一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置的制作方法

本实用新型涉及了晶圆加工制造技术领域，具体是一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置。

背景技术：

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，在半导体工艺中，晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素之一，在常用的半导体工艺中，例如：沉积、等离子体刻蚀、旋涂光刻胶、光刻、电镀等等，都有可能会在晶圆表面引入污染和/或颗粒，导致晶圆表面的清洁度下降，使得制造的半导体器件良率低，因此需要对晶圆进行清洗，现有的晶圆清洗机多采用手动翻盖方式，操作不方便，本实用新型设计一种自动翻盖来取代传统手动翻盖。

技术实现要素：

为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型实施例提供了一种自动打开锁紧的晶圆清洗机用翻盖装置。

本申请实施例公开了：一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置，包括盖体、运动机构、锁止机构和清洗机箱体，所述盖体为圆弧状设置在清洗机箱体的顶端，所述盖体的内壁下方设置有一对锁扣，所述盖体的一端设置有固定座，所述固定座下方的清洗机箱体上设置有一对平行的l型支撑架，所述运动机构包括第一气缸、第一连杆、第二连杆和底座，所述第一连杆的一端固定安装在所述固定座上，所述第一连杆上设置有两个平行的通孔，分别为第一销孔和第二销孔，所述第二销孔内设置有销钉将第一连杆可转动式连接在所述l型支撑架上，所述第二连杆两端部均设置有凹槽且两翼均设置有通孔，分别为第三销孔和第四销孔，所述第一销孔和第三销孔通过销孔活动连接，所述第二连杆的下方设置有所述第一气缸，所述第一气缸的活塞杆端部设置有第五销孔，所述第四销孔和第五销孔通过销钉活动连接，所述底座水平固定连接在清洗机箱体侧壁下方，所述第一气缸的缸体固定安装在所述底座的上表面。

优选的，所述锁止机构包括两个相向设置的第二气缸，所述第二气缸垂直固定安装在所述清洗机箱体两侧面，所述清洗机箱体与两个第二气缸的活塞杆对应处设置有通孔且通孔的直径大于第二气缸的活塞杆的直径，第二气缸的活塞杆能从通孔内穿过。

优选的，所述锁扣上设置有直径大于所述第二气缸活塞杆直径的锁孔，当第二气缸的活塞杆穿过清洗机箱体上的通孔后插入锁孔内。

优选的，所述盖体侧壁的端部上沿侧壁设置有一圈凹槽，所述清洗机箱体侧壁端部设置有一圈凸台，凸台能扣入凹槽内。

优选的，所述凹槽内还设置有密封垫。

本实用新型的有益效果如下：本实用新型结构简单，通过设置第一气缸带动第一连杆和第二连杆运动，拉动盖体翻转，实现自动翻盖动作，通过设置第二气缸和锁扣，气缸的伸缩运动实现盖体与清洗机箱体的自动锁定和分离，使用方便，减小了工作人员的劳动强度，提高了生产效率。

为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的正视图；

图2是本实用新型的左视图；

图3是本实用新型盖体的仰视图；

图4是本实用新型盖体的正视图。

以上附图的附图标记：1-盖体，2-运动机构，3-锁止机构，4-箱体，11-固定座，12-锁扣，13-凹槽，21-第一气缸，22-第一连杆，23-第二连杆，24-底座，121-锁孔，222-第二销孔，231-第三销孔，232-第二销孔，31-第二气缸，41-l型支撑架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置，包括盖体1、运动机构2、锁止机构3和清洗机箱体4，所述盖体1为圆弧状设置在清洗机箱体4的顶端，所述盖体1的内壁下方设置有一对锁扣12，所述盖体1的一端设置有固定座11，所述固定座11下方的清洗机箱体4上设置有一对平行的l型支撑架41，所述运动机构2包括第一气缸21、第一连杆22、第二连杆23和底座24，所述第一连杆22的一端固定安装在所述固定座11上，所述第一连杆22上设置有两个平行的通孔，分别为第一销孔(图中未标出)和第二销孔222，所述第二销孔222内设置有销钉将第一连杆22可转动式连接在所述l型支撑架41上，所述第二连杆23两端部均设置有凹槽且两翼均设置有通孔，分别为第三销孔231和第四销孔232，所述第一销孔和第三销孔231通过销孔活动连接，所述第二连杆23的下方设置有所述第一气缸21，所述第一气缸21的活塞杆端部设置有第五销孔(图中未画出标号)，所述第四销孔232和第五销孔通过销钉活动连接，所述底座24水平固定连接在清洗机箱体4侧壁下方，所述第一气缸21的缸体固定安装在所述底座24的上表面。

进一步的，所述锁止机构3包括两个相向设置的第二气缸31，所述第二气缸31垂直固定安装在所述清洗机箱体4两侧面，所述清洗机箱体4与两个第二气缸31的活塞杆对应处设置有通孔且通孔的直径大于第二气缸31的活塞杆的直径，第二气缸31的活塞杆能从通孔内穿过。

进一步的，所述锁扣12上设置有直径大于所述第二气缸31活塞杆直径的锁孔121，当第二气缸31的活塞杆穿过清洗机箱体4上的通孔后插入锁孔121内，使得盖体1与清洗机箱体4锁定。

进一步的，所述盖体1侧壁的端部上沿侧壁设置有一圈凹槽13，所述清洗机箱体4侧壁端部设置有一圈凸台(图中未画出标号)，凸台能扣入凹槽13内，使得盖体1能紧密的盖合在清洗机箱体4上。

进一步的，所述凹槽13内还设置有密封垫，防止清洗液溢出。

工作原理：当需要打开盖体1时，启动第二气缸31，第二气缸31的活塞杆收缩从锁孔121内抽离，盖体1和清洗机箱体4解锁，启动第一气缸21，第一气缸21的活塞杆收缩，拉动第二连杆23下移，带动第一连杆22绕第二销孔222内的销钉转动，同时第一连杆22带动盖体1绕第二销孔222内的销钉转动，盖体1打开，当需要关闭盖体1时，第一气缸21伸长，运动机构2的运动方向与盖体1打开时反向，盖体1和清洗机箱体4扣合后，第二气缸31的活塞杆伸长插入锁孔121内将盖体1和清洗机箱体4锁死。

本实用新型中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。