本发明涉及用于利用液体对温度控制对象物进行温度控制的液体调温装置以及具有该液体调温装置的温度控制系统。
背景技术：
已知有如下液体调温装置，该液体调温装置具有冷却装置和循环装置，其中，所述冷却装置具有压缩机、冷凝器、膨胀阀和蒸发器，所述循环装置使载冷剂等液体循环，所述液体调温装置利用冷却装置的蒸发器来冷却循环装置的液体(例如，参照专利文献1)。在这样的液体调温装置中，循环装置通常具有用于对液体进行加热的加热器。由此能够进行液体的冷却和加热，从而能够将液体的温度高精度地控制在期望的温度。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2006-38323号公报
技术实现要素：
发明要解决的课题
在上述那样的液体调温装置中，存在要求将循环装置的液体供给至多个温度控制对象物的情况。该情况下，也可以在冷却装置中并列设置多个蒸发器，并设置与蒸发器对应的数量的循环装置。这样的方式与针对多个冷却装置设置多个循环装置的情况相比较，能够抑制冷却装置的尺寸，因此在能够抑制冷却装置的设置空间这一方面是有用的。
然而，上述方式还没有充分实现循环装置的制造成本的抑制以及装置结构的简化。特别是，在各个循环装置中分别设置加热器的情况下，可能会意外增加制造成本和能量成本。具体而言，一般在循环装置中，加热器是电加热器，能够高精度地对液体进行加热，但是，在将液体供给至多个温度控制对象物的情况下，存在并不一定需要将被高精度地进行了温度控制的液体供给至全部的温度控制对象物的状况。在这样的状况下，在冷却装置中设置多个蒸发器且与各蒸发器对应地设置多个电加热器的方式会意外增加制造成本，并且还会意外增加能量成本。
本发明正是考虑到这样的情况而提出的，其目的在于提供能够在抑制制造成本和能量成本的同时将被进行了温度控制的液体供给至多个温度控制对象物的液体调温装置及温度控制系统。
用于解决课题的手段
本发明是如下液体调温装置，其特征在于，所述液体调温装置具有热介质循环装置和液体流通装置，其中，所述热介质循环装置具有：冷却单元，其是压缩机、冷凝器、膨胀阀以及多个冷却用热交换器按照该顺序由配管连接而成的，以使热介质循环；和加热单元，其使从所述压缩机朝向所述冷凝器流出的所述热介质的一部分分流，并使该热介质的一部分以经由加热用热交换器和加热量调节阀而在所述压缩机的下游侧流入所述冷凝器中的方式返回，所述液体流通装置具有供液体流通的多个液体流通路，所述多个液体流通路中的第1液体流通路与所述多个冷却用热交换器中的第1冷却用热交换器连接，使得在所述第1液体流通路中流通的所述液体能够与在所述第1冷却用热交换器中流通的所述热介质进行热交换，并且该第1液体流通路与所述加热用热交换器连接，使得在所述第1液体流通路中流通的所述液体能够与在所述加热用热交换器中流通的所述热介质进行热交换，所述多个液体流通路中的第2液体流通路与所述多个冷却用热交换器中的第2冷却用热交换器连接，使得在所述第2液体流通路中流通的所述液体能够与在所述第2冷却用热交换器中流通的所述热介质进行热交换，在所述第2液体流通路中设有用于对在所述第2液体流通路中流通的所述液体进行加热的电加热器。
根据本发明的液体调温装置，能够从第1液体流通路和第2液体流通路向不同的温度控制对象物供给液体。对在第2液体流通路中流通的液体进行的冷却是利用液体与在冷却单元的第2冷却用热交换器中流通的热介质之间的热交换来进行的，对在第2液体流通路中流通的液体进行的加热是利用电加热器来进行的。此外，对在第1液体流通路中流通的液体进行的冷却是利用液体与在冷却单元的第1冷却用热交换器中流通的热介质之间的热交换来进行的，对在第1液体流通路中流通的液体进行的加热是利用液体与在加热单元的加热用热交换器中流通的、通过冷却单元的压缩机而成为高温状态的热介质的一部分之间的热交换来进行的。此时的加热用热交换器的加热能力能够利用加热量调节阀来调节。在该结构中，加热用热交换器无需与专用的电源供给电路连接，而是利用冷却单元产生的热量来进行加热的，因此能够抑制制造成本和能量成本。由此能够在抑制制造成本和能量成本的同时将被进行了温度控制的液体供给至多个温度控制对象物。
特别是，在本发明的液体调温装置中，对在第1液体流通路中流通的液体进行的加热是通过利用冷却单元的热介质的一部分来进行的。此外，对在第2液体流通路中流通的液体进行的加热是利用电加热器来进行的。由此，对于例如要求供给被高精度地进行了温度控制的液体的温度控制对象物，可选择从第2液体流通路来供给液体等使用方式。因此，例如在被应用于并不一定需要将被高精度地进行了温度控制的液体供给至全部的温度控制对象物的状况时，本发明的液体调温装置能够特别有效地抑制制造成本和能量成本。
也可以是，所述第2液体流通路具有：第2主流路，在该第2主流路的上游端与下游端之间包含所述第2液体流通路与所述第2冷却用热交换器连接的连接部分；和多个第2分支流路，其从所述第2主流路的下游端分支，所述电加热器设置在所述多个第2分支流路的各个分支流路中。
该情况下，能够从多个第2分支流路向多个温度控制对象物供给液体，从而能够扩大液体调温装置的应用范围。
此外，也可以是，所述第1液体流通路具有：第1主流路，在该第1主流路的上游端与下游端之间包含有所述第1液体流通路与所述第1冷却用热交换器以及所述加热用热交换器连接的连接部分；和多个第1分支流路，该多个第1分支流路从所述第1主流路的下游端分支。
该情况下，能够从多个第1分支流路向多个温度控制对象物供给液体，从而能够扩大液体调温装置的应用范围。
此外，也可以是，所述加热单元具有使从所述压缩机朝向所述冷凝器流出的所述热介质的一部分分流的多个流路，所述加热用热交换器和所述加热量调节阀设置于所述多个流路的各个流路中。
该情况下，能够利用多个加热用热交换器和加热量调节阀对液体进行温度控制，从而能够增加液体的温度控制模式。
此外，也可以是，本发明的液体调温装置至少还具有控制所述电加热器的控制装置，所述控制装置经由固态继电器控制所述电加热器。
该情况下，通过利用固态继电器而使得电加热器的控制稳定，从而能够高精度地对在第2液体流通路中流通的液体进行温度控制。
此外，也可以是，所述冷却单元中的所述膨胀阀设置于所述多个冷却用热交换器各自的上游侧。
该情况下，通过独立地控制与多个冷却用热交换器分别对应的膨胀阀，从而能够独立地调节多个冷却用热交换器的冷冻能力。由此，能够根据与各冷却用热交换器对应的温度控制对象物所要求的液体温度而独立地调节各冷却用热交换器的冷冻能力，从而能够实施高效率的温度控制。
发明的效果
根据本发明，能够在抑制制造成本和能量成本的同时将被进行了温度控制的液体供给至多个温度控制对象物。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式的液体调温装置的概要图。
图2是本发明的第2实施方式的液体调温装置的概要图。
图3是具有第1或第2实施方式的液体调温装置和空调装置的温度控制系统的侧视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的各实施方式详细地进行说明。
＜第1实施方式＞
图1是本发明的第1实施方式的液体调温装置1的概要图。图1所示的液体调温装置1具有热介质循环装置10、液体流通装置100和控制装置200。热介质循环装置10利用在其内部循环的热介质对流通于液体流通装置100的液体进行温度控制，液体流通装置100将通过热介质循环装置10进行了温度控制后的液体供给至温度控制对象物。利用控制装置200对热介质循环装置10和液体流通装置100进行的控制而将在液体流通装置100中流通的液体调节为期望的温度。
液体调温装置1能够从液体流通装置100将被进行了温度控制的液体供给至多个温度控制对象物。被供给液体的多个温度控制对象物例如可以是半导体制造设备中所包含的多个处理装置。此外，半导体制造设备中所包含的处理装置例如可以是光致抗蚀剂的涂敷装置、进行光致抗蚀剂的显影的显影装置等。在以下内容中，对液体调温装置1的各部分进行说明。
(热介质循环装置)
首先，对热介质循环装置10进行说明。如图1所示，热介质循环装置10具有：冷却单元cu，其是压缩机11、冷凝器12、膨胀阀13以及多个冷却用热交换器14按照该顺序由配管15连接而成的，以使热介质循环；和加热单元hu，其使从压缩机11朝向冷凝器12流出的热介质的一部分分流，并使该热介质的一部分以经由加热用热交换器21以及设置于其下游侧的加热量调节阀22在压缩机11的下游侧流入冷凝器12的方式返回。
在冷却单元cu中，压缩机11对从多个冷却用热交换器14流出的、低温且低压的气体状态的热介质进行压缩，使之以高温(例如80℃)且高压的气体状态向冷凝器12供给。在本实施方式中，压缩机11为以可变运转频率运转并能够根据运转频率调节转速的变频压缩机。因此，压缩机11的运转频率越大，则将越多的热介质供给至冷凝器12。作为压缩机11，优选采用一体地具有变频器和电机的涡旋式压缩机。另外，本实施方式中的压缩机11虽然能够调节转速，但是，压缩机11也可以构成为以固定运转频率并以固定的转速运转的结构。
冷凝器12利用冷却水来冷却被压缩机11压缩后的热介质并使热介质冷凝，使之以规定的冷却温度(例如40℃)的高压的液体状态向膨胀阀13供给。对于冷凝器12的冷却水，可以使用水，也可以使用其它制冷剂。另外，图中的标号16表示向冷凝器12供给冷却水的冷却水配管。此外，膨胀阀13针对从冷凝器12供给的热介质通过使之膨胀的方式来对其进行减压，使之以低温(例如2℃)且低压的气液混合状态向多个冷却用热交换器14供给。
在本实施方式中，多个冷却用热交换器14并列配置，各冷却用热交换器14使从膨胀阀13供给的热介质流通。详细而言，配管15具有在冷凝器12的下游侧分支为多个(在本例中为两股)、然后彼此汇合的第1分支部15a和第2分支部15b，其中的第1分支部15a与多个冷却用热交换器14中的第1冷却用热交换器14a连接，第2分支部15b与多个冷却用热交换器14中的第2冷却用热交换器14b连接。即，一个冷却用热交换器14分别与多个分支部15a、15b连接。此外，膨胀阀13包含第1膨胀阀13a和第2膨胀阀13b，第1膨胀阀13a在第1冷却用热交换器14a的上游侧设置于第1分支部15a，第2膨胀阀13b在第2冷却用热交换器14b的上游侧设置于第2分支部15b。
详细情况容后再述，多个冷却用热交换器14分别使从所对应的膨胀阀13供给的热介质与液体流通装置100的液体进行热交换。这里，与液体之间进行热交换后的热介质成为低温且低压的气体状态而从各冷却用热交换器14流出，且再次被压缩机11压缩。在这样的冷却单元cu中，通过使压缩机11的运转频率变化并对转速进行调节，能够对供给至冷凝器12的热介质的供给量进行调节，并且，由于能够调节膨胀阀13的开度，从而能够对供给至冷却用热交换器14的热介质的供给量进行调节。利用这样的调节而使得冷却能力可变。
另一方面，加热单元hu具有返回配管23，该返回配管23被连接成：跨越配管15的、位于压缩机11与冷凝器12之间的部分的上游侧和下游侧。上述加热用热交换器21与该返回配管23连接。此外，加热量调节阀22在加热用热交换器21的下游侧设置于返回配管23上。由此，加热单元hu能够使从压缩机11朝向冷凝器12流出的热介质的一部分分流，并以经由加热用热交换器21和加热量调节阀22而流入冷凝器12的方式返回。
在该加热单元hu中，将被压缩机11压缩后的高温且高压的气体状态的热介质供给至加热用热交换器21。详细情况容后再述，加热用热交换器21通过使被供给的热介质与液体流通装置100的液体进行热交换从而对液体进行加热。这里，加热量调节阀22通过调节从加热用热交换器21返回至配管15的热介质的返回量，从而能够变更加热用热交换器21的加热能力。热介质的返回量越多，则该加热能力越增加。
(液体流通装置)
接下来，对液体流通装置100进行说明。如图1所示，液体流通装置100具有：罐体101，其储存液体；共用流路102，其具有与罐体101连接且用于使液体流通的泵103；以及多个液体流通路104，它们从共用流路102的下游端分支。储存在罐体101中的液体可以是水，也可以是载冷剂。虽然未图示，本实施方式中的罐体101连接有用于使从经由液体流通路104被供给了液体的温度控制对象物流出的液体返回至罐体101的配管。此外，泵103利用其驱动将罐体101内的液体引入到共用流路102侧。由此将罐体101的液体分配到多个液体流通路104中而进行供给。
在本实施方式中，多个液体流通路104包含有第1液体流通路104a和第2液体流通路104b。其中的第1液体流通路104a与第1冷却用热交换器14a连接，使得第1液体流通路104a中流通的液体能够与在第1冷却用热交换器14a中流通的热介质进行热交换。此外，第1液体流通路104a与加热用热交换器21连接，使得第1液体流通路104a中流通的液体能够与在加热用热交换器21中流通的热介质进行热交换。在图示的示例中，第1液体流通路104a的与第1冷却用热交换器14a连接的连接部分位于比第1液体流通路104a的与加热用热交换器21连接的连接部分靠上游侧的位置。
在本实施方式中，液体流通路104具有：第1主流路104a1，在该第1主流路104a1的上游端与下游端之间包含有液体流通路104与第1冷却用热交换器14a和加热用热交换器21连接的连接部分；和多个第1分支流路104a2～104a4，该多个第1分支流路104a2～104a4从第1主流路104a1的下游端分支。由此，能够将通过第1冷却用热交换器14a和加热用热交换器21而被进行了温度控制的液体供给至多个温度控制对象物。此外，在第1主流路104a1中的第1冷却用热交换器14a的下游侧且加热用热交换器21的上游侧的部分处，设有第1上游侧温度传感器31。在第1主流路104a1中的加热用热交换器21的下游侧的部分处设有第1下游侧温度传感器32。上述第1上游侧温度传感器31和第1下游侧温度传感器32将检测到的液体的温度信息输出至控制装置200。
另一方面，第2液体流通路104b与第2冷却用热交换器14b连接，使得第2液体流通路104b中流通的液体能够与在第2冷却用热交换器14b中流通的热介质进行热交换。此外，在第2液体流通路104b中设有用于对所流通的液体进行加热的电加热器111。详细而言，本实施方式中的第2液体流通路104b具有：第2主流路104b1，在该第2主流路104b1的上游端与下游端之间包含有第2液体流通路104b与第2冷却用热交换器14b连接的连接部分；和多个第2分支流路104b2～104b4，该多个第2分支流路104b2～104b4从第2主流路104b1的下游端分支。此外，电加热器111由第1电加热器112、第2电加热器113和第3电加热器114构成。并且，第1电加热器112设置于第2分支流路104b2中，第2电加热器113设置于第2分支流路104b3中，第3电加热器114设置于第2分支流路104b4中。由此，能够将通过第2冷却用热交换器14b和各电加热器112～114而被进行了温度控制的液体供给至多个温度控制对象物。虽然电加热器111的形式并不特别限定，但是，考虑到控制的稳定性和成本，优选利用电阻加热的类型。
此外，在第2主流路104b1中的第2冷却用热交换器14b的下游侧的部分处设有第2上游侧温度传感器33。在第2分支流路104b2～104b4中的各电加热器112～114各自的下游侧的部分处设有第2下游侧温度传感器34。上述第2上游侧温度传感器33和各第2下游侧温度传感器34将检测到的液体的温度信息输出至控制装置200。
(控制装置)
接下来，对控制装置200进行说明。控制装置200控制热介质循环装置10中的压缩机11、第1膨胀阀13a、第2膨胀阀13b和加热量调节阀22，并且控制液体流通装置100中的第1～第3电加热器112～114。此外，控制装置200分别与第1上游侧温度传感器31、第1下游侧温度传感器32、第2上游侧温度传感器33和第2下游侧温度传感器34电连接。
控制装置200通过调节压缩机11的运转频率从而能够调节压缩机11的转速。在已通过控制装置200提高了压缩机11的运转频率的情况下，压缩机11的转速增加，由此能够增加供给至第1冷却用热交换器14a和第2冷却用热交换器14b的热介质的供给量。由此能够增加冷冻能力。此外，在已通过控制装置200降低了压缩机11的运转频率的情况下，压缩机11的转速降低，由此能够降低供给至第1冷却用热交换器14a和第2冷却用热交换器14b的热介质的供给量。由此能够降低冷冻能力。另外，在本实施方式中，压缩机11以固定的转速运转。该情况下，通过抑制冷冻能力的变动，能够使温度控制稳定。
此外，控制装置200还能够调节第1膨胀阀13a的开度和第2膨胀阀13b的开度。控制装置200为了将从第1冷却用热交换器14a和第2冷却用热交换器14b流出的热介质的压力维持在期望值、或者为了将第1冷却用热交换器14a的冷冻能力和第2冷却用热交换器14b的冷冻能力控制在期望值，能够调节第1膨胀阀13a的开度和第2膨胀阀13b的开度。在将第1冷却用热交换器14a的冷冻能力和第2冷却用热交换器14b的冷冻能力控制在期望值的情况下，控制装置200可以根据来自第1上游侧温度传感器31的温度信息对第1膨胀阀13a的开度进行调节，并根据来自第2上游侧温度传感器33的温度信息对第2膨胀阀13b的开度进行调节。
此外，在本实施方式中，控制装置200经由第1脉冲转换器201控制第1膨胀阀13a，并经由第2脉冲转换器202控制第2膨胀阀13b。第1脉冲转换器201和第2脉冲转换器202分别被输入由控制装置200运算出的操作量，并将被输入的操作量转换为脉冲信号输出至第1膨胀阀13a和第2膨胀阀13b。
此外，控制装置200还能够调节加热量调节阀22的开度。在利用控制装置200增大了加热量调节阀22的开度的情况下，供给至加热用热交换器21的热介质的供给量增加，由此能够使加热能力增加。此外，在利用控制装置200减小了加热量调节阀22的开度的情况下，供给至加热用热交换器21的热介质的供给量降低，由此能够使加热能力降低。控制装置200也可以根据来自第1下游侧温度传感器32的温度信息对加热量调节阀22的开度进行调节。此外，在本实施方式中，控制装置200经由第3脉冲转换器203控制加热量调节阀22。第3脉冲转换器203被输入由控制装置200运算出的操作量，并将被输入的操作量转换为脉冲信号输出至加热量调节阀22。
此外，控制装置200能够独立地调节第1～第3电加热器112～114的加热量。在本实施方式中，如图1所示，控制装置200经由第1固态继电器(ssr1)211控制第1电加热器112，经由第2固态继电器(ssr2)212控制第2电加热器(ssr3)113，并经由第3固态继电器213控制第3电加热器114。
(动作)
接下来，对液体调温装置1的动作进行说明。在使液体调温装置1动作时，首先，将液体流通装置100中的第1分支流路104a2～104a4和第2分支流路104b2～104b4分别例如经由未图示的配管与期望的温度控制对象物连接。此外，将用于使通过各温度控制对象物的液体返回至罐体101的配管与罐体101连接。然后，驱动液体流通装置100中的泵103，使液体流通。此外，还驱动热介质循环装置10中的压缩机11，使热介质循环。
从压缩机11中喷出的热介质在被冷凝器12冷凝之后，经由膨胀阀13a、13b而分别流入第1冷却用热交换器14a和第2冷却用热交换器14b中。这时，从压缩机11喷出的热介质的一部分在流入加热用热交换器21中后，返回至冷凝器12的下游侧。进而，流入第1冷却用热交换器14a和第2冷却用热交换器14b中的热介质在与液体流通装置100的液体进行了热交换之后汇合而流入压缩机11中。流入压缩机11中的热介质再次被压缩而喷出。
此外，在液体流通装置100中，利用泵103的驱动使来自罐体101的液体分别在第1液体流通路104a和第2液体流通路104b中流通。在第1液体流通路104a中流通的液体通过与在第1冷却用热交换器14a中流通的热介质进行热交换而被冷却。然后，该液体通过与在加热用热交换器21中流通的热介质进行热交换而被加热。这时，通过将第1冷却用热交换器14a的冷冻能力调节为期望值并将加热用热交换器21的加热能力调节为期望值，从而将液体的温度控制在期望的温度。然后，液体从第1主流路104a1的下游端流向第1分支流路104a2～104a4中的各个分支流路，从而被供给至所对应的温度控制对象物。
此外，在第2液体流通路104b中流通的液体通过与在第2冷却用热交换器14b中流通的热介质进行热交换而被冷却。然后，该液体流向第2分支流路104b2～104b4中的各个分支流路，被所对应的第1～第3电加热器112～114加热。然后，在第2分支流路104b2～104b4中流通的液体被供给至所对应的温度控制对象物。这时，通过将第2冷却用热交换器14b的冷冻能力调节为期望值并将第1～第3电加热器112～114的加热能力分别调节为期望值，从而液体的温度控制在期望的温度。
在以上所说明的本实施方式的液体调温装置1中，能够从第1液体流通路104a和第2液体流通路104b向不同的温度控制对象物供给液体。对在第2液体流通路104b中流通的液体进行的冷却是利用液体与在冷却单元cu的第2冷却用热交换器14b中流通的热介质之间的热交换来进行的，对在第2液体流通路104b中流通的液体进行的加热是利用电加热器112～114来进行的。此外，对在第1液体流通路104a中流通的液体进行的冷却是利用液体与在冷却单元cu的第1冷却用热交换器14a中流通的热介质之间的热交换来进行的，对在第1液体流通路104a中流通的液体进行的加热是利用液体与在加热单元hu的加热用热交换器21中流通的、通过冷却单元cu的压缩机11而被设为高温状态的热介质的一部分之间的热交换来进行的。此时的加热用热交换器21的加热能力能够利用加热量调节阀22来调节。在该结构中，加热用热交换器21无需与专用的电源供给电路连接，而是利用在冷却单元cu产生的热量来进行加热的，因此能够抑制加热用热交换器21的制造成本和能量成本。由此能够在抑制制造成本和能量成本的同时将被进行了温度控制的液体供给至多个温度控制对象物。
特别是，在本实施方式的液体调温装置1中，对在第1液体流通路104a中流通的液体进行的加热是通过利用冷却单元cu的热介质的一部分而进行的。此外，对在第2液体流通路104b中流通的液体进行的加热是利用电加热器112～114来进行的。由此，对于例如要求供给高精度地进行了温度控制的液体的温度控制对象物，可选择从第2液体流通路104b来供给液体等使用方式。因此，例如在被应用于并不一定需要将高精度地进行了温度控制的液体供给至全部的温度控制对象物的状况时，本实施方式的液体调温装置1能够特别有效地抑制制造成本和能量成本。
此外，第2液体流通路104b具有包含第2液体流通路104b与第2冷却用热交换器14b连接的连接部分的第2主流路104b1、和从第2主流路104b1的下游端分支的多个第2分支流路104b2～104b4，在多个第2分支流路104b2～104b4的各个分支流路中设有电加热器112～114。由此能够从多个第2分支流路104b2～104b4向多个温度控制对象物供给液体，从而能够扩大液体调温装置1的应用范围。
此外，第1液体流通路104a具有包含第1液体流通路104a与第1冷却用热交换器14a和加热用热交换器21连接的连接部分的第1主流路104a1、以及从第1主流路104a1的下游端分支的多个第1分支流路104a2～104a4。由此能够从多个第1分支流路104a2～104a4向多个温度控制对象物供给液体，从而能够扩大液体调温装置1的应用范围。
此外，控制装置200还经由固态继电器211～213控制电加热器112～114。该情况下，通过利用固态继电器211～213而使得电加热器112～114的控制稳定，从而能够高精度地对在第2液体流通路104b中流通的液体进行温度控制。另外，在本实施方式中，虽然控制装置200是利用固态继电器211～213来控制电加热器112～114的，但是，控制装置200也可以利用有触点的继电器电路来控制电加热器112～114。
此外，冷却单元cu中的第1膨胀阀13a设置于第1冷却用热交换器14a的上游侧，第2膨胀阀13b设置于第2冷却用热交换器14b的上游侧。该情况下，通过独立地控制分别与第1冷却用热交换器14a和第2冷却用热交换器14b对应的膨胀阀13a、13b，从而能够独立地调节第1冷却用热交换器14a和第2冷却用热交换器14b的冷冻能力。由此，通过根据与第1冷却用热交换器14a和第2冷却用热交换器14b对应的温度控制对象物所要求的液体温度而独立地调节第1冷却用热交换器14a和第2冷却用热交换器14b的冷冻能力，从而能够实施高效率的温度控制。
(第2实施方式)
接下来，参照图2对本发明的第2实施方式进行说明。对本实施方式的构成部分中与第1实施方式的构成部分相同的构成部分，标记相同的标号并省略说明。
如图2所示，在第2实施方式中，与配管15的、位于压缩机11与冷凝器12之间的部分连接的返回配管23具有：主流路23a，该主流路23a从位于压缩机11与冷凝器12之间的部分的上游侧延伸；和第1副流路23b1以及第2副流路23b2，该第1副流路23b1以及第2副流路23b2从主流路23a的下游端分支，并与配管15的位于压缩机11与冷凝器12之间的部分处的、主流路23a的连接位置的下游侧部分连接。加热用热交换器21包含第1加热用热交换器21a和第2加热用热交换器21b，加热量调节阀22包含第1加热量调节阀22a和第2加热量调节阀22b。并且，第1副流路23b1与第1加热用热交换器21a连接，第2副流路23b2与第2加热用热交换器21b连接。第1加热量调节阀22a与第1加热用热交换器21a对应地设置，第2加热量调节阀22b与第2加热用热交换器21b对应地设置。
此外，配管15还具有在冷凝器12的下游侧分支为三股、然后彼此汇合的第1分支部15a、第2分支部15b和第3分支部15c。其中的第1分支部15a与第1冷却用热交换器14a连接，第2分支部15b与第2冷却用热交换器14b连接，第3分支部15c与第3冷却用热交换器14c连接。此外，膨胀阀13包含第1膨胀阀13a、第2膨胀阀13b和第3膨胀阀13c。其中，第1膨胀阀13a在第1冷却用热交换器14a的上游侧设置于第1分支部15a上，第2膨胀阀13b在第2冷却用热交换器14b的上游侧设置于第2分支部15b上，第3膨胀阀13c在第3冷却用热交换器14c的上游侧设置于第3分支部15c上。
另一方面，在本实施方式中，多个液体流通路104包含第1液体流通路104a、第2液体流通路104b和第3液体流通路104c。其中，第1液体流通路104a与第1冷却用热交换器14a连接，使得第1液体流通路104a中流通的液体能够与在第1冷却用热交换器14a中流通的热介质进行热交换，并且该第1液体流通路104a与第1加热用热交换器21a连接，使得第1液体流通路104a中流通的液体能够与在第1加热用热交换器21a中流通的热介质进行热交换。
第2液体流通路104b与第2冷却用热交换器14b连接，使得第2液体流通路104b中流通的液体能够与在第2冷却用热交换器14b中流通的热介质进行热交换。此外，在第2液体流通路104b中设有用于对所流通的液体进行加热的电加热器111(第1～第3电加热器112～114)。此外，第3液体流通路104c与第3冷却用热交换器14c连接，使得第3液体流通路104c中流通的液体能够与在第3冷却用热交换器14c中流通的热介质进行热交换，并且该第3液体流通路104c与第2加热用热交换器21b连接，使得第3液体流通路104c中流通的液体能够与在第2加热用热交换器21b中流通的热介质进行热交换。
在以上所说明的第2实施方式中，能够利用多个加热用热交换器21a、21b和加热量调节阀22a、22b对液体进行温度控制，从而能够增加液体的温度控制模式。
以上，对本发明的各实施方式进行了说明，但是，本发明不限于上述实施方式。例如，冷却用热交换器14的数量以及加热用热交换器21的数量不限于上述的各实施方式的形态。
此外，以上各实施方式的液体调温装置1可以单独使用，也可以使之与空调装置一体化来使用。图3是使第1或第2实施方式的液体调温装置1与空调装置300一体化而成的温度控制系统的侧视图。图3所示的空调装置300具有冷却回路301、加热器302、加湿器303、收纳有冷却回路301的蒸发器301a、加热器302和加湿器303的空气流通路304以及送风机305，其中，压缩机、冷凝器、膨胀阀和蒸发器301a按照该顺序由配管连接而形成所述冷却回路301，以使热介质循环。
空气流通路304具有：第1流路304a，其沿上下方向延伸；和第2流路304b，其与第1流路304a的上部连通并从该上部沿水平方向延伸。在第1流路304a中设有空气的导入口，并且在第1流路304a的下侧配置有冷却回路301的蒸发器301a，在第1流路304a的上侧配置有加热器302。此外，在第2流路304b内配置有加湿器303。此外，送风机305被配置成，在水平方向上与第2流路304b的下游侧端部相邻。
第1流路304a沿上下方向延伸，第2流路304b从第1流路304a的上部沿水平方向延伸，由此在第1流路304a的侧方且第2流路304b的下方形成空间。在该空间中配置有冷却回路301的压缩机、冷凝器等。并且，液体调温装置1在送风机305的下方以与冷却回路301的压缩机、冷凝器等相邻的状态被配置。在这样的温度控制系统中，能够高效率地配置空调装置300和液体调温装置1，因此能够抑制整体尺寸的大型化。另外，在该温度控制系统中，加热器302与液体调温装置1的加热单元hu同样，可以具有利用从压缩机朝向冷凝器流出的热介质的一部分的结构，还可以是电加热器。
标号说明
1：液体调温装置；
10：热介质循环装置；
11：压缩机；
12：冷凝器；
13：膨胀阀；
13a：第1膨胀阀；
13b：第2膨胀阀；
14：冷却用热交换器；
14a：第1冷却用热交换器；
14b：第2冷却用热交换器；
14c：第3冷却用热交换器；
15：配管；
15a：第1分支部；
15b：第2分支部；
15c：第3分支部；
21：加热用热交换器；
21a：第1加热用热交换器；
21b：第2加热用热交换器；
22：加热量调节阀；
22a：第1加热量调节阀；
22b：第2加热量调节阀；
23：返回配管；
23a：主流路；
23b1：第1副流路；
23b2：第2副流路；
cu：冷却单元；
hu：加热单元；
100：液体流通装置；
104：液体流通路；
104a：第1液体流通路；
104a1：第1主流路；
104a2～104a4：第1分支流路；
104b：第2液体流通路；
104b1：第2主流路；
104b2～104b4：第2分支流路；
104c：第3液体流通路；
111：电加热器；
112：第1电加热器；
113：第2电加热器；
114：第3电加热器；
200：控制装置；
211：第1固态继电器；
212：第2固态继电器；
213：第3固态继电器；
300：空调装置；
400：温度控制系统。