一种硅片抛光机用清理装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种硅片抛光机用清理装置。


背景技术：

2.硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你。这样，那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题，计算机可能只需要几分钟就可以解决。甚至有些人力无法计算出结果的问题，计算机也能很快告诉你答案，硅片在加工过程中需要使用抛光机进行表面处理，现有的硅片抛光机在使用后，对于其表面碎屑清理时十分不便，由此需要推出一种硅片抛光机用清理装置进行碎屑清理。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种硅片抛光机用清理装置，解决了现有的硅片抛光机在使用后，对于其表面碎屑清理时十分不便的问题。
4.技术方案
5.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种硅片抛光机用清理装置，包括收集斗，所述收集斗的顶部固定连接有横梁，所述横梁的右端固定连接有把手，所述横梁的左端固定连接有转轴，所述转轴的表面套接有转轮，所述转轮的上表面固定连接有拨杆，所述转轮的下表面固定连接有毛刷。
6.进一步的，所述毛刷的右侧固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的右端与收集斗的左侧固定连接。
7.进一步的，所述毛刷的左侧固定连接有支架，所述支架的底端固定连接有固定轴，所述固定轴的表面套接有胶筒。
8.进一步的，所述收集斗的右侧开设有与收集斗内部相连通的活动孔，所述活动孔的内部活动连接有活动杆。
9.进一步的，所述活动杆的左端固定连接有清洁刷。
10.进一步的，所述活动杆的右端固定连接有推板，所述活动杆的表面套接有第二弹簧，所述第二弹簧的左端与收集斗的右侧固定连接，所述第二弹簧的右端与推板的左侧固定连接。
11.本实用新型提供了一种硅片抛光机用清理装置。具备以下有益效果：
12.1、该硅片抛光机用清理装置，通过收集斗、横梁、把手、拨杆、转轴、转轮、第一弹簧和毛刷之间的相互配合，达到便于将抛光机表面碎屑进行清理，通过支架、固定轴和胶筒的配合，达到在毛刷对于抛光机表面清理后对于残留碎屑进行吸附，使得清理效果更好，解决了现有的硅片抛光机在使用后，对于其表面碎屑清理时十分不便的问题。
13.2、该硅片抛光机用清理装置，通过第一弹簧的设置，达到便于毛刷进行复位，通过
第二弹簧、推板、清洁刷、活动孔和活动杆之间的相互配合，达到可以将收集斗内底板粘黏的碎屑进行清扫，避免收集斗内部残留硅片碎屑。
附图说明
14.图1为本实用新型结构示意图；
15.图2为本实用新型图1中a处局部结构放大图。
16.其中，1收集斗、2横梁、3把手、4拨杆、5转轴、6转轮、7第一弹簧、8毛刷、9支架、10固定轴、11胶筒、12第二弹簧、13推板、14清洁刷、15活动孔、16活动杆。
具体实施方式
17.如图1
‑
2所示，本实用新型实施例提供一种硅片抛光机用清理装置，包括收集斗1，收集斗1的右侧开设有与收集斗1内部相连通的活动孔15，活动孔15的内部活动连接有活动杆16，活动杆16的左端固定连接有清洁刷14，活动杆16的右端固定连接有推板13，活动杆16的表面套接有第二弹簧12，第二弹簧12的左端与收集斗1的右侧固定连接，第二弹簧12的右端与推板13的左侧固定连接，收集斗1的顶部固定连接有横梁2，横梁2的右端固定连接有把手3，横梁2的左端固定连接有转轴5，转轴5的表面套接有转轮6，转轮6的上表面固定连接有拨杆4，转轮6的下表面固定连接有毛刷8，毛刷8的右侧固定连接有第一弹簧7，第一弹簧7的右端与收集斗1的左侧固定连接，毛刷8的左侧固定连接有支架9，支架9的底端固定连接有固定轴10，固定轴10的表面套接有胶筒11，胶筒11如同去毛器，其由辊筒和表面的胶带层组成，在使用过之后可以将表面的一层胶带层撕下。
18.工作原理：抓住把手3将收集斗1放置在抛光机表面，另外一只手将拨杆4向左侧推动，使得拨杆4经过转轮6带动毛刷8向右活动，使得毛刷8将抛光机表面的碎屑扫入收集斗1的内部，毛刷8在活动时也会带动支架9、固定轴10和胶筒11进行活动，胶筒11与毛刷8清扫过的部位接触即可将残留碎屑进行粘黏。


技术特征：
1.一种硅片抛光机用清理装置，包括收集斗(1)，其特征在于：所述收集斗(1)的顶部固定连接有横梁(2)，所述横梁(2)的右端固定连接有把手(3)，所述横梁(2)的左端固定连接有转轴(5)，所述转轴(5)的表面套接有转轮(6)，所述转轮(6)的上表面固定连接有拨杆(4)，所述转轮(6)的下表面固定连接有毛刷(8)。2.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机用清理装置，其特征在于：所述毛刷(8)的右侧固定连接有第一弹簧(7)，所述第一弹簧(7)的右端与收集斗(1)的左侧固定连接。3.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机用清理装置，其特征在于：所述毛刷(8)的左侧固定连接有支架(9)，所述支架(9)的底端固定连接有固定轴(10)，所述固定轴(10)的表面套接有胶筒(11)。4.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机用清理装置，其特征在于：所述收集斗(1)的右侧开设有与收集斗(1)内部相连通的活动孔(15)，所述活动孔(15)的内部活动连接有活动杆(16)。5.根据权利要求4所述的一种硅片抛光机用清理装置，其特征在于：所述活动杆(16)的左端固定连接有清洁刷(14)。6.根据权利要求4所述的一种硅片抛光机用清理装置，其特征在于：所述活动杆(16)的右端固定连接有推板(13)，所述活动杆(16)的表面套接有第二弹簧(12)，所述第二弹簧(12)的左端与收集斗(1)的右侧固定连接，所述第二弹簧(12)的右端与推板(13)的左侧固定连接。

技术总结
本实用新型提供一种硅片抛光机用清理装置，涉及半导体领域。该硅片抛光机用清理装置，包括收集斗，所述收集斗的顶部固定连接有横梁，所述横梁的右端固定连接有把手，所述横梁的左端固定连接有转轴，所述转轴的表面套接有转轮，所述转轮的上表面固定连接有拨杆，所述转轮的下表面固定连接有毛刷。该硅片抛光机用清理装置，通过收集斗、横梁、把手、拨杆、转轴、转轮、第一弹簧和毛刷之间的相互配合，达到便于将抛光机表面碎屑进行清理，通过支架、固定轴和胶筒的配合，达到在毛刷对于抛光机表面清理后对于残留碎屑进行吸附，使得清理效果更好，解决了现有的硅片抛光机在使用后，对于其表面碎屑清理时十分不便的问题。表面碎屑清理时十分不便的问题。表面碎屑清理时十分不便的问题。


技术研发人员：陈锋 沈国君 陆勇 刘太盛
受保护的技术使用者：浙江众晶电子有限公司
技术研发日：2021.01.20
技术公布日：2021/12/24