一种晶元篮清洗装置的制作方法

一种晶元篮清洗装置
【技术领域】
1.本发明涉及半导体加工领域，具体涉及一种晶元篮清洗装置。


背景技术：

2.半导体行业中晶元、光伏行业中的晶元以及led行业的蓝宝石晶片等在制造过程中都必须经过清洗工序，以清除硅/晶片表面的金属离子污染、有机物污染或颗粒物污染，而运载晶片的花篮，主要靠人工用刷子进行清洗，由于花篮的齿尖比较密集，清洗不方便，导致花篮的齿根部分会出现清洗不干净的情况，同时还会损坏花蓝，花篮清洗不干净，会导致晶片出现脏污情况，从而引起晶片不良降级。针对上述提出的问题，亟需设计出一种晶元篮清洗装置。


技术实现要素：

3.为解决上述问题，本发明的目的在于提供一种晶元篮清洗装置，解决了现有的晶元篮主要靠人工用刷子进行清洗，由于花篮的齿尖比较密集，清洗不方便，导致花篮的齿根部分会出现清洗不干净的情况，同时还会损坏花蓝，花篮清洗不干净，会导致晶片出现脏污情况，从而引起晶片不良降级的问题。
4.为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种晶元篮清洗装置，包括一侧设有喷淋循环单元的机体，还包括毛刷驱动机构，所述喷淋循环单元包括设在机体外侧的喷淋循环槽，还包括设在所述机体内腔上方的喷淋组，所述喷淋循环槽出水口通过管道与喷淋组进水口连通连接，所述喷淋组内侧设有两端活动穿设在机体侧壁的毛刷组，所述毛刷组的内侧设有往复平移驱动机构，所述往复平移驱动机构的上表面设有装夹平台，所述装夹平台的上部设有工装夹具部件，所述毛刷组输入端与穿设在机体外壁的毛刷驱动机构输出端相连。
5.本发明中的一种晶元篮清洗装置进一步设置为：所述装夹平台底部与往复平移驱动机构输出端相连。
6.本发明中的一种晶元篮清洗装置进一步设置为：所述喷淋组包括对称设在机体内腔的喷淋板，还包括所述喷淋板表面的喷嘴。
7.本发明中的一种晶元篮清洗装置进一步设置为：所述毛刷组包括上下对称设置的至少三对毛刷杆件。
8.本发明中的一种晶元篮清洗装置进一步设置为：所述喷淋循环槽进水口连通连接有循环泵，所述循环泵进水口与喷淋组出水口连通连接。
9.本发明中的一种晶元篮清洗装置进一步设置为：所述机体进出料端壁面设有气缸门，机体侧壁设有观察窗。
10.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
11.(1)、该晶元篮清洗装置，通过往复平移驱动机构将装夹平台移动至机体内腔的初始位置，关闭气缸门，向喷淋循环槽内部注入清洗水，开启喷淋循环单元的循环泵，一侧的
管道将清洗水送入喷淋组，通过喷淋组的喷嘴将水喷在晶元篮上，毛刷驱动机构通过履带带动毛刷组内部上下毛刷杆转动，对晶元篮进行刷洗，相较于现有依靠人工用刷子进行清洗，本装置能够提高清洗效率和洁净度的同时，也能够对花篮齿根充分清洁，避免损坏花蓝。
12.(2)、该晶元篮清洗装置，通过将刷洗过车中产生的废水从机体出水口排入循环泵，经喷淋循环槽处理后再利用，具有显著的节水环保效果。
【附图说明】
13.图1是本发明的整体立面结构示意图；
14.图2是本发明的机体侧视结构示意图；
15.图3是本发明的整体俯视结构示意图。
16.图中：1、机体，2、喷淋循环单元，3、喷嘴，4、毛刷驱动机构，5、毛刷组，6、观察窗，7、气缸门，8、往复平移驱动机构，9、装夹平台，10、工装夹具部件。
【具体实施方式】
17.下面通过具体实施例对本发明所述的一种晶元篮清洗装置作进一步的详细描述。
18.如图1
‑
3所示，本发明提供一种技术方案：一种晶元篮清洗装置，包括一侧设有喷淋循环单元2的机体1，还包括毛刷驱动机构4，喷淋循环单元2包括设在机体1外侧的喷淋循环槽，还包括设在机体1内腔上方的喷淋组，喷淋循环槽出水口通过管道与喷淋组进水口连通连接，喷淋组内侧设有两端活动穿设在机体1侧壁的毛刷组5，毛刷组5的内侧设有往复平移驱动机构8，往复平移驱动机构8的上表面设有装夹平台9，装夹平台9的上部设有工装夹具部件10，毛刷组5输入端与穿设在机体1外壁的毛刷驱动机构4输出端相连。
19.装夹平台9底部与往复平移驱动机构8输出端相连，便于拿取物料。
20.喷淋组包括对称设在机体1内腔的喷淋板，还包括喷淋板表面的喷嘴3，能够对晶元篮进行喷淋清洗。
21.毛刷组5包括上下对称设置的至少三对毛刷杆件，对晶元篮进行刷洗，相较于现有的人工清洗，更为安全快速。
22.喷淋循环槽进水口连通连接有循环泵，循环泵进水口与喷淋组出水口连通连接，喷淋循环槽能够将清洗水处理后再次投入使用，环保节能。
23.机体1进出料端壁面设有气缸门7，机体1侧壁设有观察窗6，便于进出料的同时，方便工作人员查看机器清洗进度。
24.本发明的工作原理是：开启气缸门7，启动往复平移驱动机构8将上端装夹平台9移动至气缸门7的邻侧，再将晶元篮放置在装夹平台9的工装夹具部件10内，对晶元篮固定，再通过往复平移驱动机构8将装夹平台9移动至机体1内腔的初始位置，关闭气缸门7，向喷淋循环槽内部注入清洗水，开启喷淋循环单元2的循环泵，一侧的管道将清洗水送入喷淋组，通过喷淋组的喷嘴3将水喷在晶元篮上，毛刷驱动机构4通过履带带动毛刷组5内部上下毛刷杆转动，对晶元篮进行刷洗，刷洗过车中产生的废水通过机体1出水口流入循环泵再次进入喷淋循环槽中，经喷淋循环槽处理后再利用，具有环保效果，这就是该晶元篮清洗装置的工作原理，同时本说明书中未作详细描述的内容，均属于本领域专业技术人员公知的现有
技术。
25.上述的实施例仅例示性说明本发明创造的原理及其功效，以及部分运用的实施例，而非用于限制本发明；应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。


技术特征：
1.一种晶元篮清洗装置，包括一侧设有喷淋循环单元的机体，还包括毛刷驱动机构，其特征在于：所述喷淋循环单元包括设在机体外侧的喷淋循环槽，还包括设在所述机体内腔上方的喷淋组，所述喷淋循环槽出水口通过管道与喷淋组进水口连通连接，所述喷淋组内侧设有两端活动穿设在机体侧壁的毛刷组，所述毛刷组的内侧设有往复平移驱动机构，所述往复平移驱动机构的上表面设有装夹平台，所述装夹平台的上部设有工装夹具部件，所述毛刷组输入端与穿设在机体外壁的毛刷驱动机构输出端相连。2.如权利要求1所述的一种晶元篮清洗装置，其特征在于：所述装夹平台底部与往复平移驱动机构输出端相连。3.如权利要求1所述的一种晶元篮清洗装置，其特征在于：所述喷淋组包括对称设在机体内腔的喷淋板，还包括所述喷淋板表面的喷嘴。4.如权利要求1所述的一种晶元篮清洗装置，其特征在于：所述毛刷组包括上下对称设置的至少三对毛刷杆件。5.如权利要求1所述的一种晶元篮清洗装置，其特征在于：所述喷淋循环槽进水口连通连接有循环泵，所述循环泵进水口与喷淋组出水口连通连接。6.如权利要求1所述的一种晶元篮清洗装置，其特征在于：所述机体进出料端壁面设有气缸门，机体侧壁设有观察窗。

技术总结
本发明涉及一种晶元篮清洗装置，一侧设有喷淋循环单元的机体，还包括毛刷驱动机构，所述喷淋循环单元包括设在机体外侧的喷淋循环槽，还包括设在所述机体内腔上方的喷淋组，所述喷淋循环槽出水口通过管道与喷淋组进水口连通连接，所述喷淋组内侧设有两端活动穿设在机体侧壁的毛刷组，所述毛刷组的内侧设有往复平移驱动机构，所述往复平移驱动机构的上表面设有装夹平台，所述装夹平台的上部设有工装夹具部件，所述毛刷组输入端与穿设在机体外壁的毛刷驱动机构输出端相连。该晶元篮清洗装置，本装置能够提高清洗效率和洁净度的同时，也对花篮齿根充分清洁，避免损坏花蓝，且对清洗水循环利用，具有显著的节水环保效果。具有显著的节水环保效果。具有显著的节水环保效果。


技术研发人员：许子俊 马曾增 陈伟
受保护的技术使用者：江苏中科晶元信息材料有限公司
技术研发日：2021.08.12
技术公布日：2021/11/4