一种基于光通讯的超净间智能控制装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及智能控制领域，尤其涉及一种基于光通讯的超净间智能控制装置。
【背景技术】
[0002]随着半导体生产工艺的不断发展，精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代，线宽都在30-180纳米之间，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境一一洁净室的各项指标也必须被严格地控制，包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。传统的超净间控制方式容易受其它电器干扰，容易产生磁波泄露，容易产生更多静电和带电离子。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型公开了一种基于光通讯的超净间智能控制装置，包括超净生产厂房，所述超净生产厂房的顶端外部连接有新风空调箱，所述超净生产厂房内部的顶部设置有吊顶，所述吊顶与超净生产厂房顶部的空间为回风通道，所述吊顶上安装有多个风机过滤单元，所述回风通道内、超净生产厂房的顶端连接有干盘管，所述干盘管和新风空调箱上分别连接有光敏二极管I和光敏二极管II，所述超净生产厂房的内部设置有用于检测该空间内温度信息和湿度信息的温度监控装置和湿度监控装置，所述温度监控装置和湿度监控装置将控制信息转换成光信号传送至光敏二极管I和光敏二极管II，所述光敏二极管I和光敏二极管II将光信号信息转换成电信号信息后传送至新风空调箱和干盘管。
[0004]所述温度监控装置包括温度传感器、第一编码器、第一 LED频闪控制器和第一 LED灯，所述温度传感器将检测到的温度信息传送至第一编码器，所述第一 LED频闪控制器接收第一编码器的控制指令信息控制第一 LED灯的工作，所述第一 LED灯与第一 LED频闪控制器相连接，所述光敏二极管I和光敏二极管II接收第一 LED灯的光信号信息将光信号信息转换成电信号信息后传送至新风空调箱和干盘管。
[0005]所述湿度监控装置包括湿度传感器、第二编码器、第二 LED频闪控制器和第二 LED灯，所述湿度传感器将检测到的湿度信息传送至第二编码器，所述第二 LED频闪控制器接收第二编码器的控制指令信息控制第二 LED灯的工作，所述第二 LED灯灯与第二 LED频闪控制器相连接，所述光敏二极管I和光敏二极管II接收第二 LED灯的光信号信息将光信号信息转换成电信号信息后传送至新风空调箱和干盘管。
[0006]由于采用了上述技术方案，本实用新型提供的一种基于光通讯的超净间智能控制装置，该装置利用光信号控制新风空调箱和干盘管的工作状态和工作条件，采用光信号进行数据传输能提高系统工作稳定性，减少电磁干扰，降低静电和带电离子在产品上的积累，并且装置的光信号来自LED灯，编码器发出的二进制指令传输给控制LED灯工作的频闪控制器使其控制LED快速闪烁，LED灯每秒闪烁数百万次，人眼无法察觉，不会对超净间内的工作人员眼睛造成损害，但光敏二极管能识别这些闪烁信号。干盘管通过调节其冷水阀的开度，调节输送到超净间内的空气的温度和湿度，以保证满足半导体工艺的温湿度需求。本超净间采用新风空调箱过滤空气中的粉尘和颗粒，同时通过出风口的温度和湿度的调节，从而控制输送出去的空气的温度和湿度。
【附图说明】
[0007]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0008]图1为本实用新型基于光通讯的超净间环境智能控制装置的结构示意图；
[0009]图2为本实用新型中温度监控装置的结构示意图；
[0010]图3为本实用新型中湿度监控装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]为使本实用新型的技术方案和优点更加清楚，下面结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚完整的描述:
[0012]如图1所示的基于光通讯的超净间环境智能控制装置，包括超净生产厂房I，在超净生产厂房I的顶端外部连接有新风空调箱2，在超净生产厂房I内部的顶部设置有吊顶13，吊顶13与超净生产厂房I顶部形成的空间为回风通道3。在回风通道3内、吊顶13上安装有风机过滤单元5，在回风通道3内超净生产厂房I顶壁上还连接有干盘管4。干盘管4和新风空调箱2上分别连接有光敏二极管112-1和光敏二极管1112-2。在超净生产厂房I的内部设置有用于检测该超净间内温度信息和湿度信息的温度监控装置6和湿度监控装置7。温度监控装置6和湿度监控装置7与控制信息转换成光信号传送至光敏二极管112-1和光敏二极管1112-2。光敏二极管112-1和光敏二极管II12-2将光信号信息转换成电信号信息后传送至新风空调箱2和干盘管4。外界大气经过新风空调箱2中的初、中和高效过滤网，把空气中的粉尘颗粒过滤掉后，将具有一定洁净等级和温湿度的风送到超净间的回风通道3中，与循环回风进行混合后进入超净间吊顶13的上方，通过风机过滤单元5后进入超净间生产区域，从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。超净间内各种生产设备在工作过程中会产生大量的热量，从而使超净间内的温度升高。干盘管4能够冷却并带走这些热量，从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。
[0013]光敏二极管112-1和光敏二极管II12-2用于接收温度监控装置6和湿度监控装置7发来的光信号信息，灯亮了表示I，灯灭了代表O，光敏二极管112-1和光敏二极管II12-2将光信号转换成电信号传输给新风空调箱2和干盘管4。新风空调箱2根据超净间里面的温湿度情况调整出风口的温湿度，以保证送入的新风在规定的温湿度范围内。干盘管4则根据接收的信号来调整干盘管冷水阀的开度，进而调节回风和