一种在线清洗和检测聚变装置第一镜的方法与装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于一种核聚变等离子体诊断系统，具体涉及一种基于激光和光学技术的真空室中光学元件的在线清洗方法和装置。
【背景技术】
[0002]在受控核聚变实验研究中，科学家需要借助各种光学诊断系统获得等离子体放电过程中的基本物理参量如电子密度、电子温度、放电中的杂质含量、放电位型的变化等。由于聚变装置的复杂性，这些光学诊断系统必须利用放置在装置真空室中的光学元件如金属反射镜、凹面反射镜、石英窗口等将探测束传递出来到达探测器进行测量。这些放置在真空室中传递光信号的光学元件被称为第一镜。
[0003]聚变装置的第一镜由于工作在高温高密的等离子体放电环境中，放电中的杂质粒子将沉积于光学元件的表面，随着时间的增长，沉积厚度增加，光学元件的反射率将下降，甚至无法传递光学信号，而聚变装置在放电期间真空室不能打开，也不能更换污染的光学元件。因此必须建立第一镜的在线清洗系统。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是提供一种在线清洗和检测聚变装置第一镜的方法与装置，该方法不需要打开真空室，不改变第一镜的空间位置，能实现镜面污染物的清除，延长镜面高反射率的使用寿命。
[0005]本发明的技术方案是，一种在线清洗和检测聚变装置第一镜的方法，包括如下步骤:
[0006]步骤一、利用激光发射器得到一束高能量光束；
[0007]步骤二、利用光束变换光路和计算机控制的振镜将步骤一的光束照射在置于远处真空室中的待清洗的第一镜表面并能够在χ-y方向进行光点的扫描；
[0008]步骤三、调节步骤一光束的能量，使其大小满足第一镜表面杂质吸热蒸发，同时第一镜基底不被熔化，即达到清洗目的；通过步骤二逐步将激光光束在第一镜表面扫描，实现对面积大于激光光斑的第一镜表面整体的远程在线清洗；
[0009]步骤四、利用步骤二的变换光路将一束可见光引入真空室并照亮第一镜表面，用一个C⑶相机拍摄第一镜表面图像光强I，根据公式R = 1/1。即可得到清洗后的第一镜反射率，其中Ic为没有污染的第一镜的光强，I1为污染后的第一镜激光清洗后的光强。
[0010]所述步骤一中的光束为一种波长为1.06微米和0.53微米，脉冲宽度为10纳秒，能量为I焦耳的短脉冲激光光束。
[0011]光束变换光路能够通过组合聚焦透镜调节照射在第一镜表面的光斑大小，使激光能量密度达到0.5J/cm2-lJ/cm2。
[0012]光束变换光路能够通过一片双色分束片将可见光反射进真空室中的第一镜表面，同时将第一镜表面的图像传输到CCD相机。
[0013]一种在线清洗和检测聚变装置第一镜的装置，它包括脉冲激光器、两维振镜系统、CCD相机和辅助光源及光路传输系统,其中，两维振镜系统、光束变换系统、双色分束器、聚变装置诊断窗口、第一镜、聚变装置真空室沿着一条直线设置，聚变装置真空室上开有聚变装置诊断窗口，两维振镜系统的一侧设置有脉冲激光器，双色分束器的一侧设有辅助光源，辅助光源的外侧设有CCD相机。
[0014]所述CXD相机为黑白相机，具有高的灰度分辨能力。
[0015]所述双色分束器对于激光光束全透射，对于可见光全反射。
[0016]本发明的优点是，通过选择合适的激光参数，利用激光与第一镜表面污染物相互作用，产生热膨胀，在短的时间内爆炸并气化蒸发，脱离镜面达到清洁作用；利用振镜依次扫描整个第一镜镜面达到大面积清洗目的；通过CCD对第一镜表面成像，分析图像的明暗灰度变化，得到第一镜清洗结果数据和镜面反射率恢复状态监测；利用一套激光光路转换光学系统，通过激光束腰的变换可将聚焦的激光光斑位于所需要清洗的镜面，实现在线清洗而又不损坏其它设备的目的。
【附图说明】
[0017]图1为本发明所提供的一种在线清洗和检测聚变装置第一镜的装置示意图。
[0018]图中:I脉冲激光器，2两维振镜系统，3光束变换系统，4双色分束器，5辅助光源，6CXD相机，7聚变装置诊断窗口，8第一镜，9聚变装置真空室。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图和实施例对本发明进行详细介绍:
[0020]如图1所示，一种在线清洗和检测聚变装置第一镜的装置它包括脉冲激光器、两维运动的振镜、CCD相机和辅助光源及光路传输系统。其中，两维振镜系统2、光束变换系统3、双色分束器4、聚变装置诊断窗口 7、第一镜8、聚变装置真空室9沿着一条直线设置，聚变装置真空室9上开有聚变装置诊断窗口 7，两维振镜系统2的一侧设置有脉冲激光器1，双色分束器4的一侧设有辅助光源5，辅助光源5的外侧设有CCD相机6。
[0021]脉冲激光器的光束I通过振镜2、光束变换系统3和双色分束器4引入真空室9并聚焦到第一镜8表面，第一镜表面的杂质吸收激光能量并蒸发；
[0022]辅助可见光光源5通过和双色分束器4进入真空室9并照射到第一镜8表面，反射光原路返回到双色分束器4并被CCD相机6接收，并记录光强信号。
[0023]聚变装置真空室9上开有聚变装置诊断窗口 7，两维振镜系统2的一侧设置有脉冲激光器1，双色分束器4的一侧设有辅助光源5，辅助光源5的外侧设有CCD相机6。
[0024]其中，脉冲激光器为一种波长为1.06微米和0.53微米，脉冲宽度为10纳秒，能量为I焦耳左右的短脉冲激光器，通过光斑大小和能量的整合得到最佳的清洗能量密度。一套两维的振镜系统,可以实现激光光斑在一平面上两维扫描。扫描间隔为l-10mm。扫描模式多样可选。一台焦距可调可见光CCD相机，图像灰度可度量。一套可调节的激光光斑成像光学系统。
[0025]如图1所示，由YAG脉冲激光器I输出的一激光束传输到由两面反射镜构成的振镜2，振镜系统中的每面镜子分别与步进电机相联，通过程序控制电机使镜子在一维度上偏转，两个振镜可实现X-Y的两维扫描；激光光斑通过光束变换系统3、双色分束器4 (该分束器对YAG波长激光全透射，对可见光全反射)和诊断窗口 7被聚焦在第一镜8的表