管路清洁装置的制作方法

本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种管路清洁装置。

背景技术：

半导体芯片制造过程中，尾气排放是一个非常重要的工作，不同的制程腔室连接至不同的排气管路，并通过泵体将制程反应过程中及反应后产生的残留气体及/或反应副产物排出以进行无害化处理。这其中，化学气相沉积工艺和扩散工艺的尾气排放工作量尤其突出，因为化学气相沉积工艺和扩散工艺产生的残留气体和反应副产物非常多，这些残留气体和反应副产物在经过排气管路的过程中容易粘附在排气管路的内壁，造成管路污染，使得干泵排放功率增大，能源消耗增多，而且附着于管路内壁的污染物很可能脱落并掉入干泵内，导致干泵堵塞，更严重的情况还会导致干泵报废，引发废气倒灌回制程腔室中，造成严重的生产事故和巨大的经济损失。因此，对排气管路进行定期清洁以去除附着于管路内壁的残留物非常重要，但是已有的各种管路清洁装置都存在各种问题，比如公开号为CN108253228A的专利申请中公开的一种用于解决管道清洁的机器人利用动力组件搭载6块电机运动组件并放置于管道中，通过特殊材料喷射旋转清洁液以达到清洁目的，但是这种清洁机器人存在着无刷洗组件、清洁完后管壁残留污染物、粉尘散落无法集尘以及不能用于弯管等问题；而公开号为CN108212972A的专利申请中公开的一种管道内清洁装置以及管道清洁机器人利用驱动机构调试管道尺寸，通过搭载3块可伸缩连接杆连接2块清洁刷头组件以提供旋转动力达到清洁目的，但该装置存在着后端驱动组件无法达到平衡，没有支撑点、清洁完后管壁残留污染物、粉尘散落无法集尘以及同样不能用于弯管等问题。

技术实现要素：

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种管路清洁装置，用于解决现有技术中的管路清洁装置无法集尘、清洁作业完成后管壁残留污染物、以及不能用于弯管清洁等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种管路清洁装置，包括第一动片组及驱动所述第一动片组转动的第一马达、第二动片组及驱动所述第二动片组转动的第二马达、联轴器及集尘袋，其中，所述第一动片组与所述第一马达相连接；所述第二动片组与所述第二马达相连接；所述联轴器连接于所述第一动片组与所述第二动片组之间；所述集尘袋位于所述第二动片组的下方；所述第一动片组和所述第二动片组均包含若干个动片及与若干个所述动片一一对应连接的清洁刷头，所述清洁刷头在管路清洁作业过程中与管路的内壁相接触。

可选地，所述集尘袋的表面设置有清洁头，所述清洁头沿所述集尘袋的周向均匀分布且暴露出所述集尘袋的开口。

可选地，所述集尘袋还包括筛网，位于所述集尘袋内，所述筛网的一侧与所述清洁头相连接。

可选地，所述集尘袋的横截面尺寸自顶部向底部逐渐减小，所述筛网的纵向最大高度小于所述集尘袋的纵向最大高度。

可选地，所述第二马达位于所述第二动片组的正下方，且所述第二马达通过一支撑轴的支撑立于所述集尘袋的上方。

可选地，所述第一马达、所述第二马达和所述联轴器位于一壳体内，所述第一动片组和所述第二动片组位于所述壳体的外围，所述集尘袋位于所述壳体的下方。

可选地，所述第一动片组和所述第二动片组包含的动片数量相同，所述第一动片组的动片和所述第二动片组的动片沿所述壳体均匀间隔分布。

可选地，所述联轴器包括万向联轴器，所述万向联轴器包括两个万向轴头和活动杆，两个所述万向轴头分别与所述第一动片组及所述第二动片组相连接，所述活动杆的两端分别与两个所述万向轴头相连接。

可选地，所述联轴器还包括多个活动轮，所述活动轮通过连接杆与所述活动杆固定连接，所述活动轮在管路清洁作业过程中与管路的内壁相接触，其中，至少有一个所述活动轮连接至一驱动马达。

可选地，所述活动轮的数量为3个，3个所述活动轮以所述活动杆为中心均匀间隔分布。

如上所述，本实用新型的管路清洁装置，具有以下有益效果：本实用新型的管路清洁装置，将2个动片组配合使用以对管路内壁进行全面清洁并引导粉尘按照设定路径落在集尘袋中，在集尘袋中设置的筛网可以避免掉落至集尘袋中的粉尘再次扬起；而联轴器的使用则使本实用新型的管路清洁装置可以适用于直管与弯管作业环境。此外，本实用新型的管路清洁装置可通过定期更换清洁刷头以提高装置使用寿命，降低使用成本。采用本实用新型的管路清洁装置定期对管路进行清洁，可避免管路内壁的污染物残留，提高管路的清洁度，从而有效避免粉尘倒灌引发的生产事故，有效提高干泵的使用寿命，降低生产成本。

附图说明

图1显示为本实用新型的管路清洁装置的截面结构示意图。

图2显示为灰尘颗粒在本实用新型的管路清洁装置内的行进路径示意图。

图3显示为本实用新型的管路清洁装置的管路清洁作业示意图。

图4显示为本实用新型的管路清洁装置的集尘袋的截面结构示意图。

图5显示为图4沿A-A’线的截面结构示意图。

图6显示为本实用新型的管路清洁装置的联轴器的局部结构示意图。

图7显示为图6沿A-A’线的截面结构示意图

元件标号说明

11a 第一动片组

11b 第二动片组

111 动片

112 清洁刷头

12a 第一马达

12b 第二马达

131 万向轴头

132 活动杆

133 活动轮

134 连接杆

135 驱动马达

14 集尘袋

141 筛网

15 清洁头

16 支撑轴

17 壳体

21 灰尘颗粒

31 管路

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1至图7。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质技术内容的变更下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。且出于使图面简洁的目的，本说明书所述图示中对同样的结构一般不做重复标记。

如图1所示，本实用新型提供一种管路清洁装置，所述管路清洁装置包括第一动片组11a及驱动所述第一动片组11a转动的第一马达12a、第二动片组11b及驱动所述第二动片组11b转动的第二马达12b、联轴器及集尘袋14，其中，所述第一动片组11a与所述第一马达12a相连接；所述第二动片组11b与所述第二马达12b相连接；所述联轴器连接于所述第一动片组11a与所述第二动片组11b之间；所述集尘袋14位于所述第二动片组11b的下方；所述第一动片组11a和所述第二动片组11b均包含若干个动片111及与若干个所述动片111一一对应连接的清洁刷头112，所述清洁刷头112在管路清洁作业过程中与管路31的内壁相接触。本实用新型的管路清洁装置通过设置两组动片111组，在对管路31的清洁作业过程中，所述第一动片组11a的转动方向与所述第二动片组11b的转动方向相反，以增大所述管路清洁装置和管路31内壁的摩擦力，提高清洁效果，且有效引导灰尘颗粒21沿着设定的路径下落直至掉落至所述集尘袋14中，避免粉尘回灌至制程腔室中，且两个动片111组通过联轴器相连接，实现灵活联动，使得本实用新型的管路清洁装置不仅可以用于直管的清洁，而且在弯管的清洁中同样适用。采用本实用新型的管路清洁装置对管路31进行清洁，可以极大提高清洁效果，避免污染物残留于管路31内壁，从而可以有效改善干泵的工作环境，提高干泵使用寿命，降低生产成本。图2示意了灰尘颗粒21通过本实用新型的管路清洁装置的所述第一动片组11a和所述第二动片组11b的过程中的行进路径(虚线箭头示意灰尘颗粒21的行进路径)，可以看到，从管路31上刷落的灰尘颗粒21在所述第一动片组11a和所述第二动片组11b的引导下将逐渐滑落并最终掉落至所述集尘袋14中，且粉尘基本不可能重新扬起，由此极大改善清洁效果。所述第一动片组11a和所述第二动片组11b的结构优选完全相同，所述第一马达12a和所述第二马达12b的型号优选一致。

作为示例，所述清洁刷头112和所述动片111活动连接，以根据需要更换所述清洁刷头112，从而提高其他部件的使用时间，降低使用成本。所述清洁刷头112和所述动片111的连接关系可通过图3进一步明确，如图3所示，本实用新型的管路清洁装置在管路清洁作业过程中，所述清洁刷头112与所述管路31的内壁接触，在不断的旋转过程中与所述管路31内壁发生摩擦，从而将附着于所述管路31内壁上的污染物去除。所述清洁刷头112和所述动片111的具体长度可以根据需要设置，但需要确保所述清洁刷头112在清洁作业过程中可以与需要清洁的管路31内壁相接触。所述清洁刷头112可以是毛材质、棕材质、塑料丝材质或金属丝材质的清洁刷头，本实施例中优选金属材质的清洁刷头，以增大和管路内壁的摩擦力，提高清洁效果。

如图4及图5所示，作为示例，所述集尘袋14的表面设置有清洁头15，所述清洁头15沿所述集尘袋14的周向均匀分布且暴露出所述集尘袋14的开口。作为示例，所述清洁头15在清洁作业过程中与所述第二动片组11b相接触，以将所述第二动片组11b的清洁刷头112上的细小粉尘刷落掉至所述集尘袋14中，避免粉尘残留以达到彻底清洁的目的，所述清洁头15倾斜朝上以确保所述第二动片组11b的粉尘都能通过所述清洁头15掉至所述集尘袋14中，即所述清洁头15如同一个漏斗环绕在所述集尘袋14的开口处，所述清洁头15同样优选金属材质，以增大摩擦力，提高清洁效果。

作为示例，所述集尘袋14还包括筛网141，位于所述集尘袋14内，所述筛网141的一侧与所述清洁头15相连接，所述筛网141的筛孔以不大于1mm为宜。通过设置所述筛网141，可以避免已经掉落在所述集成袋中的粉尘再次扬起溢出所述集尘袋14。作为示例，所述集尘袋14的横截面尺寸自顶部向底部逐渐减小，所述筛网141的纵向最大高度小于所述集尘袋14的纵向最大高度，即所述筛网141底部不与所述集尘袋14的底部相接触，以确保所述筛网141抑制粉尘扬起的效果。需要说明的是，所述集尘袋14和所述筛网141的材质优选柔性材质，如致密的聚酯纤维材质等，因而此处在描述所述集尘袋14的横截面尺寸和高度，以及所述筛网141的高度时，均是指所述集尘袋14和所述筛网141正常展开时的尺寸。所述集尘袋14和所述筛网141选择柔性材质，使得所述集尘袋14和所述筛网141可根据工作环境自动进行尺寸的调整，使得本申请的管路清洁装置可以适用于更多作业环境。

作为示例，所述第二马达12b位于所述第二动片组11b的正下方，且所述第二马达12b通过一支撑轴16的支撑立于所述集尘袋14的上方，即确保所述第二动片组11b位于所述集尘袋14的正上方，以使经过所述第二动片组11b的粉尘都能掉入所述集尘袋14中。

作为示例，所述第一马达12a、所述第二马达12b和所述联轴器位于一壳体17内，所述第一动片组11a和所述第二动片组11b位于所述壳体17的外围，所述集尘袋14位于所述壳体17的下方，将所述第一马达12a、所述第二马达12b和所述联轴器设置于所述壳体17内可以对相关部件进行保护，减少粉尘的污染，且便于整个管路清洁装置的取放以及清洁作业过程中的固定。当然，在其他示例中，也可以根据需要将所述第一马达12a和所述第二马达12b设置于远离所述壳体17的地方，本实施例中不做严格限制。作为示例，所述壳体17优选柔性材质的壳体或者所述壳体17可选择类似波纹管结构，以使所述壳体17的形状可根据作业环境调整，增大所述管路清洁装置的使用范围。作为示例，所述第一动片组11a和所述第二动片组11b包含的动片111数量相同，所述第一动片组11a的动片111和所述第二动片组11b的动片111沿所述壳体17均匀间隔分布，具体可继续参考图3所示。当然，在其他示例中，也可以不设置所述壳体17而直接将所述第一动片组11a和所述第二动片组11b设置成环状，本实施例中不做严格限制。

作为示例，所述联轴器包括万向联轴器，比如十字轴式、球笼式、球叉式等类型的万向联轴器，所述万向联轴器包括两个万向轴头131和活动杆132，两个所述万向轴头131分别与所述第一动片组11a及所述第二动片组11b相连接，所述活动杆132的两端分别与两个所述万向轴头131相连接。选择万向联轴器，可以使本实用新型的管路清洁装置灵活作用于直管或弯管的清洁。

作为示例，所述联轴器还包括多个活动轮133，所述活动轮133通过连接杆134与所述活动杆132固定连接，所述活动轮133在管路清洁作业过程中与管路31的内壁相接触，其中，至少有一个所述活动轮133连接至一驱动马达135，在所述驱动马达135的带动下，所述活动轮133沿管路31的内壁移动以带动整个管路清洁装置对管路31进行移动清洁作业，同时，多个所述活动轮133还在管路清洁作业过程中确保整个所述管路清洁装置处于平衡状态。在进一步的示例中，所述活动轮133的数量为3个，3个所述活动轮133以所述活动杆132为中心均匀间隔分布，具体如图6及图7所示。当然，在其他示例中，所述活动轮133也可以不止3个，比如为4个，5个或者更多个，重要的是多个所述活动轮133均匀分布以使整个装置能处于很好的平衡状态。从成本和效果方面考量，3个是最优选择。

本实用新型的管路清洁装置使用非常方便，只需在使用前依次安装好所述清洁刷头、筛网、集尘袋及清洁头等各个部件，之后将安装好的所述管路清洁装置放入已处于停止排气作业的待清洁的管路中，开启所述第一马达、第二马达及所述驱动马达的电源开始清洁作业，然后在管路尾端等待清洁作业完成即可，在清洁作业完成后关闭电源，卸下所述筛网、集尘袋和所述清洁头等部件一一进行清洁。在清洁不同尺寸的管路时，可更换不同尺寸的动片及/或清洁刷头，以确保清洁刷头和管路充分接触。本实用新型的管路清洁装置可用于任何需进行清洁的管路中，尤其适用于清洁与化学气相沉积设备和扩散设备相连接的这类管路内壁粘附物较多的排气管路，利用本实用新型的管路清洁装置，可以有效避免污染物粘附于管路内壁，提高清洁效果。

综上所述，本实用新型提供一种管路清洁装置，包括第一动片组及驱动所述第一动片组转动的第一马达、第二动片组及驱动所述第二动片组转动的第二马达、联轴器及集尘袋，其中，所述第一动片组与所述第一马达相连接；所述第二动片组与所述第二马达相连接；所述联轴器连接于所述第一动片组与所述第二动片组之间；所述集尘袋位于所述第二动片组的下方；所述第一动片组和所述第二动片组均包含若干个动片及与若干个所述动片一一对应连接的清洁刷头，所述清洁刷头在管路清洁作业过程中与管路的内壁相接触。本实用新型的管路清洁装置，将2个动片组配合使用以对管路内壁进行全面清洁并引导粉尘按照设定路径落在集尘袋中，在集尘袋中设置的筛网可以避免掉落至集尘袋中的粉尘再次扬起；而联轴器的使用则使本实用新型的管路清洁装置可以适用于直管与弯管作业环境。此外，本实用新型的管路清洁装置可通过定期更换清洁刷头以提高装置使用寿命，降低使用成本。采用本实用新型的管路清洁装置定期对管路进行清洁，可避免管路内壁的污染物残留，提高管路的清洁度，从而有效避免粉尘倒灌引发的生产事故，有效提高干泵的使用寿命，降低生产成本。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。