一种真空状态可调的碳管炉的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉一种真空状态可调的碳管炉，包括炉体，炉体内设有挂架，炉体为圆柱形炉体，炉体的上端设有顶板，炉体的下端设有底板，顶板、底板和炉体组成密闭舱体；炉体内设有内衬板，内衬板内侧设有加热管；底板上设有舱门；底板上侧的炉体内设有真空压力传感器；顶板的上端设有真空泵，炉体的侧面设有若干个抽气口，抽气口通过真空管与真空泵连通；每个抽气口上设有一个电控真空阀；炉体侧壁上设有一个调压口，调压口上设有一个电控真空阀。本实用新型能够在气相沉积作业中便捷调控真空度，确保作业过程中真空度的稳定，提高沉积作业的质量和产品质量，确保最佳的气相沉积效果。
【专利说明】
一种真空状态可调的碳管炉
技术领域
[0001]本实用新型涉及碳管炉，具体涉及一种真空状态可调的碳管炉。
【背景技术】
[0002]在过去的气相沉积过程中，一般认为炉体的加热体内径超过了0300mm，用感应炉加热比碳管炉加热要好，因为它产生的热量损失小。但同功率的感应炉初期投资要比碳管炉高的多，同时需要的技术人员来操作和维护也相应的多。
[0003]碳管炉在作业过程中，往往需要调整炉体内的真空度以确保最佳的工作效率和产品质量，而现有的碳管炉不能够便捷调控真空度，不能够保持真空度的温度，造成气相沉积作业的质量不高，产品质量不稳定。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术中的缺陷，设计一种真空状态可调的碳管炉，能够在气相沉积作业中便捷调控真空度，确保作业过程中真空度的稳定，提高沉积作业的质量和产品质量，确保最佳的气相沉积效果。
[0005]为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是一种真空状态可调的碳管炉，包括炉体，炉体内设有挂架，炉体为圆柱形炉体，炉体的上端设有顶板，炉体的下端设有底板，顶板、底板和炉体组成密闭舱体;炉体内设有内衬板，内衬板内侧设有加热管；
[0006]底板上设有舱门；底板上侧的炉体内设有真空压力传感器;顶板的上端设有真空栗，炉体的侧面设有若干个抽气口，抽气口通过真空管与真空栗连通;每个抽气口上设有一个电控真空阀；炉体侧壁上设有一个调压口，调压口上设有一个电控真空阀；
[0007]炉体的侧面设有电控箱，电控箱通过控制线路分别与每个电控真空阀电连接;真空压力传感器通过信号线路与电控箱连接。
[0008]优选的，舱门与顶板开合配合。
[0009]优选的，内衬板为陶瓷隔热板。
[0010]优选的，底板上设有支座，加热管的下端固定在支座上。
[0011 ]优选的，炉体的侧壁由厚度为1-2.5cm厚度的不锈钢构成。
[0012]优选的，加热管为石墨加热管。
[0013]优选的，电控箱上设有蜂鸣器和报警灯。
[0014]本实用新型的优点和有益效果在于:能够在气相沉积作业中便捷调控真空度，确保作业过程中真空度的稳定，提高沉积作业的质量和产品质量，确保最佳的气相沉积效果。通过真空压力传感器，实时监控炉体内的真空度，由电控箱检测真空度数据后调控真空栗和电控真空阀的状态，调整炉体内的真空度，使真空度保持在最佳状态，确保最佳的真空度。
[0015]本实用新型真空状态可调的碳管炉的工作过程为:打开舱门，将待加工部件放置在挂架上，管壁舱门使炉体密封，电控箱调控电控真空阀使炉体保持密封;加热管加热使炉体温度升高，真空栗在电控阀的控制下工作，对炉体内机箱抽真空作业，真空压力传感器实时监控炉体内的真空度，反馈至控制箱后，控制箱调控电控真空阀和真空栗的工作状态以确保最佳的真空度;当真空度超出预设阈值后，蜂鸣器和报警灯工作提示故障。
【附图说明】
[0016]图1是本实用新型真空状态可调的碳管炉的结构示意图。
[0017]图中:1、真空管;2、真空栗;3、导线;4、加热管;5、舱门；6、顶板;7、内衬板;8、电控真空阀；9、抽气口； 10、炉体；11、挂架；12、真空压力传感器；13、底板；14、支座；15、调压口；16、电控箱；17、显示屏。
【具体实施方式】
[0018]下面结合实施例，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
[0019]实施例1
[0020]如图1所示:一种真空状态可调的碳管炉，包括炉体10，炉体10内设有挂架11，炉体10为圆柱形炉体10，炉体10的上端设有顶板6，炉体10的下端设有底板13，顶板6、底板13和炉体10组成密闭舱体;炉体10内设有内衬板7，内衬板7内侧设有加热管4 ；
[0021]底板13上设有舱门5;底板13上侧的炉体10内设有真空压力传感器12;顶板6的上端设有真空栗2，炉体10的侧面设有2个抽气口 9，抽气口 9通过真空管I与真空栗2连通;每个抽气口 9上设有一个电控真空阀8;炉体10侧壁上设有一个调压口 15，调压口 15上设有一个电控真空阀8;
[0022 ]炉体1的侧面设有电控箱16，电控箱16通过控制线路分别与每个电控真空阀8电连接;真空压力传感器12通过信号线路与电控箱16连接。舱门5与顶板6开合配合。内衬板7为陶瓷隔热板。
[0023]底板13上设有支座14，加热管4的下端固定在支座14上。炉体10的侧壁由厚度为1.5cm厚度的不锈钢构成。加热管4为石墨加热管4。电控箱16上设有蜂鸣器和报警灯。
[0024]本实施例的有益效果在于:能够在气相沉积作业中便捷调控真空度，确保作业过程中真空度的稳定，提高沉积作业的质量和产品质量，确保最佳的气相沉积效果。通过真空压力传感器12，实时监控炉体10内的真空度，由电控箱16检测真空度数据后调控真空栗2和电控真空阀8的状态，调整炉体10内的真空度，使真空度保持在最佳状态，确保最佳的真空度。
[0025]本实施例的工作过程为:打开舱门5，将待加工部件放置在挂架11上，管壁舱门5使炉体10密封，电控箱16调控电控真空阀8使炉体10保持密封;加热管4加热使炉体10温度升高，真空栗2在电控阀的控制下工作，对炉体10内机箱抽真空作业，真空压力传感器12实时监控炉体10内的真空度，反馈至控制箱后，控制箱调控电控真空阀8和真空栗2的工作状态以确保最佳的真空度;当真空度超出预设阈值后，蜂鸣器和报警灯工作提示故障。
[0026]本实施例中采用的电控箱结构、电控箱的控制方法为现有常规技术，本领域的技术人员完全能够实现。
[0027]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种真空状态可调的碳管炉，包括炉体，炉体内设有挂架，其特征在于，炉体为圆柱形炉体，炉体的上端设有顶板，炉体的下端设有底板，顶板、底板和炉体组成密闭舱体;炉体内设有内衬板，内衬板内侧设有加热管； 底板上设有舱门；底板上侧的炉体内设有真空压力传感器;顶板的上端设有真空栗，炉体的侧面设有若干个抽气口，抽气口通过真空管与真空栗连通;每个抽气口上设有一个电控真空阀；炉体侧壁上设有一个调压口，调压口上设有一个电控真空阀； 炉体的侧面设有电控箱，电控箱通过控制线路分别与每个电控真空阀电连接;真空压力传感器通过信号线路与电控箱连接。2.如权利要求1所述的真空状态可调的碳管炉，其特征在于，舱门与顶板开合配合。3.如权利要求2所述的真空状态可调的碳管炉，其特征在于，内衬板为陶瓷隔热板。4.如权利要求3所述的真空状态可调的碳管炉，其特征在于，底板上设有支座，加热管的下端固定在支座上。5.如权利要求4所述的真空状态可调的碳管炉，其特征在于，炉体的侧壁由厚度为1-2.5cm厚度的不锈钢构成。6.如权利要求5所述的真空状态可调的碳管炉，其特征在于，加热管为石墨加热管。7.如权利要求6所述的真空状态可调的碳管炉，其特征在于，电控箱上设有蜂鸣器和报警灯。
【文档编号】F27D19/00GK205561541SQ201620319531
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年4月18日
【发明人】董家海, 曹新华, 周孟忠
【申请人】常熟东星电子材料有限公司