一种硅片切割液冷却装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种硅片切割液冷却装置。包括进液腔，所述进液腔一侧外沿设有第一法兰，所述进液腔端面下部设有切割液进口,所述进液腔远离切割液进口的一端设有腔体，所述腔体靠近进液腔端部的一侧设有第二法兰,所述第一法兰与第二法兰之间设有第一法兰垫,所述腔体靠近进液腔的一端设有过滤网，所述过滤网远离进液腔的一侧为两个相同形状的切割液冷却管道，所述腔体靠近第二法兰的一侧设有冷却液出口，所述腔体远离过滤网的一端设有切割液出口，所述腔体靠近切割液出口的一侧设有冷却液进口，所述过滤网为细密金属网状结构。本实用新型，细密金属网状的过滤网能够过滤掉切割液中颗粒较小的杂质。
【专利说明】
一种硅片切割液冷却装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及冷却技术领域，尤其涉及一种硅片切割液冷却装置。
【背景技术】
[0002]在如今的半导体行业，硅片切割是常见的生产环节。硅片切割过程中会用到切割液，但是在硅片切割过程中会产生大量热，导致切削后的切割液温度升高。因为硅片切割过程中对切割液的温度有严格要求，因此切割液必须进行冷却再循环利用。另外在切割过程中会有一些颗粒物等杂志进入切割液中，而现今的切割液冷却装置都是采用板式换热器，不仅冷却效果低而且不容易清理杂质，从而对产品质量造成影响。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片切割液冷却装置。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案:
[0005]—种硅片切割液冷却装置，包括进液腔，所述进液腔一侧外沿设有第一法兰，所述进液腔端面下部设有切割液进口，所述进液腔远离切割液进口的一端设有腔体，所述腔体靠近进液腔端部的一侧设有第二法兰，所述第一法兰与第二法兰之间设有第一法兰垫，所述腔体靠近进液腔的一端设有过滤网，所述过滤网远离进液腔的一侧为两个相同形状的切割液冷却管道，所述腔体靠近第二法兰的一侧设有冷却液出口，所述腔体远离过滤网的一端设有切割液出口，所述腔体靠近切割液出口的一侧设有冷却液进口。
[0006]优选的，所述切割液冷却管道设置为回环曲折结构。
[0007]优选的，所述进液腔与腔体均为圆柱体结构。
[0008]优选的，所述过滤网为细密金属网状结构。
[0009]优选的，所述切割液冷却管道的管壁与腔体的内壁不接触。
[0010]本实用新型中，切割液进口设置在进液腔端面下端且进液腔下端宽度超过腔体直径，这样切割液中较大颗粒的杂质就会在重力作用下沉淀在进液腔底部，接着，细密金属网状的过滤网能够过滤掉切割液中颗粒较小的杂质，还有，进液腔与腔体之间采用法兰连接固定，方便拆卸清理进液腔里的杂质，此外，切割液冷却管道设置成回环曲折的结构，在不增加腔体长度的前提下增加了切割液冷却管道的长度，有力的增强了冷却效果。另外，切割液冷却管道不与腔体内壁接触，这样冷却水进入腔体后就能充分与切割液冷却管道进行充分的热交换。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型提出的一种硅片切割液冷却装置的结构示意图。
[0012]图中:I腔体、2第一法兰、3法兰垫片、4第二法兰，5冷却液出口、6切割液冷却管道、7腔体、8切割液进口、9过滤网、1冷却液进口、11切割液出口。
【具体实施方式】
[0013]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0014]参照图1，一种硅片切割液冷却装置，包括进液腔I，进液腔I一侧外沿设有第一法兰2，进液腔I端面下部设有切割液进口 8，进液腔I远离切割液进口 8的一端设有腔体7，所述腔体7靠近进液腔I端部的一侧设有第二法兰4，第一法兰2与第二法兰4之间设有法兰垫3，腔体7靠近进液腔I的一端设有过滤网9，过滤网9远离进液腔I的一侧为两个相同形状的切割液冷却管道6，腔体7靠近第二法兰4的一侧设有冷却液出口 5，腔体7远离过滤网9的一端设有切割液出口 11，腔体7靠近切割液出口 11的一侧设有冷却液进口 10，切割液冷却管道6设置为回环曲折结构，在不增加腔体7长度的前提下增加了切割液冷却管道6的长度，有力的增强了冷却效果进液腔I与腔体7均为圆柱体结构，过滤网9为细密金属网状结构，细密金属网状的过滤网能够过滤掉切割液中颗粒较小的杂质，切割液冷却管道6的管壁与腔体7的内壁不接触，这样冷却水进入腔体后就能充分与切割液冷却管道6进行充分的热交换。
[0015]以上所述，仅为本实用新型较佳的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种硅片切割液冷却装置，包括进液腔(I)，其特征在于:所述进液腔(I)一侧外沿设有第一法兰(2)，所述进液腔(I)端面下部设有切割液进口(8)，所述进液腔(I)远离切割液进口(8)的一端设有腔体(7)，所述腔体(7)靠近进液腔(I)端部的一侧设有第二法兰(4)，所述第一法兰(2)与第二法兰(4)之间设有第一法兰垫(3)，所述腔体(7)靠近进液腔(I)的一端设有过滤网(9)，所述过滤网(9)远离进液腔(I)的一侧设有两个相同形状的切割液冷却管道(6)，所述腔体(7)靠近第二法兰(4)的一侧设有冷却液出口(5)，所述腔体(7)远离过滤网(9)的一端设有切割液出口(11)，所述腔体(7)靠近切割液出口(11)的一侧设有冷却液进口(1)02.根据权利要求1所述的一种硅片切割液冷却装置，其特征在于:所述切割液冷却管道(6)设置为回环曲折结构。3.根据权利要求1所述的一种硅片切割液冷却装置，其特征在于:所述进液腔(I)与腔体(7)均为圆柱体结构。4.根据权利要求1所述的一种硅片切割液冷却装置，其特征在于:所述过滤网(9)为细密金属网状结构。5.根据权利要求1所述的一种硅片切割液冷却装置，其特征在于:所述切割液冷却管道(6)的管壁与腔体(7)的内壁不接触。
【文档编号】F28F19/01GK205482470SQ201620006405
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年1月5日
【发明人】李朝辉, 王军
【申请人】江西忠智太阳能科技有限公司