一种真空高温环境下的低温裂解炉的温控系统的制作方法

本实用新型涉及一种真空高温环境下的低温裂解炉的温控系统，用于光伏发电膜产品的制造。

背景技术：

在真空高温情况下，使用温度在500℃以内的低温裂解炉或其它能量输入大于能量输出的低温系统，往往会遇到在工作温度内难于降温，进而导致无法控制温度，进而无法正常的进行工作，原系统存在热量富裕的情况，但无法有效疏导。不加利用还存在能源的浪费。

技术实现要素：

本实用新型的目的是在于解决现有技术存在的问题，提供一种利用热辐射加热，并可实现温度实时可调的一种真空高温环境下的低温裂解炉的温控系统。

本实用新型采用的技术方案如下：一种真空高温环境下的低温裂解炉的温控系统，包括集成冷热装置、坩埚、电源、电源调节控制器及冰机；集成冷热装置紧贴设置在坩埚外壁；集成冷热装置包括加热部和制冷部，加热部和制冷部相邻设置，加热部和制冷部之间设有隔热层，隔离层将加热部和制冷部隔离；加热部连接电源采用电加热；电源调节控制器调节电源的电压或电流从而实现对加热部加热效率的控制调节；制冷部内填充有制冷工质，制冷部连接冰机，制冷部和冰机形成一封闭的制冷循环结构；所述集成冷热装置、坩埚设在真空高温环境下；电源、电源调节控制器及冰机位于室温环境下。

进一步说，所述集成冷热装置上的加热部和制冷部同时紧贴在坩埚外壁。

进一步说，还包括用于过滤制冷工质的过滤器，过滤器连接在由制冷部和冰机形成的封闭的制冷循环结构中。

进一步说，还包括流量计，流量计连接在由制冷部和冰机形成的封闭的制冷循环结构中。

进一步说，还包括用于测量制冷工质温度的第一温度测量仪和第二温度测量仪，第一温度测量仪、第二温度测量仪分别设在制冷部的首尾两端。

进一步说，还包括用于增大冷却媒介压力的增压泵，增压泵连接在由制冷部和冰机形成的封闭的制冷循环结构中。

进一步说，所述隔热层的材料为绝热陶瓷。

进一步说，所述制冷工质为纯水或冷却油。

进一步说，所述集成冷热装置呈圆形、波浪线形或螺旋形紧贴设置在坩埚外壁。

进一步说，所述集成冷热装置呈圆管形，制冷部、加热部均为半圆形，加热部内填充有电热丝。

本实用新型相比现有技术所具有的优点：

本实用新型通过集成冷热装置实现对坩埚的温度调节，具有温度控制精度高，调节相应速度快，可有效利用热能等优点。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型所述集成冷热装置的结构示意图。

图3为本实用新型所述集成冷热装置呈圆形的结构示意图。

图4为本实用新型所述集成冷热装置呈波浪线形的结构示意图。

图5为本实用新型所述集成冷热装置呈螺旋形的结构示意图

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本实用新型，但不以任何形式限制本实用新型。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本实用新型的保护范围。

实施例1：

如图1至图2所示，一种真空高温环境下的低温裂解炉的温控系统，包括集成冷热装置1、坩埚2、电源3、电源调节控制器4及冰机5；集成冷热装置1紧贴设置在坩埚2外壁；集成冷热装置1包括加热部11和制冷部12，加热部11和制冷部12相邻设置，加热部11和制冷部12之间设有隔热层13，隔离层将加热部11和制冷部12隔离；加热部11连接电源3采用电加热；电源调节控制器4调节电源3的电压或电流从而实现对加热部11加热效率的控制调节；制冷部12内填充有制冷工质，制冷部12连接冰机5，制冷部12和冰机5形成一封闭的制冷循环结构；所述集成冷热装置1、坩埚2设在真空高温环境下；电源3、电源调节控制器4及冰机5位于室温环境下。

本实用新型所述集成冷热装置1上的加热部11和制冷部12同时紧贴在坩埚2外壁。集成冷热装置1热辐射给坩埚2，实现对坩埚2温度的控制；加热部11和制冷部12同时紧贴在坩埚2外壁，坩埚2温度升降可实时可调。

本实用新型还包括用于过滤制冷工质的过滤器8，过滤器8连接在由制冷部12和冰机5形成的封闭的制冷循环结构中。

本实用新型还包括用于测量制冷工质温度的第一温度测量仪6和第二温度测量仪7，第一温度测量仪6、第二温度测量仪7分别设在制冷部12的首尾两端。

本实用新型还包括用于增大冷却媒介压力的增压泵9，增压泵9连接在由制冷部12和冰机5形成的封闭的制冷循环结构中。

本实用新型还包括流量计10，流量计10连接在由制冷部12和冰机5形成的封闭的制冷循环结构中。

本实用新型所述隔热层13的材料为绝热陶瓷。

本实用新型所述制冷工质为纯水或冷却油。在高温环境下的低温裂解炉，当低温裂解炉需要的温度在100℃-200℃之间时，使用纯水作为冷却液相对会经济实惠；在高温环境下的低温裂解炉，当低温裂解炉需要的温度在150℃-450℃之间时，使用冷却油作为冷却液相。

如图3至图5所示本实用新型所述集成冷热装置1呈圆形、波浪线形或螺旋形紧贴设置在坩埚2外壁。

本实用新型所述集成冷热装置1呈圆管形，制冷部12、加热部11均为半圆形，加热部11内填充有电热丝。

本实用新型通过冰机5将制冷工质控制在20摄氏度，并在加热前开启冷却管道，让制冷工质环流，固定流量，开启电源3升温加热到设定温度，并根据实际情况调节输出功率和制冷部12流量来使温度温定，可以在达到设定温度后尽控制冷却部分使温度稳定；使用完毕后关闭电源3，适度调大制冷部12流量，快速降温。

以上对本实用新型的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响本实用新型的实质内容。