求2至6的任何一项中所述的装置加热处理作为上述容器的构成部件的基板。
10.一种图像显示装置的制造方法，该图像显示装置具有图像显示机构和内置有上述图像显示机构的容器；其特征在于由权利要求7中所述的装置加热处理作为上述容器的构成部件的基板。
全文摘要
在制造图像显示装置时，为了对构成内置有图像显示装置的容器的基板进行均匀的加热，抑制发生基板的翘曲和破损，在真空容器内，将加热器对向配置在基板的两侧，并用热反射部件所围绕；进一步，配置位于基板的周端面和热反射部件之间的分隔部件；由此对基板进人加热。
文档编号F26B25/08GK1604274SQ20041007891
公开日2005年4月6日 申请日期2004年9月13日 优先权日2003年9月30日
发明者木村明弘, 镰田重人 申请人:佳能株式会社