烧结提纯炉控制系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空炉的技术领域，尤其是涉及一种烧结提纯炉控制系统。
【背景技术】
[0002]目前，传统的真空炉是由熔炼室、中真空计、低真空计、高真空阀、前级真空栗、保护气体源、加热电源灯组成，其真空炉存在结构复杂，抽气效率低和能耗高的缺点。其次熔炼室的内部情况不能查明，导致熔炼不够充分;而且真空熔炼炉释放的压力不易监控，容易发生爆炸，严重影响了生产。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种结构简单、能随时监控其压力的一种烧结提纯炉控制系统。
[0004]实现本实用新型目的的技术方案是:一种烧结提纯炉控制系统，具有真空室，所述真空室的一个输出端通过高阀与扩散栗的输入端连接，另一个输出端通过预抽阀和罗茨栗的输入端连接;所述罗茨栗的输出端端与机械栗连接;所述扩散栗和罗茨栗之间连接有前级阀；所述真空室上设有第一压力传感器，所述第一压力传感器通过信号与中央控制器连接。
[0005]上述技术方案所述罗茨栗内设有第二压力传感器，所述第二压力传感器通过信号与中央控制器连接。
[0006]上述技术方案所述扩散栗内设有第三压力传感器，所述第三压力传感器通过信号与中央控制器连接。
[0007]采用上述技术方案后，本实用新型具有以下积极的效果:
[0008]1、本实用新型的真空炉系统结构简单、使用方便，自动化程度高。
[0009]2、本实用新型采用压力传感器可以有效的监控炉内的反应压力，做到及时有效的监控，保证了设备的安全。
【附图说明】
[0010]为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
[0011]图1为本实用新型的结构示意图；
[0012]附图中标号为:1、真空室，2、扩散栗，3、罗茨栗，4、机械栗，5、第一压力传感器，6、第二压力传感器，7、第三压力传感器，8、中央控制器，9、高阀，10、前级阀，11、预抽阀。
【具体实施方式】
[0013](实施例1)
[0014]见图1所示，一种烧结提纯炉控制系统，具有真空室I，所述真空室I的一个输出端通过高阀9与扩散栗2的输入端连接，另一个输出端通过预抽阀11和罗茨栗3的输入端连接；所述罗茨栗3的输出端端与机械栗4连接;所述扩散栗2和罗茨栗3之间连接有前级阀10;所述真空室I上设有第一压力传感器5，所述第一压力传感器5通过信号与中央控制器8连接。
[0015]罗茨栗3内设有第二压力传感器6，所述第二压力传感器6通过信号与中央控制器8连接。
[0016]扩散泵2内设有第三压力传感器7，所述第三压力传感器7通过信号与中央控制器8连接。
[0017]以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种烧结提纯炉控制系统，其特征在于:具有真空室(I)，所述真空室(I)的一个输出端通过高阀(9)与扩散栗(2)的输入端连接，另一个输出端通过预抽阀(11)和罗茨栗(3)的输入端连接;所述罗茨栗(3)的输出端与机械栗(4)连接;所述扩散栗(2)和罗茨栗(3)之间连接有前级阀(10);所述真空室(I)上设有第一压力传感器(5)，所述第一压力传感器(5)通过信号与中央控制器(8)连接。2.根据权利要求1所述的一种烧结提纯炉控制系统，其特征在于:所述罗茨栗(3)内设有第二压力传感器(6)，所述第二压力传感器(6)通过信号与中央控制器(8)连接。3.根据权利要求1所述的一种烧结提纯炉控制系统，其特征在于:所述扩散栗(2)内设有第三压力传感器(7)，所述第三压力传感器(7)通过信号与中央控制器(8)连接。
【专利摘要】本实用新型涉及一种烧结提纯炉控制系统，具有真空室，所述真空室的一个输出端通过高阀与扩散泵的输入端连接，另一个输出端通过预抽阀和罗茨泵的输入端连接；所述罗茨泵的输出端端与机械泵连接；所述扩散泵和罗茨泵之间连接有前级阀；所述真空室上设有第一压力传感器，所述第一压力传感器通过信号与中央控制器连接。本实用新型的真空炉系统结构简单、使用方便，自动化程度高，本实用新型采用压力传感器可以有效的监控炉内的反应，做到及时有效的监控，保证了设备的安全。
【IPC分类】F27D19/00, F27B14/20
【公开号】CN205316977
【申请号】CN201620016568
【发明人】李新华, 李超
【申请人】常州瞻驰光电科技有限公司
【公开日】2016年6月15日
【申请日】2016年1月7日