本发明涉及玻璃清洗方法，具体地，涉及ITO玻璃的清洗方法。
背景技术：
：在溅射镀膜工艺中，对基片的洁净度要求很高，洁净与否直接影响薄膜的生长和附着情况。基片表面不洁净生长的薄膜会不均匀，有明显的缺陷，而且薄膜的附着力减小，会因为其污染的表面而容易脱落，直接影响基片薄膜的质量。因此在镀膜前必须对基片进行必要的严格清洗，以达到工艺的需求。因此，提供一种清洗效果好、保证基片在镀膜前表面洁净度高的ITO玻璃的清洗方法是本发明亟需解决的问题。技术实现要素：本发明的目的是提供一种ITO玻璃的清洗方法，该方法清洗效果好、保证基片在镀膜前有较高的表面洁净度。为了实现上述目的，本发明提供了一种ITO玻璃的清洗方法，其中，所述清洗方法包括：(1)将ITO玻璃片放入装有清洗液的容器中，将容器放入超声波清洗器中进行超声清洗；(2)之后将所述ITO玻璃片从所述容器中取出，用蒸馏水冲洗干净；(3)将所述ITO玻璃片放入乙醇溶液中浸泡；(4)取出后用氮气吹干，备用，其中，所述清洗液的组分为：丙三醇、苯甲酸钠、乙醇、多聚磷酸钠和水。通过上述技术方案，本发明提供了一种ITO玻璃的清洗方法，其中，所述清洗方法包括：将ITO玻璃片放入装有清洗液的容器中，将容器放入超声波清洗器中进行超声清洗；之后将所述ITO玻璃片从所述容器中取出，用蒸馏水冲洗干净；将所述ITO玻璃片放入乙醇溶液中浸泡，取出后用氮气吹干，备用，其中，所述清洗液的组分为：丙三醇、苯甲酸钠、乙醇、多聚磷酸钠和水，本发明提供的清洗方法，步骤简单，清洗效果好，且清洗液的组分无污染，原料易得。本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。具体实施方式以下对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。本发明提供了一种ITO玻璃的清洗方法，其中，所述清洗方法包括：将ITO玻璃片放入装有清洗液的容器中，将容器放入超声波清洗器中进行超声清洗；之后将所述ITO玻璃片从所述容器中取出，用蒸馏水冲洗干净；将所述ITO玻璃片放入乙醇溶液中浸泡；取出后用氮气吹干，备用，其中，所述清洗液的组分为：丙三醇、苯甲酸钠、乙醇、多聚磷酸钠和水。本发明提供的清洗方法，步骤简单，清洗效果好，且清洗液的组分无污染，原料易得。在本发明的一种优选的实施方式中，为了使得清洗效果更优，所述清洗液中，丙三醇的体积百分比为10-30％，所述苯甲酸钠的体积百分比为5-15％，所述乙醇的体积百分比为5-15％，所述多聚磷酸钠的体积百分比为5-10％，余量水。为了使超声清洗的效果更优，同时防止玻璃基片在超声清洗时发生破碎的现象，所述超声清洗的频率为20-30KHz，优选的，超声清洗的时间为20-30min。为了提高清洗效果，所述乙醇溶液的体积浓度为95-98％。为了冲洗干净玻璃表面残留的清洗液，所述蒸馏水的水温为25-35℃。以下将通过实施例对本发明进行详细描述。实施例1将ITO玻璃片放入装有清洗液的容器中，将容器放入超声波清洗器中进行超声清洗(超声频率为20KHz，超声时间为20min)；之后将所述ITO玻璃片从所述容器中取出，用蒸馏水(水温为25℃)冲洗干净；将所述ITO玻璃片放入体积浓度为95％的乙醇溶液中浸泡；取出后用氮气吹干，备用，其中，所述清洗液的组分为：丙三醇的体积百分比为10％、苯甲酸钠的体积百分比为5％、乙醇体积百分比为5％、多聚磷酸钠的体积百分比为5％和余量水。实施例2将ITO玻璃片放入装有清洗液的容器中，将容器放入超声波清洗器中进行超声清洗(超声频率为30KHz，超声时间为30min)；之后将所述ITO玻璃片从所述容器中取出，用蒸馏水(水温为35℃)冲洗干净；将所述ITO玻璃片放入体积浓度为98％的乙醇溶液中浸泡；取出后用氮气吹干，备用，其中，所述清洗液的组分为：丙三醇的体积百分比为30％、苯甲酸钠的体积百分比为15％、乙醇体积百分比为15％、多聚磷酸钠的体积百分比为10％和余量水。实施例3将ITO玻璃片放入装有清洗液的容器中，将容器放入超声波清洗器中进行超声清洗(超声频率为25KHz，超声时间为25min)；之后将所述ITO玻璃片从所述容器中取出，用蒸馏水(水温为30℃)冲洗干净；将所述ITO玻璃片放入体积浓度为97％的乙醇溶液中浸泡；取出后用氮气吹干，备用，其中，所述清洗液的组分为：丙三醇的体积百分比为20％、苯甲酸钠的体积百分比为10％、乙醇体积百分比为10％、多聚磷酸钠的体积百分比为8％和余量水。对比例1将ITO玻璃片放入装有清洗液的容器中，将容器放入超声波清洗器中进行超声清洗(超声频率为10KHz，超声时间为10min)；之后将所述ITO玻璃片从所述容器中取出，用蒸馏水(水温为15℃)冲洗干净；将所述ITO玻璃片放入体积浓度为90％的乙醇溶液中浸泡；取出后用氮气吹干，备用，其中，所述清洗液的组分为：丙三醇的体积百分比为5％、苯甲酸钠的体积百分比为1％、乙醇体积百分比为1％、多聚磷酸钠的体积百分比为1％和余量水。对比例2将ITO玻璃片放入装有清洗液的容器中，将容器放入超声波清洗器中进行超声清洗(超声频率为35KHz，超声时间为35min)；之后将所述ITO玻璃片从所述容器中取出，用蒸馏水(水温为40℃)冲洗干净；将所述ITO玻璃片放入体积浓度为99％的乙醇溶液中浸泡；取出后用氮气吹干，备用，其中，所述清洗液的组分为：丙三醇的体积百分比为40％、苯甲酸钠的体积百分比为20％、乙醇体积百分比为20％、多聚磷酸钠的体积百分比为15％和余量水。表1实施例编号观察玻璃表面洁净程度实施例1洁净度高实施例2洁净度高实施例3洁净度高对比例1表面残留有清洗液，洁净度低对比例2表面残留有清洗液，洁净度低通过上述表格数据可以看出，在本发明范围内进行的清洗，其实施例1-3中的玻璃基片表面的洁净程度高，而在本发明范围外进行的清洗，其对比例1和对比例2中的玻璃基片的表面洁净程度低。以上详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。当前第1页1 2 3