一种具有清洗结构的半导体蚀刻机的制作方法

本实用新型涉及蚀刻机技术领域，具体为一种具有清洗结构的半导体蚀刻机。

背景技术：

半导体是广泛用于电子电路、光伏发电和照明灯领域的一种材料，半导体的加工机械有光刻机和蚀刻机，蚀刻机是通过化学溶剂将半导体上不需要的材料移除，传统的半导体蚀刻机难以清理装置上的化学药剂，导致装置上的药剂将加工的半导体污染，造成半导体材料损坏，造成损失。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种具有清洗结构的半导体蚀刻机，以解决上述背景技术中提出的传统的半导体蚀刻机难以清理装置上的化学药剂，导致装置上的药剂将加工的半导体污染，造成半导体材料损坏，造成损失的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有清洗结构的半导体蚀刻机，包括机体和电机，所述机体前端的顶部开设有机仓，且机仓内壁的左侧开设有左槽，所述机仓的右侧开设有右槽，且右槽的内部插设有转杆，所述转杆的左侧贯穿右槽延伸至左槽内部，所述转杆的上下两端皆均匀开设有固槽，且固槽的内部皆插设有固块，两组所述固块相互远离的一端皆固定连接有转轮，且转轮的右侧皆固定连接有堵块，所述机仓内部右侧的上下两端皆开设有堵槽，且堵槽与堵块对应分布，两组所述转轮末端的相互靠近一端通过合页相连，一组所述转轮前端的底部开设有第一插槽，所述第一插槽内壁的左右两侧皆开设有第二插槽，一组所述转轮前端的底部固定连接有第一插块，且第一插块的顶端位于第一插槽的内部，所述第一插块左右两侧的顶端皆开设有第一拉伸槽，且第一拉伸槽的内部皆设置有第二插块，两组所述第二插块相互远离的一端皆位于第二插槽内部，所述机体前端的右侧开设有机槽，且机槽的内部安装有电机，所述机槽与右槽相连通，且电机的顶端位于右槽内部，所述机体左侧的前端固定连接有托块，且托块的顶部开设有托槽，所述托槽的顶端插设有喷头，所述机仓的底端开设有卡仓，且卡仓与机仓相连通，所述卡仓内部的左右两侧皆开设有卡槽，所述卡仓的内部设置有清洁滚轮，且清洁滚轮的左右两侧皆开设有第二拉伸槽，所述第二拉伸槽的内部皆设置有第三插块，两组所述第三插块相互远离的一端皆位于卡槽内部，所述卡仓内壁的底部开设有污槽，且污槽与卡仓相连通，所述污槽内壁的左侧开设有喷口，且喷口内壁的上下两端皆均匀胶合有橡胶垫，所述污槽内壁的底端开设有出污口，所述污槽内壁的右侧呈斜面状。

优选的，所述左槽内壁的上下两端嵌设有滚珠，所述转杆上下两端的左侧皆开设有与滚珠相配合的半圆槽，所述滚珠皆位于半圆槽内部，所述转杆的左侧开设有凹槽。

优选的，所述堵块的表面皆均匀胶合有橡胶垫，所述橡胶垫的表面皆与堵槽的内壁相抵。

优选的，两组所述第二插块相互远离的一端皆与弹簧的一端固定连接，所述弹簧的另一端皆与第一拉伸槽的内壁固定连接。

优选的，所述电机输出端的顶端与转杆相互靠近的一侧通过锥形齿轮组成传动连接。

优选的，两组所述第三插块相互靠近的一端皆与弹簧的一端固定连接，所述弹簧的另一端皆与第二拉伸槽的内壁固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提高了该装置的实用性，对转轮表面进行清理，避免因转轮表面的化学药剂将半导体材料污染，减少用户因药剂导致半导体材料损坏的损失,提高了装置的实用性，避免因磨损导致更换整组转轮，节约了用户的工作成本，且操作方便；

1、设置有右槽、转杆和固槽，用户在工作时如需对转轮的表面进行清理时，可将清洁滚轮放入卡仓内部，使得第三插块皆插入卡槽内部，从而对清洁滚轮进行固定，而后可将堵块插入堵槽，使得转轮的右侧与右槽相抵，通过堵块表面胶合的橡胶垫使得右槽内部密封，即可将喷头的底部与外接水管相连通，即可使用喷头对机仓内部进行喷洒，同时将机体电连接使得电机带动转杆旋转，使得转轮表面与清洁滚轮进行摩擦，对转轮的表面进行清理，提高了该装置的实用性，对转轮表面进行清理，避免因转轮表面的化学药剂将半导体材料污染，减少用户因药剂导致半导体材料损坏的损失；

2、设置有固槽、固块和转轮，用户如遇到转轮表面因工作导致磨损严重或者损坏时，可将转轮向上拉动，使得两组第二插块相互远离的一面与第一插槽的内壁相抵，即可将第一插槽从第一插块的顶部拔出，同时将固块与固槽分离，而后反向操作即可对转轮进行更换，提高了装置的实用性，避免因磨损导致更换整组转轮，节约了用户的工作成本，且操作方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构正视剖面示意图；

图2为本实用新型中图1中a处中的结构放大示意图；

图3为本实用新型的结构侧视剖面示意图；

图4为本实用新型中图3中b处中的结构放大示意图。

图中：1、机体；2、机仓；3、托块；21、左槽；22、右槽；23、转杆；24、固槽；25、固块；26、转轮；27、堵块；28、堵槽；29、第一插槽；210、第二插槽；211、第一插块；212、第一拉伸槽；213、第二插块；214、机槽；215、电机；31、托槽；32、喷头；33、卡仓；34、卡槽；35、清洁滚轮；36、第二拉伸槽；37、第三插块；38、污槽；39、喷口；310、出污口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：

一种具有清洗结构的半导体蚀刻机，包括机体1和电机215，机体1前端的顶部开设有机仓2，且机仓2内壁的左侧开设有左槽21，机仓2的右侧开设有右槽22，且右槽22的内部插设有转杆23，转杆23的左侧贯穿右槽22延伸至左槽21内部，转杆23的上下两端皆均匀开设有固槽24，且固槽24的内部皆插设有固块25，两组固块25相互远离的一端皆固定连接有转轮26，且转轮26的右侧皆固定连接有堵块27，机仓2内部右侧的上下两端皆开设有堵槽28，且堵槽28与堵块27对应分布，两组转轮26末端的相互靠近一端通过合页相连，一组转轮26前端的底部开设有第一插槽29，第一插槽29内壁的左右两侧皆开设有第二插槽210，一组转轮26前端的底部固定连接有第一插块211，且第一插块211的顶端位于第一插槽29的内部，第一插块211左右两侧的顶端皆开设有第一拉伸槽212，且第一拉伸槽212的内部皆设置有第二插块213，两组第二插块213相互远离的一端皆位于第二插槽210内部，机体1前端的右侧开设有机槽214，且机槽214的内部安装有电机215，机槽214与右槽22相连通，且电机215的顶端位于右槽22内部，机体1左侧的前端固定连接有托块3，且托块3的顶部开设有托槽31，托槽31的顶端插设有喷头32，机仓2的底端开设有卡仓33，且卡仓33与机仓2相连通，卡仓33内部的左右两侧皆开设有卡槽34，卡仓33的内部设置有清洁滚轮35，且清洁滚轮35的左右两侧皆开设有第二拉伸槽36，第二拉伸槽36的内部皆设置有第三插块37，两组第三插块37相互远离的一端皆位于卡槽34内部，卡仓33内壁的底部开设有污槽38，且污槽38与卡仓33相连通，污槽38内壁的左侧开设有喷口39，且喷口39内壁的上下两端皆均匀胶合有橡胶垫，污槽38内壁的底端开设有出污口310，污槽38内壁的右侧呈斜面状；

进一步的，左槽21内壁的上下两端嵌设有滚珠，转杆23上下两端的左侧皆开设有与滚珠相配合的半圆槽，滚珠皆位于半圆槽内部，转杆23的左侧开设有凹槽，电机215输出端的顶端与转杆23相互靠近的一侧通过锥形齿轮组成传动连接，其作用为，用户可将机体1电连接，使得电机215输出端的顶端与转杆23相互靠近一侧的齿轮结构带动转杆23旋转，从而通过滚珠与半圆槽的配合，使得转杆23的左侧进行转动；

进一步的，堵块27的表面皆均匀胶合有橡胶垫，橡胶垫的表面皆与堵槽28的内壁相抵，其作用为，通过橡胶垫增大堵块27与堵槽28的摩擦力，使得堵块27插入堵槽28内部，同时在使用喷头32对机仓2内部进行清理时，橡胶垫将喷洒的水与右槽22隔离，避免污水进入右槽22内部；

进一步的，两组第二插块213相互远离的一端皆与弹簧的一端固定连接，弹簧的另一端皆与第一拉伸槽212的内壁固定连接，其作用为，如转轮26表面因工作导致磨损严重或者损坏需要更换时，可将转轮26向上拉动，使得第一拉伸槽212内壁固定连接的弹簧发生形变，使得两组第二插块213相互远离的一面与第一插槽29的内壁相抵，即可将第一插槽29从第一插块211的顶部拔出；

进一步的，两组第三插块37相互靠近的一端皆与弹簧的一端固定连接，弹簧的另一端皆与第二拉伸槽36的内壁固定连接，其作用为，用户如需对转轮26表面进行清理时可将清洁滚轮35放至卡仓33内部，使得两组第三插块37相互远离的一端与卡仓33的内壁相抵，使得第二拉伸槽36内部的弹簧发生形变，而后通过弹簧的回弹力将两组第三插块37相互远离的一端插入卡槽34的内部。

工作原理：用户在工作时如需对转轮26的表面进行清理时，可将清洁滚轮35放入卡仓33内部，使得两组第三插块37相互远离的一端与卡仓33的内壁相抵，使得第二拉伸槽36内部的弹簧发生形变，从而通过弹簧的回弹力将第三插块37插入卡槽34内部，从而对清洁滚轮35进行固定，而后可将固块25通过固槽24向右侧拉动，即可将转轮26右侧固定连接的堵块27插入堵槽28，使得转轮26的右侧与右槽22相抵，通过堵块27表面胶合的橡胶垫使得右槽22内部密封，即可将喷头32的底部与外接水管相连通，使用喷头32对机仓2内壁上的化学药剂和转轮26表面的化学药剂进行喷洒，同时将机体1电连接，使得电机215输出端的顶端与转杆23相互靠近一侧的齿轮结构带动转杆23旋转，同时固槽24带动固块25使得转轮26进行旋转，使得转轮26表面与清洁滚轮35表面进行摩擦，对转轮26表面的化学药剂进行清理，清理后的污水可通过卡仓33流入污槽38内部，用户可将喷头32的顶端放至喷口39内部，使得喷头32的表面与喷口39内壁胶合的橡胶垫相抵，从而通过喷头32对污槽38内部进行喷洒，水喷洒至污槽38内壁右侧的斜面，使得水将污水通过斜面进入出污口310，即可通过出污口310将污水从污槽38内部排出；

用户如遇到转轮26表面因工作导致磨损严重或者损坏时，可将转轮26向上拉动，使得第一拉伸槽212内壁固定连接的弹簧发生形变，使得第一插块211与第二插槽210分离，使得两组第二插块213相互远离的一面与第一插槽29的内壁相抵，即可将第一插槽29从第一插块211的顶部拔出，同时将固块25与固槽24分离，而后反向操作即可对转轮26进行更换。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。