一种硅片清洗用花篮的制作方法

文档序号:14398705阅读:来源:国知局
技术特征:

1.一种硅片清洗用花篮,包括花篮本体,所述花篮本体的两端开有用于搬动花篮的开口,所述两开口的截面面积不同,其特征在于:所述截面面积较大的开口内端的花篮本体上设置有用于防止操作人员触碰硅片的挡板,所述挡板上端延伸至与花篮上端面齐平,所述挡板下端延伸至对应的开口下侧。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮,其特征在于:所述挡板的横截面设置为U型,所述挡板两翼的端面与花篮本体内侧面之间固定。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮,其特征在于:所述花篮本体内侧壁设置有用于放置硅片的隔板。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮,其特征在于:所述花篮本体设置为长方体型。

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