一种真空气氛管式炉抽真空系统的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种真空气氛管式炉抽真空系统，包括有石英管，所述石英管两端分别安装有大球阀和小球阀，所述大打球阀与石英管连接处安装有真空表，真空表下端设有阀门，阀门下端安装有扩散泵机组。本发明具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备。
【专利说明】
一种真空气氛管式炉抽真空系统
技术领域
[0001]本发明涉及工业炉领域，具体是一种真空气氛管式炉抽真空系统。
【背景技术】
[0002]真空气氛管式炉专门设计用于低温CVD工艺。如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等等。窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温，加热元件选用进口 KTL电阻丝，优质石英管炉膛，系统可预抽真空，气体采用质量流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制、高低温区设计隔板结构，有效的实现温度梯度的控制。设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种真空气氛管式炉抽真空系统，以解决现有技术温度不均匀、控制不稳定、寿命短等问题。
[0004]为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为:
[0005]一种真空气氛管式炉抽真空系统，包括有石英管，所述石英管两端分别安装有大球阀和小球阀，所述大打球阀与石英管连接处安装有真空表，真空表下端设有阀门，阀门下端安装有扩散泵机组；所述小球阀下端连接有混合罐，混合罐上安装有质量流量计。
[0006]本发明专利的优点:
[0007]使用本发明具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备。
【附图说明】
[0008]图1为本发明结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]如图1-所示，
[0010]一种真空气氛管式炉抽真空系统，包括有石英管3，所述石英管3两端分别安装有大球阀I和小球阀4，所述大打球阀I与石英管3连接处安装有真空表2，真空表2下端设有阀门7，阀门7下端安装有扩散泵机组8 ;所述小球阀4下端连接有混合罐5，混合罐5上安装有质量流量计6。
【主权项】
1.一种真空气氛管式炉抽真空系统，包括有石英管，其特征在于:所述石英管两端分别安装有大球阀和小球阀，所述大打球阀与石英管连接处安装有真空表，真空表下端设有阀门，阀门下端安装有扩散泵机组；所述小球阀下端连接有混合罐，混合罐上安装有质量流量计。
【文档编号】F27D7/06GK105890367SQ201410586382
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2014年10月27日
【发明人】张时利, 王建跃, 王皓静
【申请人】合肥日新高温技术有限公司